[實用新型]一種濾波器封裝結構

有效

• 申請號: 202221650838.1
• 申請日: 2022-06-28
• 公開（公告）號: CN217607786U
• 公開（公告）日: 2022-10-18
• 發明（設計）人: 李媛媛
• 申請（專利權）人: 廣東越海集成技術有限公司
• 主分類號: H03H9/05
• 分類號: H03H9/05;H03H9/10;H03H9/64
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 嚴慧

本實用新型公開了一種濾波器封裝結構。包括：基板、支撐層、頂層和電極層，所述支撐層設置在所述基板的表面上，所述支撐層設置有第一通孔，所述第一通孔用于露出功能區；所述支撐層上設置有第二通孔；所述第二通孔用于露出電極焊墊；所述頂層設置在所述支撐層遠離所述基板一側；所述頂層上設置有第三通孔，所述第三通孔用于露出所述第二通孔；所述頂層與所述第一通孔形成空腔，所述電極層設置在所述頂層遠離所述基板的一側；所述電極層與所述電極焊墊連接。本實用新型提供一種濾波器封裝結構，提高濾波器封裝中空腔的結構強度，避免空腔塌陷，提高了濾波器可靠性。

技術領域

本實用新型實施例涉及器件封裝技術領域，尤其涉及一種濾波器封裝結構。

背景技術

隨著移動通信技術的發展，通訊頻率越來越高，頻段逐步增多，無線通訊模塊的集成度越來越高，對濾波器、功率放大器、射頻開關等元器件提出了小型化、高可靠性等需求。

聲表面波濾波器(SAW filter)目前采用較多的為覆膜式晶圓級封裝，該封裝形式對覆膜空腔尺寸敏感，在尺寸增大時，覆膜結構強度不足，容易造成塌陷，影響濾波性能。

實用新型內容

本實用新型提供一種濾波器封裝結構，提高濾波器封裝中空腔的結構強度，避免空腔塌陷，提高了濾波器可靠性。

本實用新型實施例提供一種濾波器封裝結構，包括：基板、支撐層、頂層和電極層

所述基板的表面設置有電極焊墊和功能區；所述電極焊墊設置在所述功能區的兩側；所述支撐層設置在所述基板的表面上，所述支撐層設置有第一通孔，所述第一通孔在所述基板上的垂直投影覆蓋所述功能區；所述支撐層上設置有第二通孔；所述第二通孔在所述基板上的垂直投影覆蓋或部分覆蓋所述電極焊墊；

所述頂層設置在所述支撐層遠離所述基板一側；所述頂層上設置有第三通孔，所述第三通孔在所述基板上的垂直投影覆蓋所述第二通孔；所述頂層與所述第一通孔形成空腔，所述空腔用于容納所述功能區；

所述電極層設置在所述頂層遠離所述基板的一側；所述電極層與所述電極焊墊連接；其中，所述電極層在所述基板上的垂直投影部分覆蓋所述功能區。

可選的，所述的濾波器封裝結構，還包括阻焊干膜層；

所述阻焊干膜層設置在所述電極層遠離所述基板的一側，所述阻焊干膜層覆蓋所述第三通孔；

所述阻焊干膜層上設置有第四通孔；所述電極層在所述阻焊干膜層上的垂直投影覆蓋所述第四通孔。

可選的，所述支撐層、所述頂層和所述電極層均包括切割通道；所述頂層的切割通道在所述基板上的垂直投影覆蓋所述支撐層的切割通道；所述電極層的切割通道在所述基板上的垂直投影覆蓋所述頂層的切割通道；所述切割通道設置在所述電極焊墊遠離所述功能區的一側。

可選的，所述支撐層、所述頂層、所述電極層和所述阻焊干膜層均包括切割通道；所述頂層的切割通道在所述基板上的垂直投影覆蓋所述支撐層的切割通道；所述電極層的切割通道在所述基板上的垂直投影覆蓋所述頂層的切割通道；所述阻焊干膜層的切割通道在所述基板上的垂直投影覆蓋所述電極層的切割通道；所述切割通道設置在所述電極焊墊遠離所述功能區的一側。

可選的，所述功能區包括第一功能區和第二功能區，所述第一功能區和所述第二功能區在所述空腔內對稱分布。

可選的，所述電極層為鍍鎳金電極。

可選的，所述的濾波器封裝結構，還包括錫球，所述錫球通過所述第四通孔與所述電極層連接。

可選的，所述支撐層、所述頂層和所述阻焊干膜層為干膜涂層。

可選的，所述阻焊干膜層的厚度小于所述支撐層和所述頂層。

可選的，所述電極焊墊通過所述第二通孔暴露的寬度至少大于1μm。