[實用新型]一種低溫泵吸附陣

有效

• 申請號: 202221140872.4
• 申請日: 2022-05-12
• 公開（公告）號: CN218062577U
• 公開（公告）日: 2022-12-16
• 發明（設計）人: 張寶卷;林斌;王澤煒;陳麗
• 申請（專利權）人: 亞祥（寧波）低溫科技有限公司
• 主分類號: F04B37/08
• 分類號: F04B37/08
• 代理公司: 寧波辰暉專利代理事務所(普通合伙) 33420
• 代理人: 葉蕊嘉

本公開提供了一種低溫泵吸附陣，屬于低溫真空技術領域，其包括傘狀堆疊的第一冷傘片、第二冷傘片，第一冷傘片居中設置有方形孔，第二冷傘片用于安裝氣缸，第二冷傘片與氣缸的端部相連，所述第一冷傘片在平行于第一平板部方向上的投影呈等腰梯形，所述第一冷傘片與第二冷傘片形狀基本相同，所述第一冷傘片、第二冷傘片設置有用于增加膠水附著力的通孔。本公開能夠增加活性炭粘附面積、并且活性炭粘附較牢固，不易脫落，吸附氣體不容易飽和，延長了低溫泵再生周期。

技術領域

本公開屬于低溫真空技術領域，更具體涉及一種低溫泵吸附陣。

背景技術

真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料，使其蒸發并凝結于鍍件(金屬、半導體或絕緣體)表面而形成薄膜的一種方法，真空鍍膜需要真空條件，而低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，主要通過低溫冷凝和低溫吸附獲得超高真空。低溫冷凝主要是采用冷傘片冷凝第一、二類氣體(如CO₂、N₂、Ar等)，以N₂為例，如低溫板溫度小于等于20K，壓力將小于10^-8Pa。但超高真空的獲得僅僅依靠低溫冷凝是不夠的，第三類氣體H₂、He、Ne在20K的平衡蒸汽壓力太高，不能被低溫冷凝在冷傘片上。低溫吸附主要是采用低溫下的吸附材料捕獲第三類氣體，獲得超高真空。吸附陣結構多采用多層冷傘片堆成傘狀的結構，把4mm左右厚的紫銅板彎成U型作為傳熱板，把圓環型冷傘片沖壓成型后鍍鎳，內層粘結活性炭，再通過銅鉚釘鉚接至傳熱板，組成一個吸附陣。吸附陣外表面用于冷凝第二類氣體，內表面用于吸附第三類氣體，氣體一般先碰到冷凝面再碰到吸附面上，這種結構保證低溫泵對所有氣體均具有一定的抽速。

起初，小型自屏蔽低溫泵，都是從美、日進口的，進口過程比較困難，周期較長，經費還比較貴。而且，活性炭的數量和牢固度對低溫泵的排氣能力十分重要，但現有低溫泵存在吸附陣金屬表面與活性炭之間膠水的附著力不足，使用一段時間后容易脫落、吸附陣活性炭的量少，吸附氣體(H₂，Ar)容易飽和，低溫泵再生周期短的問題。

為解決進口難題，我國研制出小型制冷機低溫泵，如公開號為CN201288651Y的一種小型制冷機低溫泵：主要包括冷頭、殼體、冷屏、二級冷板、障板，其中，冷屏設置在殼體內部，二級冷板設置在冷屏內部，冷頭通過其法蘭固定在殼體中線上并穿過殼體，在殼體內部通過其一級法蘭與冷屏連接，在冷屏內通過其二級法蘭與二級冷板相連接，障板與冷屏組成光學封閉結構，將二級冷板包圍在其中。該公開中，二級冷板整件外表面鍍銀拋光，吸附板內表面用低溫膠粘結椰殼活性炭，活性炭采用直徑為1mm-2mm、長度為2mm-3mm的圓柱體形狀，螺釘連接處采用銦片連接。該公開仍存在吸附陣金屬表面與活性炭之間膠水的附著力不足、吸附陣活性炭的量少，吸附氣體(H₂，Ar)容易飽和的問題。

實用新型內容

本公開針對現有技術中，小型低溫泵存在的，吸附陣金屬表面與活性炭之間膠水的附著力不足，使用一段時間后活性炭容易脫落、吸附陣活性炭的量少，吸附氣體(H₂， Ar)容易飽和，低溫泵再生周期短的問題，提供一種低溫泵吸附陣，該低溫泵吸附陣上吸附的活性炭數量較多，且活性炭附著力好，不易脫落，提高了吸附陣的吸附性能，延長了活性炭的飽和時間，延長了低溫泵再生周期。

本公開的構思之一在于，吸附陣包括冷傘片，冷傘片包括第一冷傘片和用于連接氣缸端部的第二冷傘片，第一冷傘片、第二冷傘片上粘附有活性炭，第一冷傘片上設置有方形孔，所述方形孔用于供氣缸通過或用于通氣。而現有技術中設置圓形孔，方形孔相對圓形孔，一是加工更方便，二是減少了打孔面積，使得平板部上能粘附更多活性炭，延長活性炭的飽和時間，延長低溫泵再生周期。

本公開的另一構思在于，通過在第一冷傘片、第二冷傘片上加工通孔，增加膠水附著度從而提高活性炭的附著度。

本公開的另一構思在于，相鄰的冷傘片之間通過支柱相連，連接處用螺栓緊固并墊有銦片和墊片，能增加面與面之間的貼合度，增加接觸面積，更有利于溫度傳導。