[實用新型]晶圓搬運機械手

有效

• 申請號: 202221657655.2
• 申請日: 2022-06-29
• 公開（公告）號: CN218255164U
• 公開（公告）日: 2023-01-10
• 發明（設計）人: 劉全益;胡敬祥;胡燦輝
• 申請（專利權）人: 深圳市夢啟半導體裝備有限公司
• 主分類號: B25J11/00
• 分類號: B25J11/00;B25J18/00;B65G49/07
• 代理公司: 深圳國新南方知識產權代理有限公司 44374
• 代理人: 李爽

本實用新型提供一種晶圓搬運機械手，包括升降組件、設于所述升降組件上的旋轉組件和機械手組件。所述升降組件包括升降軸和用于驅動所述升降軸實現升降動作的升降驅動裝置；所述旋轉組件用于驅動所述升降軸旋轉。所述機械手組件包括機械手驅動裝置、第一手臂、第二手臂和手指組件；所述手指組件包括手指固定座、設于所述手指固定座上的翻轉裝置、以及與所述翻轉裝置驅動端固定連接的手指；所述機械手驅動裝置驅動第一手臂，第一手臂帶動第二手臂伸展使所述手指固定座呈直線運動。本實用新型提供的晶圓搬運機械手的結構簡單，控制方式也較為簡單，使設備易于維護，其設備的運動平穩性強，能夠實現對晶圓的搬運及翻轉放置功能。

技術領域

本實用新型涉及自動化設備技術領域，特別是涉及一種晶圓搬運機械手。

背景技術

晶圓是指制作硅半導體積體電路所用的硅晶片，在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構，而成為有特定電性功能之IC產品，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。

晶圓在制造加工過程中，需要通過機械手臂對其進行位置的更改，比如從一個位置搬運至另一個位置，而且，為了下道工序加工方便，往往還需要對晶圓進行翻面操作。現有技術中的晶圓搬運機械手多存在運行平穩性差、無法實現晶圓翻面操作、以及機械結構及控制方法復雜等問題。

發明內容

為解決現有技術中存在的不足，本實用新型提供一種晶圓搬運機械手以解決現有技術中存在的運動平穩性差、無法對晶圓翻面、及結構復雜等問題。

為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案為：

一種晶圓搬運機械手，包括升降組件、設于所述升降組件上的旋轉組件和機械手組件；

所述升降組件包括升降軸和用于驅動所述升降軸實現升降動作的升降驅動裝置；所述旋轉組件用于驅動所述升降軸旋轉；

所述機械手組件包括機械手驅動裝置、第一手臂、第二手臂和手指組件；所述手指組件包括手指固定座、設于所述手指固定座上的翻轉裝置、以及與所述翻轉裝置驅動端固定連接的手指；所述第一手臂與所述機械手驅動裝置之間設置有第一關節，所述第二手臂與所述第一手臂之間設置有第二關節，所述第二手臂與所述手指組件之間設置有第三關節；所述機械手驅動裝置驅動第一手臂，第一手臂帶動第二手臂伸展使所述手指固定座呈直線運動。

對上述技術方案的進一步改進是：

所述第一手臂包括第一固定板、分別設于所述第一固定板上的第一主動輪組件、第一從動輪組件、第一同步帶和第一關節軸；所述第一關節軸與所述機械手驅動裝置的驅動端固定連接；所述主動輪組件套設于所述第一關節軸上；所述從動輪組件設于所述第一固定板與所述主動輪組件相對的另一端；所述第一同步帶套設于所述主動輪組件和從動輪組件上；所述第一關節軸設于所述第一關節內。

所述第一主動輪和第一從動輪之間的傳動比為1：2。

所述第二手臂包括第二固定板、分別設于所述第二固定板上的第二主動輪組件、第二從動輪組件、第二同步帶、第二關節軸和第三關節軸；所述第二關節軸的第一端穿設于所述第一從動輪組件中、所述第二關節軸的第二端穿設于所述第二主動輪組件中；所述第三關節軸穿設于所述第二從動輪組件中。

所述第二主動輪和第二從動輪之間的傳動比為2：1。

所述手指為真空吸盤。

所述升降驅動裝置包括升降電機和絲桿組件，所述絲桿組件包括絲桿和設于所述絲桿上的絲桿螺母；所述絲桿螺母與所述旋轉組件固定連接。

所述晶圓搬運機械手還包括固定架組件，所述升降組件、旋轉組件和機械手組件均固定于所述固定架組件上。

所述固定架組件上設有導向裝置，所述導向裝置用于為升降組件進行導向。