[實(shí)用新型]一種用于薄膜電容器的旋涂儀

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202221658978.3
• 申請(qǐng)日: 2022-06-28
• 公開（公告）號(hào): CN217491499U
• 公開（公告）日: 2022-09-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董翱龍;張海杰;魏建強(qiáng);米志超;郭寶;王穎;任婧;胡艷華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鄂爾多斯應(yīng)用技術(shù)學(xué)院
• 主分類號(hào): B05C11/08
• 分類號(hào): B05C11/08;B05C13/02;B05C9/14;B05D3/04
• 代理公司: 北京壹川鳴知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11765
• 代理人: 賈彥虹

本實(shí)用新型公開了一種用于薄膜電容器的旋涂儀，包括主體底座，主體底座頂部一側(cè)設(shè)置有固定底盤，主體底座頂部另一側(cè)設(shè)置有驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)盤，主體底座正面設(shè)置有操作面板；固定底盤頂端遠(yuǎn)離驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)盤的一側(cè)設(shè)置有安裝架，安裝架內(nèi)側(cè)縱向設(shè)置有多個(gè)等距排列的U形支架；驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)盤頂端兩側(cè)均設(shè)置有支撐柱，支撐柱內(nèi)側(cè)均縱向設(shè)置有多個(gè)等距排列的旋轉(zhuǎn)托板，兩個(gè)旋轉(zhuǎn)托板之間設(shè)置有薄膜制備盤；兩個(gè)支撐柱外側(cè)套設(shè)有防塵保護(hù)罩。本實(shí)用新型通過設(shè)置多組垂直設(shè)置的薄膜制備盤進(jìn)行薄膜勻膠與制備，能夠大幅提高旋涂儀的效率，從而同時(shí)制備多組或多類別的薄膜材料，滿足薄膜電容器不同類別與規(guī)格的制作，有效提高薄膜電容器制備與測試的效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及薄膜電容器技術(shù)領(lǐng)域，具體來說，涉及一種用于薄膜電容器的旋涂儀。

背景技術(shù)

由于電容器介質(zhì)的不同，電容器的種類也不同，它的種類很多。比如：紙質(zhì)電容器、電解質(zhì)電容器、薄膜電容器、空氣電容器等等。薄膜電容器在音響器材中的應(yīng)用時(shí)十分多的。薄膜電容器在模擬信號(hào)的交連中的使用十分廣泛。薄膜電容器的電極是用金屬箔來做的，將它和聚乙酯、聚苯乙烯、聚丙烯等塑料相互重疊之后，把他們卷成筒狀構(gòu)成電容器。這樣的話薄膜電容器依照塑料薄膜的種類的不同又可以分為聚乙酯電容器、聚苯乙烯電容器、聚丙烯電容器和聚碳酸電容器。

薄膜電容器生產(chǎn)制備過程中需要進(jìn)行多項(xiàng)操作，例如切膜、卷繞、熱壓及編帶等一系列流程，首先需要制備滿足薄膜電容器所需要的金屬箔與多種熱塑材料。而薄膜電容器在投入生產(chǎn)前需要進(jìn)行嚴(yán)格的實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，對(duì)不同材料與不同電容進(jìn)行組合制備與測試，研究不同種類薄膜電容器的特性與測試其規(guī)格。則需要利用到旋涂儀進(jìn)行薄膜的制備。

旋涂儀的工作原理是利用高速旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的離心力，使基片上的膠液由中心向外擴(kuò)散而形成薄膜。現(xiàn)有的旋涂儀存在一些缺陷，例如旋涂后薄膜厚度不均，尤其大尺寸基板，邊緣薄膜厚度與中心比較，不均更為明顯；并且旋涂的效率較低，一次只能進(jìn)行單張薄膜的旋涂制備，影響實(shí)驗(yàn)或生產(chǎn)的效率。

如專利CN215878616U公開了一種制備薄膜的旋涂裝置，該裝置由抽取泵對(duì)膠液進(jìn)行抽取，抽取后的膠水通過供液管進(jìn)入至連通管內(nèi)，經(jīng)過流量計(jì)對(duì)經(jīng)過的流量進(jìn)行計(jì)量，電磁閥控制通過流量的量，膠水通過噴頭噴出，無桿氣缸帶動(dòng)噴頭變換不同位置進(jìn)行噴膠，伴隨伺服電機(jī)帶動(dòng)圓臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)，使得噴出的膠在離心的作用下，分散開，以提高成薄膜后的均勻性。進(jìn)而提高成薄膜后的質(zhì)量。但同樣，該裝置的效率較低，且沒有對(duì)薄膜制備盤進(jìn)行保護(hù)，容易在旋轉(zhuǎn)過程中受到外界污染。

針對(duì)相關(guān)技術(shù)中的問題，目前尚未提出有效的解決方案。

實(shí)用新型內(nèi)容

(一)解決的技術(shù)問題

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了用于薄膜電容器的旋涂儀，具備操作簡單、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠，且可同時(shí)進(jìn)行多組薄膜制備勻膠的優(yōu)點(diǎn)，進(jìn)而解決現(xiàn)有技術(shù)中旋涂效率低，拆卸復(fù)雜，不能進(jìn)行防塵的問題。

(二)技術(shù)方案

為實(shí)現(xiàn)上述具備操作簡單、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠，且可同時(shí)進(jìn)行多組薄膜制備勻膠的優(yōu)點(diǎn)，本實(shí)用新型采用的具體技術(shù)方案如下：

一種用于薄膜電容器的旋涂儀，包括主體底座，主體底座頂部一側(cè)設(shè)置有固定底盤，主體底座頂部另一側(cè)設(shè)置有驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)盤，主體底座正面設(shè)置有操作面板；固定底盤頂端遠(yuǎn)離驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)盤的一側(cè)設(shè)置有安裝架，安裝架內(nèi)側(cè)縱向設(shè)置有多個(gè)等距排列的U形支架；驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)盤頂端兩側(cè)均設(shè)置有支撐柱，支撐柱內(nèi)側(cè)均縱向設(shè)置有多個(gè)等距排列的旋轉(zhuǎn)托板，兩個(gè)旋轉(zhuǎn)托板之間設(shè)置有薄膜制備盤；兩個(gè)支撐柱外側(cè)套設(shè)有防塵保護(hù)罩。

進(jìn)一步的，為了能夠通過U形支架與內(nèi)托板對(duì)薄膜制備盤進(jìn)行穩(wěn)定支撐與限位，保證薄膜制備盤能夠進(jìn)行穩(wěn)定的平移運(yùn)動(dòng)，U形支架內(nèi)底部設(shè)置有內(nèi)托板，U形支架的內(nèi)弧形結(jié)構(gòu)的圓周直徑與薄膜制備盤的直徑相同。