[實用新型]隔離式進氣裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202222036452.8
• 申請日: 2022-08-03
• 公開（公告）號: CN217709667U
• 公開（公告）日: 2022-11-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蘇欣;談太德;姜崴;褚鑫輝;朱佳奇
• 申請（專利權(quán)）人: 拓荊科技股份有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 姜波

1.一種隔離式進氣裝置，其特征在于，包括：進氣主體(100)和噴頭結(jié)構(gòu)(200)；

所述進氣主體(100)內(nèi)設(shè)置有至少兩條隔離通道(500)，每條所述隔離通道(500)呈單獨貫通，所述進氣主體(100)與所述噴頭結(jié)構(gòu)(200)連接，且多條所述隔離通道(500)分別與所述噴頭結(jié)構(gòu)(200)連通，以通過每條所述隔離通道(500)分別對所述噴頭結(jié)構(gòu)(200)內(nèi)輸送多種氣體。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔離式進氣裝置，其特征在于，還包括三通主體(300)；

所述三通主體(300)包括一個進氣端和兩個出氣端，所述進氣主體(100)設(shè)置有兩組，兩組所述進氣主體(100)分別與所述三通主體(300)的兩個出氣端連接，且兩組所述進氣主體(100)相對于所述三通主體(300)呈對稱布置，每組所述進氣主體(100)對應(yīng)連接有一個所述噴頭結(jié)構(gòu)(200)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的隔離式進氣裝置，其特征在于，所述隔離通道(500)包括清潔通道(501)，所述三通主體(300)與所述清潔通道(501)連通，所述三通主體(300)用于分別向兩組所述進氣主體(100)的所述清潔通道(501)輸送清潔氣體，以使所述進氣主體(100)向?qū)?yīng)的所述噴頭結(jié)構(gòu)(200)輸送清潔氣體。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的隔離式進氣裝置，其特征在于，還包括反應(yīng)進氣管路(400)；

所述隔離通道(500)還包括反應(yīng)通道(502)，所述反應(yīng)進氣管路(400)的兩端分別與兩組所述進氣主體(100)連接，且所述反應(yīng)進氣管路(400)與所述反應(yīng)通道(502)連通，所述反應(yīng)進氣管路(400)用于分別向兩組所述進氣主體(100)的所述反應(yīng)通道(502)內(nèi)輸送反應(yīng)氣體，以使所述進氣主體(100)向?qū)?yīng)的所述噴頭結(jié)構(gòu)(200)輸送反應(yīng)氣體。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的隔離式進氣裝置，其特征在于，所述進氣主體(100)包括進氣結(jié)構(gòu)(101)和輸氣結(jié)構(gòu)(102)；

所述進氣結(jié)構(gòu)(101)通過所述輸氣結(jié)構(gòu)(102)與所述噴頭結(jié)構(gòu)(200)連接，所述進氣結(jié)構(gòu)(101)分別與所述三通主體(300)和所述反應(yīng)進氣管路(400)連接；

所述隔離通道(500)沿著所述進氣結(jié)構(gòu)(101)貫穿所述輸氣結(jié)構(gòu)(102)，所述進氣結(jié)構(gòu)(101)用于分別向每個所述隔離通道(500)輸送氣體。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的隔離式進氣裝置，其特征在于，所述進氣結(jié)構(gòu)(101)內(nèi)設(shè)置有第一清潔通道(511)，所述輸氣結(jié)構(gòu)(102)內(nèi)設(shè)置有第二清潔通道(531)，所述第一清潔通道(511)和所述第二清潔通道(531)連通；

所述反應(yīng)通道(502)沿著所述進氣結(jié)構(gòu)(101)貫穿所述輸氣結(jié)構(gòu)(102)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的隔離式進氣裝置，其特征在于，所述第一清潔通道(511)位于所述進氣結(jié)構(gòu)(101)內(nèi)呈弧形設(shè)置，且弧形結(jié)構(gòu)的所述第一清潔通道(511)環(huán)設(shè)于所述反應(yīng)通道(502)的外部，弧形結(jié)構(gòu)的所述第一清潔通道(511)具有間隔段，所述反應(yīng)進氣管路(400)能夠貫穿所述間隔段與所述反應(yīng)通道(502)連通。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的隔離式進氣裝置，其特征在于，所述第二清潔通道(531)包括第一入口端(5311)和環(huán)形段(5312)；

所述環(huán)形段(5312)套設(shè)于所述反應(yīng)通道(502)的外部，所述環(huán)形段(5312)沿著所述輸氣結(jié)構(gòu)(102)延伸輸送，所述第一入口端(5311)沿著所述環(huán)形段(5312)的圓周方向間隔設(shè)置有多個第一通孔(5313)，所述第一清潔通道(511)通過多個所述第一通孔(5313)與所述環(huán)形段(5312)連接，以通過所述環(huán)形段(5312)向所述噴頭結(jié)構(gòu)(200)輸送清潔氣體。