[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體尾氣處理設(shè)備吸附反應(yīng)過濾桶

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202222092109.5
• 申請(qǐng)日: 2022-08-09
• 公開（公告）號(hào): CN218458934U
• 公開（公告）日: 2023-02-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張蓬成
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海諾馳精密機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): B01D46/10
• 分類號(hào): B01D46/10;B01D53/74
• 代理公司: 上海索源知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31431
• 代理人: 李燕

本實(shí)用新型涉及尾氣處理技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體尾氣處理設(shè)備吸附反應(yīng)過濾桶，包括反應(yīng)過濾桶本體、輸氣管、外套管、支撐環(huán)、螺紋管、連接管、頂環(huán)和濾網(wǎng)；外套管和輸氣管固定連接且連通，支撐環(huán)和外套管固定連接，螺紋管和外套管滑動(dòng)連接，連接管和螺紋管螺紋連接，頂環(huán)和連接管固定連接，濾網(wǎng)設(shè)置于支撐環(huán)和頂環(huán)之間；將連接管與半導(dǎo)體加工尾氣連接，尾氣進(jìn)入連接管內(nèi)經(jīng)濾網(wǎng)進(jìn)行過濾，過濾掉尾氣中的顆粒雜質(zhì)，尾氣過濾后經(jīng)外套管和輸氣管進(jìn)入反應(yīng)過濾桶本體內(nèi)進(jìn)行再次過濾，而后再將凈化后的尾氣排出，從而能夠?qū)ξ矚庵械念w粒雜質(zhì)進(jìn)行過濾。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及尾氣處理技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體尾氣處理設(shè)備吸附反應(yīng)過濾桶。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料，半導(dǎo)體在集成電路、消費(fèi)電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明應(yīng)用、大功率電源轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域應(yīng)用；如二極管就是采用半導(dǎo)體制作的器件；無論從科技或是經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來看，半導(dǎo)體重要性都是非常巨大的；今日大部分的電子產(chǎn)品，如計(jì)算機(jī)、移動(dòng)電話或是數(shù)字錄音機(jī)當(dāng)中的核心單元都和半導(dǎo)體有著極為密切的關(guān)聯(lián)，半導(dǎo)體工業(yè)中尾氣中含有HF、HCl、SO2等需要處理的氣體，會(huì)對(duì)外部的空氣造成污染，因此需要利用尾氣處理設(shè)備進(jìn)行過濾處理。

目前現(xiàn)有技術(shù)CN212369786U公開了一種應(yīng)用于半導(dǎo)體尾氣處理設(shè)備吸附反應(yīng)過濾桶，包括支架和過濾外筒，所述過濾外筒的下表面中部連接有下輸氣管，所述下輸氣管的側(cè)壁上連接有側(cè)輸氣管，所述下輸氣管、側(cè)輸氣管均為雙層結(jié)構(gòu)，所述下輸氣管的內(nèi)層與側(cè)輸氣管的內(nèi)層連通，所述下輸氣管的外層與側(cè)輸氣管的外層連通，所述側(cè)輸氣管的側(cè)壁上端連接有進(jìn)氣口，所述側(cè)輸氣管的頂端連接有出氣口，通過雙層側(cè)輸氣管、下輸氣管、緩流座的雙層設(shè)計(jì)，能夠減少空間的占用，整體性較好；通過內(nèi)隔離筒與過濾外筒之間的配合作用，能夠?qū)⑦M(jìn)氣和出氣分離開；通過內(nèi)置的反應(yīng)過濾芯對(duì)尾氣中需要處理的氣體進(jìn)行反應(yīng)并過濾雜質(zhì)。

采用上述方式，無法對(duì)尾氣中的顆粒雜質(zhì)進(jìn)行過濾，過濾效果不足。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種半導(dǎo)體尾氣處理設(shè)備吸附反應(yīng)過濾桶，能夠?qū)ξ矚庵械念w粒雜質(zhì)進(jìn)行過濾。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種半導(dǎo)體尾氣處理設(shè)備吸附反應(yīng)過濾桶，包括反應(yīng)過濾桶本體和輸氣管；所述輸氣管和所述反應(yīng)過濾桶本體連通，并位于所述反應(yīng)過濾桶本體側(cè)邊；所述半導(dǎo)體尾氣處理設(shè)備吸附反應(yīng)過濾桶還包括外套管、支撐環(huán)、螺紋管、連接管、頂環(huán)和濾網(wǎng)；所述外套管和所述輸氣管固定連接且連通，并位于所述輸氣管側(cè)邊；所述支撐環(huán)和所述外套管固定連接，并位于所述外套管內(nèi)側(cè)；所述螺紋管和所述外套管滑動(dòng)連接，并位于所述外套管外側(cè)；所述連接管和所述螺紋管螺紋連接，并位于所述螺紋管側(cè)邊；所述頂環(huán)和所述連接管固定連接，并位于所述連接管側(cè)邊；所述濾網(wǎng)設(shè)置于所述支撐環(huán)和所述頂環(huán)之間。

其中，所述半導(dǎo)體尾氣處理設(shè)備吸附反應(yīng)過濾桶還包括支撐件和螺栓；所述支撐件和所述連接管固定連接，并位于所述連接管側(cè)邊；所述螺栓和所述支撐件螺紋連接，并貫穿所述支撐件。

其中，所述外套管包括管體和多個(gè)限位件；所述管體和所述螺紋管滑動(dòng)連接，并貫穿所述螺紋管；多個(gè)所述限位件分別與所述管體固定連接，并分別位于所述管體側(cè)邊。

其中，所述外套管還包括多個(gè)螺桿；多個(gè)所述螺桿分別與多個(gè)所述限位件螺紋連接，并分別位于多個(gè)所述限位件側(cè)邊。

其中，所述外套管還包括多個(gè)旋鈕；多個(gè)所述旋鈕分別與多個(gè)所述螺桿固定連接，并分別位于多個(gè)所述螺桿側(cè)邊。

本實(shí)用新型的一種半導(dǎo)體尾氣處理設(shè)備吸附反應(yīng)過濾桶，將所述連接管與半導(dǎo)體加工尾氣連接，尾氣進(jìn)入所述連接管內(nèi)經(jīng)所述濾網(wǎng)進(jìn)行過濾，過濾掉尾氣中的顆粒雜質(zhì)，尾氣過濾后經(jīng)所述外套管和所述輸氣管進(jìn)入所述反應(yīng)過濾桶本體內(nèi)進(jìn)行再次過濾，而后再將凈化后的尾氣排出，從而能夠?qū)ξ矚庵械念w粒雜質(zhì)進(jìn)行過濾。

附圖說明