[實用新型]一種直拉單晶爐在線式熱場再生系統

有效

• 申請號: 202222141087.7
• 申請日: 2022-08-15
• 公開（公告）號: CN218262829U
• 公開（公告）日: 2023-01-10
• 發明（設計）人: 張軍彥;馮文彪;王曉峰;白梟;李媛
• 申請（專利權）人: 山西中電科新能源技術有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B15/00
• 代理公司: 太原高欣科創專利代理事務所(普通合伙) 14109
• 代理人: 張敏;崔雪花

1.一種直拉單晶爐在線式熱場再生系統，所述直拉單晶爐包括主爐殼（14）；主爐殼（14）頂部連接有副室（4），所述主爐殼（14）內設置有保溫筒（6），保溫筒（6）內設置有坩堝（8），坩堝（8）的頂部設置有導流筒（5）；其特征在于，還包括載氣提供裝置（1）和工藝氣體提供裝置（2）；所述載氣提供裝置（1）和工藝氣體提供裝置（2）通過進氣管路（3）與副室（4）相連接，直拉單晶爐連接有抽氣管路（9），所述抽氣管路（9）連接有真空泵組（11）；所述抽氣管路（9）與直拉單晶爐的連接處位于保溫筒（6）底部以下；載氣提供裝置（1）提供的載氣為惰性氣體，工藝氣體提供裝置（2）提供的工藝氣體為鹵素氣體。

2.根據權利要求1所述的一種直拉單晶爐在線式熱場再生系統，其特征在于，所述的抽氣管路（9）與尾氣處理系統（10）相連接。

3.根據權利要求1所述的一種直拉單晶爐在線式熱場再生系統，其特征在于，所述的真空泵組（11）包括有分子泵。

4.根據權利要求1所述的一種直拉單晶爐在線式熱場再生系統，其特征在于，所述載氣為氬氣、氮氣、氦氣中的一種；所述工藝氣體為氯氣、氟氣、氟利昂中的一種。

5.根據權利要求1所述的一種直拉單晶爐在線式熱場再生系統，其特征在于，加熱器（7）設置在保溫筒（6）和坩堝（8）之間。

6.根據權利要求1所述的一種直拉單晶爐在線式熱場再生系統，其特征在于，所述坩堝（8）為石墨坩堝。

7.根據權利要求1所述的一種直拉單晶爐在線式熱場再生系統，其特征在于，所述坩堝（8）底部連接有坩堝托桿（13），坩堝托桿（13）連接有底部保溫層（12）；通過坩堝托桿（13）將坩堝（8）推入保溫筒（6）內，底部保溫層（12）與保溫筒（6）連接形成保溫腔。