[實用新型]一種臭氧水溶解系統

有效

• 申請號: 202221649890.5
• 申請日: 2022-06-29
• 公開（公告）號: CN217479088U
• 公開（公告）日: 2022-09-23
• 發明（設計）人: 韓培丁;劉運宇;張良
• 申請（專利權）人: 上海鈞乾智造科技有限公司
• 主分類號: C02F1/00
• 分類號: C02F1/00
• 代理公司: 上海恒銳佳知識產權代理事務所(普通合伙) 31286
• 代理人: 黃海霞

本實用新型提供了一種臭氧水溶解系統，該系統包括腔體，所述腔體具有相互導通的進液口和回液口，所述腔體還包括依次設置的溶解室、氣液分離室和浮氣室；所述溶解室、所述氣液分離室和所述浮氣室通過所述進液口和所述回液口導通；所述氣液分離室的位于所述浮氣室的上方，所述氣液分離室的頂端開設有排氣管；臭氧破壞器，與所述排氣管連接，用于將從所述氣液分離室內排出的臭氧分解成氧氣。本實用新型通過在腔體內依次設置的溶解室、氣液分離室、浮氣室，并通過進液口和回液口完成相互導通，在保證形成高濃度的臭氧水同時，使未溶解的臭氧和臭氧水分離，避免臭氧水溶液內產生的氣泡，提高了硅片處理的可靠性。

技術領域

本實用新型涉及臭氧處理系統技術領域，尤其涉及一種臭氧水溶解系統。

背景技術

傳統的清洗工藝是用堿(如KOH或氨水)和雙氧水的水溶液去除硅片表面的有機污染,再用雙氧水+鹽酸的水溶液去除溶液中的金屬離子。但是雙氧水本身非常容易分解，儲存不易，受熱或光照濃度會迅速降低，造成工業生產的不穩定。另一方面，雙氧水在清洗工藝中消耗量巨大，與之相應的鹽酸或堿的消耗量也非常可觀，且廢液處理難度大。所以光伏清洗正在逐漸用臭氧水清洗取代雙氧水清洗。

臭氧水清洗需要解決未溶解的臭氧和氧氣與溶液的分離，不然進入槽體的臭氧擴散到前后槽影響工藝和清洗效果，如何解決該問題是目前該領域技術人員需要解決的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種臭氧水溶解系統，該系統結構簡單，在保證臭氧水高濃度的同時，使未溶解的臭氧和臭氧水分離，提高了硅片處理的可靠性。

為實現上述目的，第一方面，本實用新型提供了一種臭氧水溶解系統，包括腔體，所述腔體具有相互導通的進液口和回液口，所述腔體還包括依次設置的溶解室、氣液分離室和浮氣室；所述溶解室、所述氣液分離室和所述浮氣室通過所述進液口和所述回液口導通；所述氣液分離室的位于所述浮氣室的上方，所述氣液分離室的頂端開設有排氣管。

本實用新型提供的臭氧水溶解系統有益效果在于：通過在腔體內依次設置的溶解室、氣液分離室、浮氣室，并通過進液口和回液口完成相互導通。在所述溶解室內使臭氧水溶液充分溶解，所述氣液分離室位于浮氣室的上方，用于將水氣混合溶液中的部分氣體分離，所述氣液分離室的頂端開設有排氣管，用于將分離出來沒溶解的臭氧排出。溶解好的高濃度臭氧水通過回液口流出。該系統結構簡單，在保證臭氧水高濃度的同時，使未溶解的臭氧和臭氧水分離，避免臭氧水溶液內產生的氣泡，提高了硅片處理的可靠性。

可選的，還包括臭氧破壞器，與所述排氣管連接，用于將從所述氣液分離室內排出的臭氧分解成氧氣。其有益效果在于：所述臭氧破壞器將從所述氣液分離室內排出的臭氧分解成氧氣排出。

可選的，還包括傳感器和閥門，所述傳感器設于所述氣液分離室，用于檢測所述氣液分離室內液體所在的位置；所述閥門設于所述排氣管，當所述傳感器檢測到所述氣液分離室內的液體達到上液位時，所述閥門關閉。其有益效果在于：通過設置閥門和傳感器，避免液體水位過高時通過排氣管排出。

可選的，所述溶解室內設有若干擾流板，若干所述擾流板分別間隔設于所述溶解室的內側壁。其有益效果在于：使臭氧水溶液經過溶解室時，進一步充分溶解。

可選的，所述擾流板朝靠近所述氣液分離室的方向傾斜；所述溶解室中相對的內側壁上交錯設有所述擾流板。

可選的，所述進液口和所述回液口均位于所述腔體的底部，所述氣液分離室位于所述腔體的頂部。其有益效果在于：通過將所述進液口和所述回液口均位于所述腔體的底部，所述氣液分離室位于所述腔體的頂部，使液體流入至所述氣液分離室，實現水氣的自然分離。

可選的，所述腔體呈“拱形”，所述溶解室和所述浮氣室分別位于所述腔體的兩側；所述進液口與所述溶解室連通，所述回液口與所述浮氣室連通。

可選的，所述傳感器為液位傳感器，所述液位傳感器豎直設于所述氣液分離室內。