[實用新型]一種真空等離子密度變化監控裝置有效
| 申請號： | 202221680313.2 | 申請日： | 2022-06-30 |
| 公開（公告）號： | CN217895741U | 公開（公告）日： | 2022-11-25 |
| 發明（設計）人： | 籍龍占;張曉嵐;王國昌;謝丑相 | 申請（專利權）人： | 杭州朗旭新材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/54 | 分類號： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 杭州裕陽聯合專利代理有限公司 33289 | 代理人： | 司曉蕾 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 真空 等離子 密度 變化 監控 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種真空等離子密度變化監控裝置，其特征在于，包括同心圓結構的正負粒子接收器，所述正負粒子接收器設有內芯和罩子，所述內芯連接有真空饋入電極，所述真空饋入電極連接有電流表，所述電流表接地，所述罩子的一面為開口，所述內芯與所述罩子的內表面為隔空設置。
2.根據權利要求1所述的一種真空等離子密度變化監控裝置，其特征在于，所述內芯與所述真空饋入電極采用同軸電纜連接。
3.根據權利要求2所述的一種真空等離子密度變化監控裝置，其特征在于，所述內芯為圓片狀，所述內芯的中心連接于所述同軸電纜。
4.根據權利要求3所述的一種真空等離子密度變化監控裝置，其特征在于，所述罩子為圓筒狀，所述罩子的筒底與所述內芯的平面平行。
5.根據權利要求3所述的一種真空等離子密度變化監控裝置，其特征在于，所述罩子內設有用于連接所述內芯的安裝套。
6.根據權利要求1所述的一種真空等離子密度變化監控裝置，其特征在于，所述真空饋入電極與所述電流表采用單芯線連接。
7.根據權利要求1所述的一種真空等離子密度變化監控裝置，其特征在于，所述內芯為鍍銀銅片。
8.根據權利要求1所述的一種真空等離子密度變化監控裝置，其特征在于，所述罩子外設有陶瓷外箱，所述陶瓷外箱上設有用于安裝真空饋入電極的接口。
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