[實用新型]一種用于芯片晶圓測試臺的固定機構

有效

• 申請號: 202222135688.7
• 申請日: 2022-08-15
• 公開（公告）號: CN218445591U
• 公開（公告）日: 2023-02-03
• 發明（設計）人: 任曉偉;胡雋
• 申請（專利權）人: 復漢海志（江蘇）科技有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R31/26
• 代理公司: 鹽城平易安通知識產權代理事務所(普通合伙) 32448
• 代理人: 陳彩芳

本實用新型涉及一種用于芯片晶圓測試臺的固定機構，包括有底座，所述底座的頂部設置有檢測臺，所述檢測臺的內部設置有固定機構，所述固定機構包括有方槽，所述方槽開設于檢測臺的內部，所述方槽的內腔右側壁轉動連接有一端貫穿并延伸至檢測臺外部的活動桿。該用于芯片晶圓測試臺的固定機構，通過設置有固定機構，從而使得工作人員可以方便快捷的將晶圓固定在檢測臺的頂部，而且方便左右調節晶圓在檢測臺頂部的位置，從而方便工作人員的測試工作的開展，避免晶圓受到外力影響而產生震動或者偏移，使得對晶圓的測試可以保障其高效準確，從而使得工作人員的工作強度降低，并且使得用于芯片晶圓測試臺的固定機構的實用性增強。

技術領域

本實用新型涉及芯片晶圓技術領域，具體為一種用于芯片晶圓測試臺的固定機構。

背景技術

晶圓是指制作半導體芯片所用的硅晶片，其原始材料是硅，高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅，硅晶棒在經過研磨、拋光和切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓，國內晶圓生產線以八英寸和十二英寸為主，晶圓的主要加工方式為片加工和批加工，即同時加工一片或多片晶圓，隨著半導體特征尺寸越來越小，加工及測量設備越來越先進，使得晶圓加工出現了新的數據特點，所以對于芯片行業來說，對晶圓的測試是必不可少的，一般是要求高效準確，實現實時檢測，因此常用芯片晶圓測試臺來對生產的晶圓進行測試。

目前現有技術中芯片晶圓測試臺缺少固定限制晶圓的裝置結構，使得在工作人員對晶圓進行測試時不太方便，在測試過程中，晶圓容易受到外力影響而產生偏移或者震動，進而影響了對晶圓測試結果的高效準確性，并且使得工作人員的測試工作需要重復多次進行，使得該工作的工作強度較高，故而提出一種用于芯片晶圓測試臺的固定機構來解決上述問題。

實用新型內容

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種用于芯片晶圓測試臺的固定機構，具備方便固定的優點，解決了芯片晶圓測試臺缺少固定限制晶圓的裝置結構，使得在工作人員對晶圓進行測試時不太方便，在測試過程中，晶圓容易受到外力影響而產生偏移或者震動，進而影響了對晶圓測試結果的高效準確性，并且使得工作人員的測試工作需要重復多次進行，使得該工作的工作強度較高的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種用于芯片晶圓測試臺的固定機構，包括有底座，所述底座的頂部設置有檢測臺，所述檢測臺的內部設置有固定機構；

所述固定機構包括有方槽，所述方槽開設于檢測臺的內部，所述方槽的內腔右側壁轉動連接有一端貫穿并延伸至檢測臺外部的活動桿，所述活動桿的外表面螺紋連接有安裝板，所述安裝板的正面轉動連接有兩個安裝桿，兩個所述安裝桿的頂部均固定連接有伸縮桿，兩個所述伸縮桿的頂部均鉸接有連接桿，兩個所述連接桿的頂部均固定連接有位于檢測臺頂部的限制塊，所述安裝板的正面設置有輔助機構。

進一步，所述輔助機構包括有兩個擋板，兩個所述擋板的背面均與安裝板的正面固定連接，兩個所述擋板的相對一側固定連接有直桿，所述直桿的外表面滑動連接有兩個齒條，兩個所述齒條的正面均固定連接有一端貫穿并延伸至檢測臺外部的把手，兩個所述安裝桿的外表面固定連接有與齒條頂部相嚙合的齒輪。

進一步，所述底座的頂部固定安裝有安裝架，所述安裝架的正面活動安裝有觀測裝置，所述檢測臺的底部與底座的頂部固定連接。

進一步，所述方槽的內腔右側壁固定安裝有底座，所述底座的內表面與活動桿的外表面轉動連接。

進一步，所述方槽的內頂壁開設有通槽，所述通槽的內表面與連接桿的外表面滑動連接。

進一步，所述直桿的外表面活動安裝有輔助彈簧，所述輔助彈簧的左右兩側分別與兩個齒條的相對一側固定連接。

進一步，所述方槽的內腔前側壁開設有活動槽，所述活動槽的內表面與把手的外表面滑動連接。

與現有技術相比，本申請的技術方案具備以下有益效果：