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[實用新型]石英封泡、石英容器以及石英管封口系統有效

專利信息
申請號: 202222037519.X 申請日: 2022-08-02
公開(公告)號: CN217868624U 公開(公告)日: 2022-11-22
發明(設計)人: 蘇湛;李康;狄聚青 申請(專利權)人: 安徽光智科技有限公司
主分類號: C03B23/207 分類號: C03B23/207;C03B20/00
代理公司: 北京五洲洋和知識產權代理事務所(普通合伙) 11387 代理人: 張向琨
地址: 239004 安徽省*** 國省代碼: 安徽;34
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摘要:
搜索關鍵詞: 石英 容器 以及 石英管 封口 系統
【說明書】:

提供一種石英封泡、石英容器以及石英管封口系統。石英封泡包括筒體,筒體具有第一外周壁面、第一內周壁面、焊接區以及外側區,焊接區用于與石英管的第二內周壁真空負壓焊接,外側區位于焊接區外,石英封泡還包括收容件和第一磁吸件,收容件設置于外側區,第一磁吸件收容在收容件內,第一磁吸件配置成:第一磁吸件用于與石英管外的第二磁吸件形成磁吸吸引,以在石英封泡置于石英管內、石英管的開口端連接好密封法蘭之后石英管被抽真空和通入氮氣形成真空負壓后,通過移動第二磁吸件、進而通過第二磁吸件和第一磁吸件的磁性吸引來移動第一磁吸件、最終使得第一磁吸件帶動筒體移動而使筒體的焊接區到達真空負壓焊接預定的焊接位置。

技術領域

本公開涉及石英管封裝領域,尤其涉及一種石英封泡、石英容器、石英管封口系統。

背景技術

圖1示出已有的石英管封口系統100'。

石英管封口系統100'用于對石英容器10'中的石英管2'和石英封泡1'進行密封、抽真空、通氮氣以及焊接。

石英管封口系統100'包括密封法蘭20'、抽氣系統30'、氮氣源40'、氫氧焰噴槍60'以及三通管70'。

密封法蘭20'用于設置在石英管2'的開口端22',以在石英封泡1'置于石英管2'內后封閉石英管2'的開口端22',密封法蘭20'設有通孔(未示出)。

抽氣系統30'用于連接于密封法蘭20',以經由所述通孔對密封法蘭20'封閉的石英管2'的內部抽真空。

氮氣源40'用于在密封法蘭20'封閉的石英管2'的內部抽真空之后經由密封法蘭20'的所述通孔通入氮氣以使石英管2'的內部和外部之間形成真空負壓。

氫氧焰噴槍60'用于:在所述真空負壓形成之后且在石英封泡1'的筒體11'的焊接區113'到達真空負壓焊接預定的焊接位置并被保持之后,氫氧焰噴槍60'用氫氧焰噴燒軟化石英管2'的筒體11'的與石英封泡1'的焊接區113'對應的部位,以使石英管2'的該部位在所述真空壓差下徑向收縮、進而石英管2'的第二內周壁23'與石英封泡1'的筒體11'的第一外周壁面111'粘接在一起而形成整周密封,以使石英封泡1'與石英管2'形成密封的工作空間S'。

三通管70'用于將密封法蘭20'、抽氣系統30'和氮氣源40'連接。

但是在實際操作過程中發現,置于石英管2'內的石英封泡1'因石英管2'被抽真空和通入氮氣的過程而導致石英封泡1'的筒體11'會偏離真空負壓焊接預定的焊接位置,進而造成真空負壓焊接無法在預定的焊接位置操作,只能取消焊封操作。即使通過使石英管2'傾斜來利用重力滑移使得石英封泡1'的筒體11'滑到預定的焊接位置,但是由于此時已經在石英管2'內放置了針對例如晶體生長的諸如石墨舟之類的器件,這種傾倒同樣會引起該器件的移動,會影響器件最終所需的制備品質,而且這種傾倒對位預定的焊接位置在調整上既不方便也不準確。

實用新型內容

鑒于背景技術中存在的問題,本公開的目的在于提供一種石英封泡、石英容器以及石英管封口系統,其能使石英封泡的筒體方便且準確地到達真空負壓焊接預定的焊接位置。

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