[實(shí)用新型]一種分子泵自鎖保護(hù)抽空系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202221226880.0
• 申請(qǐng)日: 2022-05-20
• 公開（公告）號(hào): CN217270898U
• 公開（公告）日: 2022-08-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郝學(xué)元;李冀鍇;李春雷;羅玉冀;王燕兵
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都安特偉業(yè)科學(xué)儀器有限公司
• 主分類號(hào): F04D19/04
• 分類號(hào): F04D19/04;F04D27/00
• 代理公司: 北京天奇智新知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11340
• 代理人: 肖會(huì)

本實(shí)用新型涉及一種分子泵自鎖保護(hù)抽空系統(tǒng)，包括分子泵、前級(jí)泵、分子泵控制器、破空閥、電磁閥驅(qū)動(dòng)模塊、真空計(jì)、啟停控制模塊、電源和電池，前級(jí)泵、分子泵控制器和電磁閥驅(qū)動(dòng)模塊均與啟停控制模塊電性連接，啟停控制模塊和電磁閥驅(qū)動(dòng)模塊均與電源電性連接，分子泵與分子泵控制器電性連接，破空閥與電磁閥驅(qū)動(dòng)模塊、電池均電性連接，真空計(jì)與啟停控制模塊電性連接，前級(jí)泵通過(guò)真空管道與分子泵連接，真空表和破空閥設(shè)于真空管道上。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：在無(wú)人值守時(shí)可對(duì)故障的發(fā)生做出及時(shí)反應(yīng)，通過(guò)自動(dòng)停機(jī)實(shí)現(xiàn)自鎖保護(hù)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及分子泵抽空技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種分子泵自鎖保護(hù)抽空系統(tǒng)。

背景技術(shù)

渦輪分子泵(簡(jiǎn)稱分子泵)是一種獲得清潔高真空抽空設(shè)備，廣泛應(yīng)用于工業(yè)撿漏、電子束焊、光學(xué)鍍膜、真空電子元器件、電子與半導(dǎo)體材料、離子注入、科研裝置以及包括質(zhì)譜儀在內(nèi)的多種分析儀器。在當(dāng)代質(zhì)譜儀中，渦輪分子泵組成的抽空系統(tǒng)是最常見的基礎(chǔ)配置，用于實(shí)現(xiàn)儀器操作所必需的高真空條件。

由于渦輪分子泵結(jié)構(gòu)及原理的特性，最大排氣壓強(qiáng)不能直接壓縮至常壓，因而渦輪分子泵的使用必須在其排氣口提供前級(jí)真空，所以需要采用前級(jí)泵與分子泵配套組成抽空系統(tǒng)來(lái)運(yùn)行。現(xiàn)有分子泵抽空系統(tǒng)中常見的前級(jí)泵為旋片式機(jī)械泵，工作時(shí)必須保持分子泵與前級(jí)泵同時(shí)運(yùn)行，但是在現(xiàn)有的渦輪分子泵供應(yīng)市場(chǎng)上，通常只是提供泵的配置，組成的抽空系統(tǒng)只能人工進(jìn)行操控，在無(wú)人值守運(yùn)行的情況下，當(dāng)出現(xiàn)停電、兩個(gè)泵中任意一個(gè)故障或者真空突然破壞等情形時(shí)，如不立即處理，則會(huì)造成渦輪分子泵的損壞或真空系統(tǒng)的嚴(yán)重污染，最終造成經(jīng)濟(jì)損失。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供一種分子泵自鎖保護(hù)抽空系統(tǒng)，在無(wú)人值守時(shí)可對(duì)故障的發(fā)生做出及時(shí)反應(yīng)，通過(guò)自動(dòng)停機(jī)實(shí)現(xiàn)自鎖保護(hù)。

本實(shí)用新型的目的通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：

一種分子泵自鎖保護(hù)抽空系統(tǒng)，包括分子泵、前級(jí)泵、分子泵控制器、破空閥、電磁閥驅(qū)動(dòng)模塊、真空計(jì)、啟停控制模塊、電源和電池，前級(jí)泵、分子泵控制器和電磁閥驅(qū)動(dòng)模塊均與啟停控制模塊電性連接，啟停控制模塊和電磁閥驅(qū)動(dòng)模塊均與電源電性連接，分子泵與分子泵控制器電性連接，破空閥與電磁閥驅(qū)動(dòng)模塊、電池均電性連接，真空計(jì)與啟停控制模塊電性連接，前級(jí)泵通過(guò)真空管道與分子泵連接，真空表和破空閥設(shè)于真空管道上。

進(jìn)一步地，上述分子泵自鎖保護(hù)抽空系統(tǒng)還包括報(bào)警器，報(bào)警器與分子泵控制器電性連接。

進(jìn)一步地，上述分子泵自鎖保護(hù)抽空系統(tǒng)還包括電量檢測(cè)模塊和充電模塊，電池與電量檢測(cè)模塊、充電模塊均電性連接，電量檢測(cè)模塊和充電模塊電性連接，充電模塊與電源連接。

進(jìn)一步地，破空閥為電磁真空三通閥。

本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1、通過(guò)分子泵、前級(jí)泵、分子泵控制器、電磁閥、電磁閥驅(qū)動(dòng)模塊、真空計(jì)、啟停控制模塊和電源的設(shè)置，實(shí)現(xiàn)在無(wú)人值守時(shí)對(duì)故障的發(fā)生做出及時(shí)反應(yīng)，通過(guò)自動(dòng)停機(jī)實(shí)現(xiàn)自鎖保護(hù)。當(dāng)分子泵過(guò)流、過(guò)熱、轉(zhuǎn)速低于額定轉(zhuǎn)速時(shí)，報(bào)警器響應(yīng)分子泵控制器的故障信號(hào)進(jìn)行報(bào)警，同時(shí)啟停控制模塊響應(yīng)分子泵控制器的故障信號(hào)向分子泵控制器發(fā)出停機(jī)信號(hào)進(jìn)行斷電停機(jī)；當(dāng)前級(jí)泵故障或者真空意外破壞時(shí)，啟停控制器響應(yīng)真空計(jì)的信號(hào)進(jìn)行斷電停機(jī)；當(dāng)系統(tǒng)斷電時(shí)，自動(dòng)啟用電池維持破空閥延時(shí)工作以達(dá)到破空狀態(tài)。

2、通過(guò)電量檢測(cè)模塊和充電模塊的設(shè)置，當(dāng)電池電量不足時(shí)可自動(dòng)對(duì)電池進(jìn)行充電，以便于系統(tǒng)斷電時(shí)電池有足夠電量維持破空閥延時(shí)工作。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型中分子泵控制電路的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型中破空閥控制電路的結(jié)構(gòu)示意圖。