[實(shí)用新型]一種氨熱法反應(yīng)釜釜蓋組件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202221630492.9
• 申請日: 2022-06-28
• 公開（公告）號: CN217568689U
• 公開（公告）日: 2022-10-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊波;喬焜;張言平;張瀟;何曉
• 申請（專利權(quán)）人: 四川航空工業(yè)川西機(jī)器有限責(zé)任公司;國鎵芯科（深圳）半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: B01J19/02
• 分類號: B01J19/02
• 代理公司: 成都君合集專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51228
• 代理人: 張鳴潔

本實(shí)用新型公開了一種氨熱法反應(yīng)釜釜蓋組件，包括端蓋（1）和上內(nèi)襯套（2），端蓋（1）是柱體，端蓋（1）下部設(shè)置有與釜體組件（6）緊固連接的突緣，端蓋（1）底面開有內(nèi)凹腔，內(nèi)凹腔內(nèi)固裝有用于把端蓋（1）和釜體組件（6）內(nèi)酸性氣體隔離并密封的上內(nèi)襯套（2），端蓋（1）頂面開有用于充裝氨氣的進(jìn)氣口，進(jìn)氣口貫通端蓋（1）和上內(nèi)襯套（2），進(jìn)氣口內(nèi)設(shè)置防腐管（3），上內(nèi)襯套（2）用防腐蝕材料制成，上內(nèi)襯套（2）下端面設(shè)置有與釜體組件（6）下內(nèi)襯套凹槽配合安裝密封圈的密封凹槽（8），這樣釜蓋組件既能承受高壓又能承受酸性氣體的腐蝕，實(shí)現(xiàn)了反應(yīng)釜在熱等靜壓機(jī)內(nèi)采用氨熱法制備單晶氮化鎵的設(shè)計(jì)目標(biāo)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種釜蓋組件，尤其涉及一種氨熱法反應(yīng)釜釜蓋組件。

背景技術(shù)

氨熱法制備單晶材料是在反應(yīng)釜中進(jìn)行的，用于生長氮化鎵的反應(yīng)釜，為了滿足氨熱法條件下使用，安裝在熱等靜壓機(jī)內(nèi)，利用熱等靜壓機(jī)內(nèi)設(shè)計(jì)的生長爐溫差特性，使反應(yīng)釜內(nèi)的溫度產(chǎn)生溫差，形成高低溫兩個(gè)區(qū)域，即結(jié)晶區(qū)和溶解區(qū)，其中籽晶放置在結(jié)晶區(qū)，原材料與礦化劑放置在溶解區(qū)，原料在礦化劑催化作用下在溶解區(qū)開始融解，熔融體在溫度梯度形成的溫場作用下產(chǎn)生自然對流，從溶解區(qū)通過隔板輸運(yùn)到結(jié)晶區(qū)，在一定的溫度與壓力下，熔融體達(dá)到超飽和狀態(tài)而析出單晶。一般反應(yīng)釜包括釜體組件和與釜體組件密封連接的釜蓋組件，由于反應(yīng)釜內(nèi)外部具有8OMPa軸向以及徑向高壓氣體，內(nèi)部還有氨等堿性物質(zhì)以及酸性礦化劑，因此，設(shè)計(jì)一種既能承受高壓又能承受酸性氣體腐蝕的釜蓋組件十分重要。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種既能承受高壓又能承受酸性氣體腐蝕的釜蓋組件，實(shí)現(xiàn)在熱等靜壓機(jī)內(nèi)采用氨熱法制備單晶氮化鎵。

本實(shí)用新型通過下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：一種氨熱法反應(yīng)釜釜蓋組件，其特征在于：包括端蓋和上內(nèi)襯套，所述的端蓋是柱體，所述的端蓋下部設(shè)置有與釜體組件緊固連接的突緣，所述的端蓋底面開有內(nèi)凹腔，所述的內(nèi)凹腔內(nèi)固裝有用于把所述的端蓋和所述的釜體組件內(nèi)酸性氣體隔離并密封的所述的上內(nèi)襯套，所述的端蓋頂面開有用于充裝氨氣的進(jìn)氣口，所述的進(jìn)氣口貫通所述的端蓋和所述的上內(nèi)襯套，所述的上內(nèi)襯套下端面設(shè)置有與所述的釜體組件下內(nèi)襯套凹槽配合安裝密封圈的密封凹槽。

進(jìn)一步，所述的端蓋頂面開有用于定位以及施加預(yù)緊力的貫穿到底面的與釜體組件上表面的螺紋孔對置的安裝預(yù)緊螺釘?shù)耐住?/p>

進(jìn)一步，所述的端蓋底面開有用于安裝時(shí)軸向定位并在壓緊密封圈時(shí)不產(chǎn)生偏移、傾斜的與釜體組件上表面的定位銷相配合的定位孔。

進(jìn)一步，所述的進(jìn)氣口通過外螺母連接充裝氨氣的連接管。

進(jìn)一步，所述的端蓋的材料是GH4169。

進(jìn)一步，所述的上內(nèi)襯套的材料是鎳基合金706。

進(jìn)一步，所述的上內(nèi)襯套的材料表面有鍍銀層或者噴銀層。

進(jìn)一步，所述的進(jìn)氣口內(nèi)設(shè)置防腐管，所述的防腐管是銀制管。

本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點(diǎn)及有益效果：本實(shí)用新型的一種氨熱法反應(yīng)釜釜蓋組件, 在所述的端蓋的突緣處通過卡箍與釜體組件緊固連接，承受軸向高壓，并產(chǎn)生密封預(yù)緊力，使密封圈可靠密封；所述的端蓋的上內(nèi)襯套采取防腐蝕措施，把釜體組件內(nèi)酸性氣體隔離并密封，所述的端蓋的進(jìn)氣口設(shè)置防腐管，這樣釜蓋組件既能承受高壓又能承受酸性氣體的腐蝕，實(shí)現(xiàn)了反應(yīng)釜在熱等靜壓機(jī)內(nèi)采用氨熱法制備單晶氮化鎵的設(shè)計(jì)目標(biāo)。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的一種氨熱法反應(yīng)釜釜蓋組件的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型的一種氨熱法反應(yīng)釜釜蓋組件的使用示意圖。

圖中，1.端蓋，2. 上內(nèi)襯套，3. 防腐管，4. 連接管，5. 外螺母，6. 釜體組件，7.卡箍，8. 密封凹槽。

具體實(shí)施方式