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[實(shí)用新型]光電二極管器件、光敏探測器和檢測裝置有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202221665159.1 申請日: 2022-06-29
公開(公告)號: CN217588938U 公開(公告)日: 2022-10-14
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 許東;王榮;冉斗 申請(專利權(quán))人: 杭州海康威視數(shù)字技術(shù)股份有限公司
主分類號: H01L27/146 分類號: H01L27/146;H01L31/0232;H01L31/102;G01J1/42
代理公司: 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274 代理人: 申健
地址: 310051 浙*** 國省代碼: 浙江;33
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 光電二極管 器件 光敏 探測器 檢測 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.一種光電二極管器件,其特征在于,包括:

半導(dǎo)體襯底,具有相對設(shè)置的第一表面和第二表面;

第一摻雜部,位于所述半導(dǎo)體襯底內(nèi),且所述第一摻雜部的一側(cè)表面裸露于所述第一表面;

聚光部,嵌入于所述半導(dǎo)體襯底內(nèi),所述聚光部在所述半導(dǎo)體襯底上的正投影,與所述第一摻雜部在所述半導(dǎo)體襯底上正投影的至少部分重疊;

第二摻雜部,位于所述第一摻雜部和所述聚光部之間,所述第二摻雜部與所述第一摻雜部的摻雜類型不同;所述第二摻雜部在所述半導(dǎo)體襯底上的正投影,與所述第一摻雜部在所述半導(dǎo)體襯底上正投影的至少部分重疊,且所述第二摻雜部在所述半導(dǎo)體襯底上的正投影,與所述聚光部在所述半導(dǎo)體襯底上正投影的至少部分重疊;

其中,所述聚光部用于將至少部分照射至所述第二表面的光線聚攏至所述第一摻雜部和所述第二摻雜部之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電二極管器件,其特征在于,所述聚光部靠近所述第一表面的一端具有第一弧面,所述第一弧面向靠近所述第一表面的方向彎曲。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光電二極管器件,其特征在于,所述第二表面開設(shè)有第一凹槽,所述聚光部嵌入于所述第一凹槽內(nèi),所述第二摻雜部遠(yuǎn)離所述第一摻雜部一端的表面為所述第一凹槽的內(nèi)壁。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光電二極管器件,其特征在于,所述聚光部遠(yuǎn)離所述第一表面的一側(cè)表面裸露于所述第二表面。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光電二極管器件,其特征在于,所述第一凹槽的內(nèi)壁包括:

側(cè)壁,所述側(cè)壁的一端與所述第二表面相連接,所述側(cè)壁的另一端向遠(yuǎn)離所述第二表面的方向延伸;

底壁,與所述側(cè)壁遠(yuǎn)離所述第二表面的一端相連接,所述底壁為第二弧面,所述第二弧面與所述第一弧面相貼合。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光電二極管器件,其特征在于,所述第一摻雜部在所述半導(dǎo)體襯底上的正投影,位于所述底壁在所述半導(dǎo)體襯底上的正投影之內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光電二極管器件,其特征在于,所述光電二極管器件還包括:

抗反射膜,覆蓋所述第二表面和所述第一凹槽的內(nèi)壁。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光電二極管器件,其特征在于,所述聚光部的光折射率大于所述抗反射膜光折射率。

9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光電二極管器件,其特征在于,所述聚光部的材質(zhì)包括透明樹脂和透明玻璃中至少之一。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光電二極管器件,其特征在于,當(dāng)所述聚光部的材料包括透明樹脂時(shí),所述透明樹脂包括丙烯酸樹脂。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電二極管器件,其特征在于,所述第一摻雜部和所述第二摻雜部之間為光敏區(qū),所述光敏區(qū)在水平截面的形狀為第一矩形,所述水平截面與所述第一表面相平行;

所述光電二極管還包括:

第三摻雜部,位于所述半導(dǎo)體襯底內(nèi),且與所述第二摻雜部電連接,所述第三摻雜部的摻雜類型與所述第二摻雜部的摻雜類型相同,所述第三摻雜部的一側(cè)表面裸露于所述第二表面;

至少兩個(gè)金屬隔離件,嵌入于所述半導(dǎo)體襯底內(nèi),至少兩個(gè)所述金屬隔離件相對設(shè)置,任一個(gè)所述金屬隔離件的一端與第三摻雜部電連接,任一個(gè)所述金屬隔離件的另一端裸露于所述第一表面,所述光敏區(qū)設(shè)置在至少兩個(gè)所述金屬隔離件之間;

其中,任一個(gè)所述金屬隔離件在所述水平截面的形狀為第二矩形,所述第二矩形的長邊與所述第一矩形的長邊相平行,所述第二矩形長邊的長度大于或等于所述第一矩形長邊的長度。

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