[實用新型]玻璃基板上光刻膠干燥用的真空干燥箱

有效

• 申請號: 202221615005.1
• 申請日: 2022-06-24
• 公開（公告）號: CN217587864U
• 公開（公告）日: 2022-10-14
• 發明（設計）人: 趙嘉昊
• 申請（專利權）人: 樂金顯示光電科技（中國）有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 王士強

1.一種玻璃基板上光刻膠干燥用的真空干燥箱，其特征在于，包括箱體和設置在所述箱體外部的異物收集裝置，所述箱體內設置有用于容納基板的腔室，所述腔室的側壁具有若干排氣孔，所述排氣孔上設置排氣閥，所述異物收集裝置包括收集裝置以及排氣管，所述排氣管的一端與所述排氣孔連接，另一端與所述收集裝置連接，所述收集裝置用于收集從所述排氣管排出的異物。

2.根據權利要求1所述的玻璃基板上光刻膠干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述排氣孔具有至少兩個，至少兩個所述排氣孔與同一個所述排氣管連接。

3.根據權利要求1所述的玻璃基板上光刻膠干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述排氣管為柔性管。

4.根據權利要求1-3任一項所述的玻璃基板上光刻膠干燥用的真空干燥箱，其特征在于，還包括消音組件，所述消音組件設置在所述排氣管上。

5.根據權利要求4所述的玻璃基板上光刻膠干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述排氣管包括第一管和第二管，所述消音組件包括消音管和設置在所述消音管兩端的封板，所述封板上設置有通孔，所述消音管的內徑大于所述第一管的外徑和所述第二管的外徑，所述第一管的一端與所述排氣孔連接，所述第二管的一端與所述收集裝置連接，所述第一管遠離所述排氣孔的一端以及所述第二管遠離所述收集裝置的一端均具有插入端，所述第一管的所述插入端和所述第二管的所述插入端分別穿過所述通孔伸入至所述消音管的內部，且所述第一管的所述插入端與所述第二管的所述插入端間隔設置。

6.根據權利要求5所述的玻璃基板上光刻膠干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述第一管的所述插入端和所述第二管的所述插入端的管側壁均貫穿設置有消音孔。

7.根據權利要求6所述的玻璃基板上光刻膠干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述消音孔為圓錐孔，所述第一管上的所述消音孔的大端靠近所述第一管的軸線，所述第二管上的所述消音孔的大端部遠離所述第二管的軸線。

8.根據權利要求5所述的玻璃基板上光刻膠干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述第一管和所述第二管均通過彈性密封圈與對應的所述封板密封連接。

9.根據權利要求5所述的玻璃基板上光刻膠干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述通孔位于所述封板的中部。

10.根據權利要求5所述的玻璃基板上光刻膠干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述第一管上分別設置有第一接頭和第一控制閥，所述第一接頭位于所述第一控制閥與所述消音管之間，所述第二管分別設置有第二接頭和第二控制閥，所述第二接頭位于所述第二控制閥與所述消音管之間，所述第一接頭用于連接高壓進氣管，所述第二接頭用于連接高壓出氣管。