[實用新型]光罩拾取裝置和光刻設備

有效

• 申請號: 202222001040.0
• 申請日: 2022-07-29
• 公開（公告）號: CN218585171U
• 公開（公告）日: 2023-03-07
• 發明（設計）人: 譚明富
• 申請（專利權）人: 廣州粵芯半導體技術有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 別亞琴

1.一種光罩拾取裝置，用于拾取光罩盒內的光罩，所述光罩盒包括盒體和蓋設于盒體的蓋板，其特征在于，所述光罩拾取裝置包括：

安裝座體，包括基座、安裝于所述基座的第一驅動件及沿第一方向伸縮設于所述基座的升降座，所述第一驅動件與所述升降座連接，以驅動所述升降座沿所述第一方向朝靠近所述蓋板的底部的一側移動；

轉動主體，包括轉動座及第二驅動件，所述轉動座繞所述第一方向上的軸線轉動安裝于所述升降座的頂部，所述第二驅動件與所述轉動座連接，以驅動所述轉動座繞所述軸線轉動至拾取位置；

拾取組件，包括分別安裝于所述轉動座的接觸件與拾取件，在所述轉動座處于所述拾取位置時，所述接觸件與所述蓋板凸出于所述盒體的部分接觸且位于所述蓋板的下方；

感測組件，包括控制器及安裝于所述接觸件的第一傳感器，所述控制器分別與所述第一傳感器、所述第一驅動件、所述第二驅動件及所述拾取件電性連接；

其中，所述第一傳感器用于獲取所述接觸件與所述蓋板凸出于所述盒體的部分彼此接觸的接觸信號，所述控制器用于根據所述接觸信號控制所述拾取件拾取所述光罩盒內的光罩。

2.如權利要求1所述的光罩拾取裝置，其特征在于，所述拾取件包括沿第二方向延伸設置的主體部及設于所述主體部上的多個吸氣孔；

在所述轉動座處于所述拾取位置，多個所述吸氣孔朝向所述光罩盒的設置，以吸取所述光罩；

其中，所述第一方向與所述第二方向呈角度設置。

3.如權利要求2所述的光罩拾取裝置，其特征在于，所述主體部沿所述第二方向可伸縮安裝于所述轉動座，所述拾取組件還包括與所述主體部連接的第三驅動件；

所述控制器與所述第三驅動件電連接，以使所述控制器能夠根據接收到的所述接觸信號控制所述第三驅動件驅動所述主體部朝向所述光罩盒伸縮活動。

4.如權利要求2所述的光罩拾取裝置，其特征在于，所述拾取組件還包括設于所述拾取件一側的抵接件，所述抵接件設有與多個所述吸氣孔的朝向相同的接觸面，所述接觸面用于在所述光罩被多個所述吸氣孔吸取時與所述光罩貼合。

5.如權利要求4所述的光罩拾取裝置，其特征在于，所述感測組件還包括凹設于所述接觸面且與所述控制器電性連接的第二傳感器，所述第二傳感器用于感測所述接觸面與所述光罩彼此貼合的到位信號。

6.如權利要求4所述的光罩拾取裝置，其特征在于，所述拾取件相對間隔設有多個，所述抵接件設于其中兩個相鄰的個所述拾取件之間。

7.如權利要求1所述的光罩拾取裝置，其特征在于，所述轉動座上間隔布設有兩個所述接觸件；

在所述轉動座處于所述拾取位置，兩個所述接觸件分別位于所述盒體的相對兩側，且均與所述蓋板凸出于所述盒體的部分接觸。

8.如權利要求7所述的光罩拾取裝置，其特征在于，每一所述接觸件上至少設有一個所述第一傳感器。

9.如權利要求7所述的光罩拾取裝置，其特征在于，所述拾取件設于兩個所述接觸件之間，且所述拾取件的頂面與所述接觸件的頂面具有沿所述第一方向的預設間隔，以使得所述拾取件的頂面相較于所述接觸件的頂面，更靠近所述基座。

10.一種光刻設備，其特征在于，包括如權利要求1至9任意一項所述的光罩拾取裝置。