[實用新型]一種料盤清潔裝置

有效

• 申請號: 202221612027.2
• 申請日: 2022-06-24
• 公開（公告）號: CN217719517U
• 公開（公告）日: 2022-11-01
• 發明（設計）人: 張濤;張彬彬;蘇財鈺;黃先康;王鵬鵬
• 申請（專利權）人: 重慶康佳光電技術研究院有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B08B5/04;B01D46/00
• 代理公司: 深圳市君勝知識產權代理事務所(普通合伙) 44268
• 代理人: 謝松

1.一種料盤清潔裝置，其特征在于，包括：

卡匣腔體，用于放置料盤；

進氣管路，與所述卡匣腔體導通；

排氣管路，與所述卡匣腔體導通；以及

惰性氣體管路，與所述進氣管路連接，用于向所述卡匣腔體內導入惰性氣體。

2.根據權利要求1所述的料盤清潔裝置，其特征在于，所述進氣管路包括擴散筒、第一連接管道和第一閥門，所述擴散筒上形成有第一進氣口、第二進氣口和出氣口，所述第一進氣口與所述惰性氣體管路連接，用于導入惰性氣體；所述第二進氣口用于導入空氣；所述第一連接管道一端與所述出氣口連接，另一端與所述第一閥門連接；所述第一閥門設于所述卡匣腔體上，并連通至所述卡匣腔體的內腔中。

3.根據權利要求2所述的料盤清潔裝置，其特征在于，所述第一進氣口處設有盲板，并且所述盲板上形成有氣孔。

4.根據權利要求2所述的料盤清潔裝置，其特征在于，所述第二進氣口處設有過濾網。

5.根據權利要求2所述的料盤清潔裝置，其特征在于，所述第一閥門為氣動閥。

6.根據權利要求1至5任意一項所述的料盤清潔裝置，其特征在于，所述惰性氣體管路包括第二閥門、第二連接管道和第三連接管道，所述第二閥門設于所述卡匣腔體上；所述第二連接管道與所述第二閥門連接，用于導入惰性氣體至所述第二閥門；所述第三連接管道一端與所述第二閥門連接，另一端與所述進氣管路連接，用于將惰性氣體導入所述進氣管路。

7.根據權利要求1所述的料盤清潔裝置，其特征在于，所述料盤清潔裝置包括偵測部件和控制部件，所述偵測部件設于所述卡匣腔體上，用于檢測所述卡匣腔體內的酸氣濃度；所述控制部件一端與所述偵測部件連接，另一端與所述惰性氣體管路連接，用于控制惰性氣體的導入速率。

8.根據權利要求7所述的料盤清潔裝置，其特征在于，所述偵測部件為酸氣偵測器探頭。

9.根據權利要求7所述的料盤清潔裝置，其特征在于，所述控制部件為可編程邏輯控制器。

10.根據權利要求7所述的料盤清潔裝置，其特征在于，所述進氣管路設于所述卡匣腔體的頂部；所述排氣管路和所述偵測部件均設于所述卡匣腔體的底部。