[實用新型]一種外延片存儲盒

有效

• 申請號: 202221672168.3
• 申請日: 2022-06-30
• 公開（公告）號: CN217554611U
• 公開（公告）日: 2022-10-11
• 發明（設計）人: 胡雨;戴冬云
• 申請（專利權）人: 江蘇第三代半導體研究院有限公司
• 主分類號: B65D25/38
• 分類號: B65D25/38;B65D25/02
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙) 32257
• 代理人: 殷海霞;唐靈

本實用新型涉及一種外延片存儲盒，包括：盒體，所述盒體內設置有存儲外延片的空腔；存取運輸帶，設置在所述盒體內，所述存取運輸帶的延伸方向與所述外延片在盒體內的堆疊方向相同，所述存取運輸帶設置在外延片的側面，所述存取運輸帶上設置有多片突出的擋板，多片所述擋板等間距設置，任意相鄰兩片擋板之間能夠存放一片外延片；運輸帶驅動源，帶動所述存取運輸帶正反轉動，實現外延片在盒體內的存取動作。本實用新型改變存儲盒的存儲結構，使外延片能夠堆疊放置在存儲盒中，從而能夠改變外延片在存儲盒中的取放方式，避免了外延片的污染和損傷，并且，通過存取運輸帶帶動堆疊的外延片在存儲盒內移動，方便外延片的存入和取出。

技術領域

本實用新型涉及外延片存儲技術領域，尤其是指一種外延片存儲盒。

背景技術

外延片是貴重且易損壞的電子半成品，并且，在使用外延片時，需要其具備極高的潔凈度，因此在制備外延片后，就需要使用存儲盒對外延片進行密封包裝，保證外延片不受污染，同時也方便外延片的運輸。

現有技術中，在腔室中形成外延片之后，使用機械手將形成的外延片從腔室中取出，然后通過夾取的方式將外延片放置在存儲盒中，在需要使用外延片時，也是通過夾取的方式將存儲盒中的外延片取出進行檢測或者轉移到倉庫，由于現有的存儲盒均為插入式存儲盒，例如：專利號為CN204624241 U的中國專利公開了一種晶圓片儲存盒，包括盒體、上蓋和底蓋，盒體與上蓋和下蓋之間分別通過鎖舌組件扣合連接，盒體內沿長度方向的兩內側壁上垂直設有多條隔槽板，相鄰兩條隔槽板之間形成用于插放晶圓片的置放槽，因此，在該結構的存儲盒中只能通過鑷子或者用手直接抓取外延片，這樣可能會造成外延片的周邊或上下表面污染或損傷。

為了防止外延片污染或者損傷，技術人員想要改變上述夾取的方式存放外延片，想要通過吸盤吸附的方式，實現對外延片的取放，但是吸盤很難從側面吸附外延片，因此就需要改變存儲盒的結構，使外延片在存儲盒內堆疊放置，這樣就能夠吸附外延片的平面，從何改變外延片的取放方式。

實用新型內容

為此，本實用新型所要解決的技術問題在于克服現有技術的外延片存儲盒的存放方式，提供一種外延片存儲盒，使外延片能夠堆疊放置在存儲盒中，從而能夠改變外延片在存儲盒中的取放方式。

為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種外延片存儲盒，包括：

盒體，所述盒體內設置有存儲外延片的空腔；

存取運輸帶，設置在所述盒體內，所述存取運輸帶的延伸方向與所述外延片在盒體內的堆疊方向相同，所述存取運輸帶設置在外延片的側面，所述存取運輸帶上設置有多片突出的擋板，多片所述擋板等間距設置，任意相鄰兩片擋板之間能夠存放一片外延片；

運輸帶驅動源，帶動所述存取運輸帶正反轉動，實現外延片在盒體內的存取動作。

在本實用新型的一個實施例中，在所述盒體內設置有多個存取運輸帶，多個所述存取運輸帶周向均勻分布在外延片的側面，通過多個所述存取運輸帶共同分隔和帶動外延片。

在本實用新型的一個實施例中，多個所述存取運輸帶之間通過齒輪嚙合連接，多個所述存取運輸帶由同一運輸帶驅動源帶動同步轉動。

在本實用新型的一個實施例中，所述存取運輸帶由硅膠材質制成。

在本實用新型的一個實施例中，所述運輸帶驅動源的輸出端通過渦輪和蝸桿的轉接方式與存取運輸帶的帶輪連接。

在本實用新型的一個實施例中，所述盒體包括：

底座，所述存取運輸帶和運輸帶驅動源均設置在所述底座上；

存儲盒罩，罩設在所述底座上，所述存儲盒罩上設置有供外延片通過的進出口；

存儲盒蓋，扣合設置在所述進出口上。