[實用新型]一種濺射沉積鉬銅復(fù)合靶材爆炸焊接結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202221233697.3
• 申請日: 2022-05-23
• 公開（公告）號: CN217618355U
• 公開（公告）日: 2022-10-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 翟雨雷;楊若雅;夏金民;黃志鴿;劉旭瑞;劉儀冰;王迎鮮;黨富生;段瑞朋;慎雨霞;朱元華;周明芳
• 申請（專利權(quán)）人: 鄭州宇光復(fù)合材料有限公司
• 主分類號: B23K20/08
• 分類號: B23K20/08;B23K20/26
• 代理公司: 鄭州浩翔專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 41149
• 代理人: 牛雪姣

本實用新型公開了一種濺射沉積鉬銅復(fù)合靶材爆炸焊接結(jié)構(gòu)，包括鋼槽、放置在鋼槽內(nèi)的鉬板和平行設(shè)置在鉬板正上方的銅板，在銅板的上方設(shè)有用于放置炸藥的藥框，在藥框中部設(shè)有起爆雷管，在銅板和鉬板之間設(shè)有支撐柱，在鋼槽的側(cè)壁上分別設(shè)有用于螺接螺栓的固定孔，螺栓將鉬板頂緊固定。本實用新型通過將鉬板可拆卸固定在鋼槽內(nèi)，避免了二者在爆炸焊接過程中因鉬板背面受拉應(yīng)力影響而出現(xiàn)碎裂的情況，保證產(chǎn)品的合格率，同時二者結(jié)合強度高、不易脫落。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及濺射沉積鉬銅復(fù)合靶材制作技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種濺射沉積鉬銅復(fù)合靶材爆炸焊接結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

濺射氣相沉積鍍膜是利用離子源，在高真空或高純度惰性氣體保護環(huán)境下，荷能粒子轟擊固體板材表面的原子使其離開固體表面并沉積在基底薄膜。被轟擊的固體板材稱為濺射靶材，簡稱靶材。常見的濺射靶材為金屬或非金屬單質(zhì)靶材、合金靶材。對于高純金屬靶材，其背面一般與背板通過焊接的方式組合在一起，背板起到固定濺射靶材、導(dǎo)電、導(dǎo)熱的作用。對于兩者熱膨脹系數(shù)、熔點差異較大的異種金屬，如鉬銅復(fù)合靶材的制作，由于鉬板和鉬合金板的伸長率低，常規(guī)的爆炸焊接方法，鉬板和鉬合金板作為基板，在爆炸焊接過程中，由于基板受復(fù)板沖擊，極易產(chǎn)生碎裂現(xiàn)象，成品率極低。

實用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實用新型的目的是針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種濺射沉積鉬銅復(fù)合靶材爆炸焊接結(jié)構(gòu)，有效減少基板沖擊受力，提高了鉬銅復(fù)合靶材成品率高。

為達到上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：

一種濺射沉積鉬銅復(fù)合靶材爆炸焊接結(jié)構(gòu)，包括鋼槽、放置在所述鋼槽內(nèi)的鉬板和平行設(shè)置在所述鉬板正上方的銅板，在所述銅板的上方設(shè)有用于放置炸藥的藥框，在所述藥框中部設(shè)有起爆雷管，在所述銅板和鉬板之間設(shè)有支撐柱，在所述鋼槽的側(cè)壁上分別設(shè)有用于螺接螺栓的固定孔，所述螺栓將鉬板頂緊固定。

針對上述技術(shù)方案，鉬板為基板，銅板為復(fù)板，將鉬板通過螺栓緊固在鋼槽內(nèi)，在爆炸焊接過程中，鉬板受到銅板的高速沖擊，有效防止鉬板發(fā)生變形而在背面產(chǎn)生拉應(yīng)力造成其碎裂的情況，提高成品的合格率。

優(yōu)選的，在所述鋼槽的底部均布開設(shè)有多個孔洞。在爆炸焊接時，孔洞便于鉬板底部空氣排出，避免氣體壓縮高溫造成鉬板表面氧化；另外在爆炸焊接后，便于鉬銅復(fù)合靶材的取出。

優(yōu)選的，相鄰所述支撐柱之間相距300-400mm。可確保對銅板的支撐強度，避免銅板出現(xiàn)下凹的情況，有效保證銅板和鉬板之間的平行度。

優(yōu)選的，所述鉬板的厚度不小于所述鋼槽的凹槽深度。保證銅板和鉬板的有效焊接。

本實用新型的有益效果是：

本實用新型通過將鉬板可拆卸固定在鋼槽內(nèi)，避免了二者在爆炸焊接過程中因鉬板背面受拉應(yīng)力影響而出現(xiàn)碎裂的情況，保證產(chǎn)品的合格率，同時二者結(jié)合強度高、不易脫落。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為鉬板安裝示意圖；

圖3為銅板安裝示意圖。

圖中：1.鋼槽、2.鉬板、3.螺栓、4.銅板、5.支撐柱、6.藥框、7.炸藥、8.起爆雷管、9.孔洞。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步描述。