[實用新型]一種鉑銠合金測溫桿用套管有效
| 申請號: | 202222005302.0 | 申請日: | 2022-08-01 |
| 公開(公告)號: | CN217637691U | 公開(公告)日: | 2022-10-21 |
| 發明(設計)人: | 高飛;魏興政 | 申請(專利權)人: | 濟南蘭星電子有限公司 |
| 主分類號: | G01K1/08 | 分類號: | G01K1/08 |
| 代理公司: | 濟南譽琨知識產權代理事務所(普通合伙) 37278 | 代理人: | 袁彤彤 |
| 地址: | 250200 山東*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 合金 測溫 套管 | ||
本實用新型屬于半導體器件原料生產技術應用設備領域,尤其涉及一種鉑銠合金測溫桿用套管,包括測溫桿本體和套設在其外周的套管本體,所述套管本體包括截面呈T形狀設計且與測溫桿相適配的中空套筒,所述中空套筒上端設置有截面呈凹形狀設計的載盤,所述載盤上設置有鎖緊機構,所述鎖緊機構包括與載盤相螺紋連接的殼體,所述殼體內設置有鎖緊桿,且貫穿至載盤內設計,所述鎖緊桿一端設置有抽拉桿,且貫穿至殼體外周,位于所述殼體內的抽拉桿外周設置有伸縮彈簧,位于所述殼體外的抽拉桿一端設置有限位盤,所述限位盤一側設置有拉環。本實用新型能夠有效實現與測溫桿的便捷連接、提高工作進程,防止交叉污染現象的發生,滿足使用需求。
技術領域
本實用新型屬于半導體器件原料生產技術應用設備領域,尤其涉及一種鉑銠合金測溫桿用套管。
背景技術
半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料,其在集成電路、消費電子、通信系統、光伏發電、照明、大功率電源轉換等領域都有應用,如二極管就是采用半導體制作的器件。常見的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等,硅是各種半導體材料應用中最具有影響力的一種。
對于半導體器件的二極管來說,二極管管芯原材料的生產過程要經過摻磷和摻硼的高溫擴散,其溫度在1200℃左右,溫度要求±1℃范圍之內;受測溫精度使用需求來說,目前,該生產工藝在開展測溫工作時,大都是采用鉑銠合金線材質的測溫桿,其在測溫桿系列中具有準確度高、穩定性好、且測溫溫區寬,使用壽命長、測溫上限高等優點,能夠充分滿足二極管管芯原材料的生產制備工作;在實際生產加工過程中,由于磷和硼不能產生交叉污染,現有技術中,通常是將摻磷和摻硼的爐管與測溫桿都要分開使用,這樣,就是采用兩個測溫桿分別對兩個爐管開展測溫工作,雖然解決了磷和硼不會產生交叉污染的問題,但是兩根測溫桿的購置及應用,會在一定程度上增加了廠房的生產成本,經濟效益不高,為此,我們提出了一種既能分別實現測溫工作而防止交叉污染,又能夠節約廠房生產成本的鉑銠合金測溫桿用套管。
實用新型內容
本實用新型針對上述二極管管芯原材料生產測溫所存在的技術問題,提出一種設計合理、結構簡單、加工方便且能夠有效實現與測溫桿的便捷連接、保證生產工作進程的有效開展,進而防止交叉污染現象的發生,并能夠節約廠房生產成本、提高經濟效益且滿足生產使用需求的一種鉑銠合金測溫桿用套管。
為了達到上述目的,本實用新型采用的技術方案為一種鉑銠合金測溫桿用套管,包括測溫桿本體和套設在其外周的套管本體,所述套管本體包括截面呈T形狀設計且與測溫桿相適配的中空套筒,所述中空套筒上端設置有截面呈凹形狀設計的載盤,所述載盤上設置有鎖緊機構,所述鎖緊機構設置有四個且均勻排布在載盤的外周,所述鎖緊機構包括與載盤相螺紋連接的殼體,所述殼體內設置有鎖緊桿,且貫穿至載盤內設計,所述鎖緊桿一端設置有抽拉桿,且貫穿至殼體外周,位于所述殼體內的抽拉桿外周設置有伸縮彈簧,位于所述殼體外的抽拉桿一端設置有限位盤,所述限位盤一側設置有拉環。
作為優選,所述鎖緊桿和抽拉桿的連接處設置有用于承載伸縮彈簧的套盤,所述套盤的上下兩側外周處設置有限位板,所述殼體內側壁的上下兩端處開設有與限位板相適配的滑槽。
作為優選,所述測溫桿本體外周設置有卡合在載盤內的圓盤,所述圓盤外周處開設有與鎖緊桿相適配的卡槽,所述卡槽一端所在豎直方向上的圓盤外周開設有弧形槽。
與現有技術相比,本實用新型的優點和積極效果在于,
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