[實用新型]一種便于半導體芯片加工的烘干裝置

有效

• 申請號: 202222080743.7
• 申請日: 2022-08-09
• 公開（公告）號: CN219433625U
• 公開（公告）日: 2023-07-28
• 發明（設計）人: 朱海城
• 申請（專利權）人: 深圳市富雅深科技有限公司
• 主分類號: F26B9/06
• 分類號: F26B9/06;F26B21/00;F26B25/18;F26B25/00
• 代理公司: 長沙都創云天知識產權代理事務所(普通合伙) 43274
• 代理人: 李琦

本實用新型提供一種便于半導體芯片加工的烘干裝置，包括：移動座；箱體，所述箱體通過連接柱固定安裝于所述移動座的頂部，所述箱體的內部固定安裝有若干個加熱組件，所述箱體內部的兩側且位于所述若干個所述加熱組件的頂部均開設有放置槽，所述放置槽的內部社會自有放置板，所述放置板的內部均開設有若干個連通孔，若干個所述連通孔內部的兩側均固定安裝有滑桿。本實用新型提供的一種便于半導體芯片加工的烘干裝置，可方便對其半導體芯片進行位置固定而進行烘干工作，從而避免其在烘干工作時受到烘干風力大小的影響而導致其出現位移甚至使得半導體芯片出現不斷跳動的現象，而導致增加半導體芯片受損的幾率。

技術領域

本實用新型涉及半導體芯片領域，尤其涉及一種便于半導體芯片加工的烘干裝置。

背景技術

半導體芯片：在半導體片材上進行浸蝕，布線，制成的能實現某種功能的半導體器件。

半導體芯片在的加工過程中需要對噴涂后的涂層或者清洗后殘留的水分進行烘干，因此需要使用到烘干裝置。

如現有技術中公開號為CN216620485U的專利申請，其通過烘干板機構、烘干板、放置槽、風機等結構而對其半導體芯片進行烘干工作，在其中可了解到半導體芯片在烘干時放置在放置槽的內部，容易受到風機風力的影響，容易在烘干的過程中出現半導體芯片位移，甚至在烘干期間出現不斷跳動的現象，而在此狀態下容易增加半導體芯片損傷的幾率。

因此，有必要提供一種便于半導體芯片加工的烘干裝置解決上述技術問題。

實用新型內容

本實用新型提供一種便于半導體芯片加工的烘干裝置，解決了現有技術中將半導體芯片放置在放置槽中進行烘干，而未對其進行限制限制，容易在烘干期間受到風力大小的影響而出現位移或者跳動的現象而容易增加半導體損傷幾率的問題。

為解決上述技術問題，本實用新型提供的一種便于半導體芯片加工的烘干裝置，包括：移動座；

箱體，所述箱體通過連接柱固定安裝于所述移動座的頂部，所述箱體的內部固定安裝有若干個加熱組件，所述箱體內部的兩側且位于所述若干個所述加熱組件的頂部均開設有放置槽，所述放置槽的內部社會自有放置板，所述放置板的內部均開設有若干個連通孔，若干個所述連通孔內部的兩側均固定安裝有滑桿，所述滑桿的表面固定安裝有若干個固定夾板，若干個所述固定夾板的右側且位于所述滑桿的表面設置有拉簧，所述拉簧的右側且位于所述滑桿的表面設置有第一滑塊，所述第一滑塊的頂部固定安裝有移動夾板；

半導體芯片，所述半導體芯片設置于所述固定夾板的右側且位于所述移動夾板的左側。

優選的，所述箱體內部的底部開設有進氣孔，所述進氣孔的內部固定安裝有進氣風扇，所述進氣風扇的底部且位于所述進氣孔的底部設置有濾網。

優選的，所述箱體內部的頂部設置有出氣管。

優選的，所述放置板底部的兩側均開設有滑槽，所述滑槽內部的兩側均滑動連接有第二滑塊。

優選的，所述第二滑塊的底部通過固定柱轉動連接有連接桿，所述連接桿的底部轉動連接有連接板，所述連接板底部的兩側均固定安裝有滾輪。

優選的，所述放置板的底部設置有螺紋桿，所述螺紋桿表面的兩側均套設有螺紋塊。

優選的，所述螺紋塊的兩側均固定連接有聯動柱，所述聯動柱的外側與所述固定柱的內側固定連接。

與相關技術相比較，本實用新型提供的一種便于半導體芯片加工的烘干裝置具有如下有益效果：

本實用新型提供一種便于半導體芯片加工的烘干裝置，通過放置板、連通孔、滑桿、固定夾板、拉簧、第一滑塊、移動夾板等結構之間的相互配合可方便對其半導體芯片進行位置固定而進行烘干工作，從而避免其在烘干工作時受到烘干風力大小的影響而導致其出現位移甚至使得半導體芯片出現不斷跳動的現象，而導致增加半導體芯片受損的幾率。