[實用新型]一種半導體濕法設備制程工藝潔凈水節約回收裝置

有效

• 申請號: 202221635665.6
• 申請日: 2022-06-18
• 公開（公告）號: CN217756926U
• 公開（公告）日: 2022-11-08
• 發明（設計）人: 林正輝
• 申請（專利權）人: 力集泓光電科技（昆山）有限公司
• 主分類號: C02F1/00
• 分類號: C02F1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種半導體濕法設備制程工藝潔凈水節約回收裝置，設置有回收池和廢水池，通過檢測水潔凈的電阻值，用PLC控制器控制三通電磁閥門，將符合水潔凈標準的水流入到回收池。本裝置是通過更改半導體濕法設備制程工藝的回收管路，將符合水質要求的廢水排入回收池內，進行回收再利用，把不符合要求的廢水排入廢水池。本裝置是采用PLC控制器設定時間和設定電子水阻值計的參數來控制三通電磁閥門的轉向，從而確定水是進入排放廢水池還是進入回收池，這樣設計的目的，在于可以將半導體濕法設備制程工藝流程中大部分相對潔凈的去離子水予以回收，在較低的處理成本下再循環利用水資源，可以達到減少廢水排放處理的目標。

技術領域

本發明涉及一種回收水裝置，具體地說涉及一種設置有回收池和廢水池，通過檢測水潔凈的電阻值，用PLC控制器控制三通電磁閥門，將符合水潔凈標準的水流入到回收池的一種半導體濕法設備制程工藝潔凈水節約回收裝置。

背景技術

現有的半導體濕法設備制程工藝中的廢水都是通過手動閥門和廢水管道直接排到廢水池中，如果在半導體濕法設備制程工藝中有比較潔凈的水流出，也只能白白地流入廢水池，這樣就很浪費寶貴的水資源。

發明內容

本發明的目的是克服現有技術的不足之處，提供一種設置有回收池和廢水池，通過檢測水潔凈的電阻值，用PLC控制器控制三通電磁閥門，將符合水潔凈標準的水流入到回收池的一種半導體濕法設備制程工藝潔凈水節約回收裝置。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：一種半導體濕法設備制程工藝潔凈水節約回收裝置，包括制程設備箱體15、回收池13和廢水池14，制程設備箱體15內置有一號制程設備16、二號制程設備17、三號制程設備18、四號制程設備19，一號制程設備16、二號制程設備17、三號制程設備18、四號制程設備19底部分別置有手動閥門10，手動閥門10連接電子水阻值計8，電子水阻值計8連接三通電磁閥門2，三通電磁閥門2出口端連接廢水管道11，廢水管道11連接到廢水池14，三通電磁閥門2出口另一端連接回收水管道12，回收水管道12連接到回收池13，制程設備箱體15左側上部安裝復位按鈕7和啟動按鈕9，制程設備箱體15左側中上部安裝報警燈3和報警喇叭4，制程設備箱體15左側中下部安裝PLC控制器1，制程設備箱體15左側下部安裝電池5和電源開關6。

本發明的有益效果是，通過更改半導體濕法設備制程工藝的回收管路，將符合水質要求的廢水排入回收池內，進行回收再利用。把不符合要求的廢水排入廢水池。本裝置是采用PLC控制器設定時間和設定電子水阻值計的參數來控制三通電磁閥門的轉向，從而確定是進入排放廢水池還是進入回收池，這樣設計的目的，在于可以將半導體濕法設備制程工藝流程中大部分相對潔凈的去離子水予以回收，在較低的處理成本下再循環利用水資源，可以達到減少廢水排放處理的目標。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本發明進一步說明。

圖1是本發明的實施例一的結構圖。

圖2是本發明的實施例一的電路圖。

圖中：1.PLC控制器，2.三通電磁閥門，3.報警燈，4.報警喇叭，5.電池，6.電源開關，7.復位按鈕，8.電子水阻值計，9.啟動按鈕，10.手動閥門，11.廢水管道，12.回收水管道，13.回收池，14.廢水池，15.制程設備箱體，16.一號制程設備，17.二號制程設備，18.三號制程設備，19.四號制程設備。

具體實施方式

在圖1所示實施例中，設置有PLC控制器(1)，三通電磁閥門(2)，報警燈(3)，報警喇叭(4)，電池(5)，電源開關(6)，復位按鈕(7)，電子水阻值計(8)，啟動按鈕(9)，手動閥門(10)，廢水管道(11)，回收水管道(12)，回收池(13)，廢水池(14)，制程設備箱體(15)，一號制程設備(16)，二號制程設備(17)，三號制程設備(18)，四號制程設備(19)。