[實用新型]一種多接口真空機組

有效

• 申請號: 202222105048.1
• 申請日: 2022-08-10
• 公開（公告）號: CN218206967U
• 公開（公告）日: 2023-01-03
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 圣思科技（廊坊）有限公司
• 主分類號: F04B37/14
• 分類號: F04B37/14;F04B41/06;F04B39/00
• 代理公司: 北京酷愛智慧知識產權代理有限公司 11514
• 代理人: 胡林

本實用新型公開了一種多接口真空機組，包括一真空機組、一抽真空主管以及若干抽真空支管，所述真空機組具有一真空吸入口，所述抽真空主管的一端連接于所述真空機組的真空吸入口；各所述真空支管分別與所述抽真空主管相連，并且各真空支管上均設有若干分管路接口，所述分管路接口用于與各抽真空目標設備一一對應連接。本實用新型能夠一臺真空機組能夠對多個抽真空目標設備進行抽氣，降低了設備成本，節約了空間。

技術領域

本實用新型涉及真空設備技術領域，具體涉及一種多接口真空機組。

背景技術

高真空分子泵需要配置前級真空機組，目前，每臺高真空分子泵一般需要設置對應的一臺前級真空機組，當在一個區間內使用多臺高真空分子泵時，往往需要配置多臺前級真空機組，這樣不僅成本比較高，而且多臺前級真空機組占用的空間比較大。

實用新型內容

針對現有技術中的缺陷，本實用新型提供了一種多接口真空機組，以使一臺真空機組能夠對多個抽真空目標設備進行抽氣，降低了設備成本，節約了空間。

本實用新型提供了一種多接口真空機組，包括一真空機組、一抽真空主管以及若干抽真空支管；

所述真空機組具有一真空吸入口，所述抽真空主管的一端連接于所述真空機組的真空吸入口；

各所述真空支管分別與所述抽真空主管相連，并且各真空支管上均設有若干分管路接口，所述分管路接口用于與各抽真空目標設備一一對應連接。

進一步地，各所述真空支管上均設有分管路真空測量口。

進一步地，各所述真空支管靠近所述抽真空主管的一端設有開關閥。

進一步地，所述抽真空主管包括豎向管段、彈性伸縮管段、90°彎頭管段和水平管段，

所述豎向管段的下端固定于所述真空機組的真空吸入口，所述彈性伸縮管段的下端固定于豎向管段的上端，所述90°彎頭管段的豎向端固定于彈性伸縮管段的上端，所述水平管段的一端固定于90°彎頭管段的橫向端，所述真空支管連接于所述水平管段。

進一步地，所述豎向管段上端的外部設有第一連接環，所述彈性伸縮管段的下端設有第二連接環，彈性伸縮管段的上端設有第三連接環，90°彎頭管段的豎向端設有第四連接環；

還包括環設于所述彈性伸縮管段的若干組支撐連接組件，每組所述支撐連接組件均包括上鎖扣件、下鎖扣件以及連接于所述上鎖扣件和下鎖扣件之間的連接桿，所述上鎖扣件用于將第一連接環和第二連接環鎖緊，所述下鎖扣件用于將第三連接環和第四連接環鎖緊。

進一步地，所述連接桿為絲桿，連接桿的兩端分別穿過所述上鎖扣件和下鎖扣件，連接桿上螺紋連接有兩個鎖緊在所述上鎖扣件兩側的上鎖緊螺帽以及兩個鎖緊在所述下鎖扣件兩側的下鎖緊螺帽。

進一步地，所述第一連接環的下側設有第一卡槽，所述第二連接環的上側設有第二卡槽，所述下鎖扣件包括第一U形扣和第一鎖緊螺絲，所述第一U形扣卡在所述第一連接環和第二連接環外，第一U形扣的上部卡在所述第二卡槽內，所述第一鎖緊螺絲螺紋連接于第一U形扣的下部并頂緊在所述第一卡槽內；

所述第三連接環的下側設有第三卡槽，所述第四連接環的上側設有第四卡槽，所述上鎖扣件包括第二U形扣和第二鎖緊螺絲，所述第二U形扣卡在所述第三連接環和第四連接環外，第二U形扣的下部卡在所述第三卡槽內，所述第二鎖緊螺絲螺紋連接于第二U形扣的上部并頂緊在所述第四卡槽內。

進一步地，所述水平管段的末端為盲端，所述抽真空支管設有兩條，兩條抽真空支管對稱連接于所述水平管段的兩側。

進一步地，所述真空機組包括安裝支架、固定在安裝支架內的前級泵以及固定在安裝支架頂部的羅茨泵，所述前級泵的抽氣入口與羅茨泵的排氣出口之間通過管道相連，所述羅茨泵的抽氣入口為該真空機組的真空吸入口。