[實用新型]一種偏壓引入機構

有效

• 申請號: 202222127848.3
• 申請日: 2022-08-13
• 公開（公告）號: CN217895728U
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發明（設計）人: 吳子敬;劉旭;金晨
• 申請（專利權）人: 北京北方華創真空技術有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 曹蓉

1.一種偏壓引入機構，其特征在于：包括用于承托導向軸(20)并供導向軸(20)滑移的引電滑塊(1)、用于使電源負極接入引電滑塊(1)的電源接入件，以及使引電滑塊(1)與大地絕緣的絕緣座(3)。

2.根據權利要求1所述的偏壓引入機構，其特征在于：引電滑塊(1)的上表面為可供導向軸(20)貼合的導向面(4)。

3.根據權利要求2所述的偏壓引入機構，其特征在于：絕緣座(3)上固定有基座(51)，基座(51)上滑動連接有導桿(52)，引電滑塊(1)固定在導桿(52)上并在導桿(52)的作用下能夠沿豎直方向移動，偏壓引入機構還包括用于承托引電滑塊(1)的彈性件。

4.根據權利要求3所述的偏壓引入機構，其特征在于：基座(51)內具有貫通的導孔(511)，導桿(52)插入導孔(511)內部并延伸至基座(51)下方，導桿(52)的下端固定有無法進入導孔(511)內的限位部(54)。

5.根據權利要求1所述的偏壓引入機構，其特征在于：引電滑塊(1)設置有兩個且兩個引電滑塊(1)在水平方向上相對設置，兩個引電滑塊(1)相互靠近的一側為可供導向軸(20)貼合的導向面(4)，兩個導向面(4)之間形成可供導向軸(20)通過的空間。

6.根據權利要求5所述的偏壓引入機構，其特征在于：至少一個引電滑塊(1)上固定有能夠使兩個導向面(4)之間間距增大或減小的彈性件，彈性件能夠產生在兩個引電滑塊(1)連線方向上的形變。

7.根據權利要求6所述的偏壓引入機構，其特征在于：絕緣座(3)上固定有支撐板(56)，彈性件為固定在支撐板(56)上的彈簧片(55)，彈簧片(55)延伸至支撐板(56)上方。

8.根據權利要求7所述的偏壓引入機構，其特征在于：彈簧片(55)通過螺釘固定在支撐板(56)上，支撐板(56)上旋擰有預緊螺釘(58)，預緊螺釘(58)的端部抵緊在彈簧片(55)上。

9.根據權利要求1所述的偏壓引入機構，其特征在于：絕緣座(3)底部設置有能夠固定在真空腔室(12)上的支撐座(6)，絕緣座(3)固定在支撐座(6)上；絕緣座(3)上固定有過渡座(7)，引電滑塊(1)固定在過渡座(7)上。

10.根據權利要求9所述的偏壓引入機構，其特征在于：過渡座(7)、絕緣座(3)以及支撐座(6)上共同穿設有用于固定三者的固定螺釘(8)，固定螺釘(8)上套設有螺釘絕緣套(9)。