[實用新型]直列式制造設備

有效

• 申請號: 202221226980.3
• 申請日: 2022-05-20
• 公開（公告）號: CN218511288U
• 公開（公告）日: 2023-02-21
• 發明（設計）人: 柳斗善;白炅旼;申鉉億;李侑鐘;許明洙
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: F25D31/00
• 分類號: F25D31/00;F25D17/02;F25D17/06;F25D23/00
• 代理公司: 北京鉦霖知識產權代理有限公司 11722
• 代理人: 李英艷;馮志云

1.一種直列式制造設備，其特征在于，所述直列式制造設備包括：

載體，傳送基底；

多個處理腔室，在經由所述載體傳送的所述基底上執行制造工藝；以及

冷卻部件，用于降低所述基底的表面溫度，并且能與所述載體一起移動。

2.根據權利要求1所述的直列式制造設備，其特征在于，所述冷卻部件設置為與所述載體相鄰。

3.根據權利要求1或2所述的直列式制造設備，其特征在于，所述直列式制造設備進一步包括：

載體驅動部件，驅動所述載體，并且

所述載體驅動部件包括冷卻器驅動部件；

其中，所述載體驅動部件進一步包括將電能供應到所述冷卻部件的冷卻電源部件。

4.根據權利要求3所述的直列式制造設備，其特征在于，所述冷卻部件附接到所述載體。

5.根據權利要求4所述的直列式制造設備，其特征在于，

所述冷卻部件包括導管，并且

冷卻水或冷卻氣體供應到所述導管，所述冷卻氣體是惰性氣體。

6.根據權利要求3所述的直列式制造設備，其特征在于，所述冷卻部件設置為與所述載體間隔開。

7.根據權利要求6所述的直列式制造設備，其特征在于，所述冷卻部件包括多個冷卻氣體供應部件，所述多個冷卻氣體供應部件以均勻的間隔設置，以與安置在所述載體上的所述基底的表面相對應。

8.根據權利要求7所述的直列式制造設備，其特征在于，所述多個冷卻氣體供應部件是噴射冷卻氣體所經過的氣體噴射孔，所述冷卻氣體是惰性氣體。

9.根據權利要求1或2所述的直列式制造設備，其特征在于

所述多個處理腔室設置在第一方向上，并且

通過在與所述第一方向成角度的相交的第二方向上安置所述基底，所述載體在所述第一方向上傳送所述基底。

10.根據權利要求9所述的直列式制造設備，其特征在于，所述角度為直角。