[實(shí)用新型]一種用于鋰離子生產(chǎn)線的旋轉(zhuǎn)式化學(xué)氣相沉積裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202221133252.8
• 申請日: 2022-05-12
• 公開（公告）號: CN217266001U
• 公開（公告）日: 2022-08-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋飛;陳萬杰;彭友軍
• 申請（專利權(quán)）人: 湖南航盛新能源材料有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 湖南中澤專利代理事務(wù)所(普通合伙) 43259
• 代理人: 龍予倩

實(shí)用新型屬于鋰離子沉積加工領(lǐng)域，具體的說是一種用于鋰離子生產(chǎn)線的旋轉(zhuǎn)式化學(xué)氣相沉積裝置，包括底座和空氣壓縮機(jī)，所述底座的上方安裝有靜電環(huán)，且靜電環(huán)的上方安裝有連接塊，所述空氣壓縮機(jī)的右側(cè)安裝有連通管，且空氣壓縮機(jī)位于連接塊的上方，所述連通管的右側(cè)安裝有第一齒輪軸，且第一齒輪軸的右側(cè)安裝有第二齒輪軸，所述第二齒輪軸的右側(cè)安裝有轉(zhuǎn)動機(jī)；本實(shí)用新型通過設(shè)置有電機(jī)軸，可以配合第一轉(zhuǎn)軸和軸承，能夠保證設(shè)備在進(jìn)行離子的加工時化學(xué)氣相沉積工作時更加的均勻，電極軸沿軸承的底部均勻分布，可以在進(jìn)行鋰離子的旋轉(zhuǎn)時可以更加的高效，在進(jìn)行化學(xué)氣相沉積時，防止離子在設(shè)備內(nèi)部的堆積，有效設(shè)備的工作的效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及鋰離子沉積加工領(lǐng)域，具體是一種用于鋰離子生產(chǎn)線的旋轉(zhuǎn)式化學(xué)氣相沉積裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體材料生長領(lǐng)域，化學(xué)氣相沉積法是一種重要且常見的生長方法，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體外延片制造、太陽能電池鍍膜、新型二維材料生長等方面。

然后現(xiàn)有的于鋰離子生產(chǎn)線的旋轉(zhuǎn)式化學(xué)氣相沉積裝置在進(jìn)行加工時，由于內(nèi)部的電機(jī)軸分布不夠均勻，不能進(jìn)行一定的旋轉(zhuǎn)然后造成設(shè)備內(nèi)部的離子堆積，且穩(wěn)定過低時降低設(shè)備的工作效率。

因此，針對上述問題提出一種用于鋰離子生產(chǎn)線的旋轉(zhuǎn)式化學(xué)氣相沉積裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了彌補(bǔ)現(xiàn)有技術(shù)的不足，解決在進(jìn)行工作時不能對加工的元件進(jìn)行打磨，且在打磨時不能進(jìn)行一定的厚度把握，并且在設(shè)備工作時因?yàn)樵O(shè)備的抖動會對加工元件造成誤差的問題，本實(shí)用新型提出一種用于鋰離子生產(chǎn)線的旋轉(zhuǎn)式化學(xué)氣相沉積裝置。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：本實(shí)用新型所述的一種用于鋰離子生產(chǎn)線的旋轉(zhuǎn)式化學(xué)氣相沉積裝置，包括底座和空氣壓縮機(jī)，所述底座的上方安裝有靜電環(huán)，且靜電環(huán)的上方安裝有連接塊，所述空氣壓縮機(jī)的右側(cè)安裝有連通管，且空氣壓縮機(jī)位于連接塊的上方，所述連通管的右側(cè)安裝有第一齒輪軸，且第一齒輪軸的右側(cè)安裝有第二齒輪軸，所述第二齒輪軸的右側(cè)安裝有轉(zhuǎn)動機(jī)，且轉(zhuǎn)動機(jī)的右側(cè)安裝有螺紋栓盤，所述螺紋栓盤的左側(cè)安裝有保護(hù)殼，且保護(hù)殼的內(nèi)部安裝有連接軸，所述連接軸的右側(cè)安裝有石墨板，且石墨板的右側(cè)安裝有傳輸軸，所述傳輸軸的內(nèi)部安裝有工作罩，且工作罩的內(nèi)部安裝有第一轉(zhuǎn)軸，所述第一轉(zhuǎn)軸的左側(cè)安裝有第二轉(zhuǎn)軸，且第二轉(zhuǎn)軸的下方安裝有電極軸，所述電極軸的下方安裝有軸承，且軸承的右側(cè)安裝有壓縮口，所述壓縮口的右側(cè)安裝有輻射板。

優(yōu)選的，所述靜電環(huán)采用PVC材料結(jié)構(gòu)，且保護(hù)殼通過靜電環(huán)與底座為固定結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述空氣壓縮機(jī)通過連通管與工作罩構(gòu)成流通結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述石墨板通過連接軸與螺紋栓盤為固定結(jié)構(gòu)，且石墨板通過傳輸軸與工作罩為固定連接。

優(yōu)選的，所述第二齒輪軸與轉(zhuǎn)動機(jī)為轉(zhuǎn)動連接，且第一齒輪軸通過第二齒輪軸與轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)成轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述電極軸沿軸承的底部均勻分布，且電極軸通過第一轉(zhuǎn)軸與第一齒輪軸構(gòu)成轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述電極軸沿工作罩的底部均勻分布，且工作罩的內(nèi)部設(shè)置有輻射板。

本實(shí)用新型的有益之處在于：

1.本實(shí)用新型通過設(shè)置有電機(jī)軸，可以配合第一轉(zhuǎn)軸和軸承，能夠保證設(shè)備在進(jìn)行離子的加工時化學(xué)氣相沉積工作時更加的均勻，電極軸沿軸承的底部均勻分布，可以在進(jìn)行鋰離子的旋轉(zhuǎn)時可以更加的高效，在進(jìn)行化學(xué)氣相沉積時，防止離子在設(shè)備內(nèi)部的堆積，有效設(shè)備的工作的效率；

2.本實(shí)用新型通過設(shè)置有傳輸軸，設(shè)備在進(jìn)行加工時，為了防止設(shè)備在冷卻的情況下降低設(shè)備的工作效率，安裝的石墨板通過安裝為還原鐵粉材料的連接軸對工作罩進(jìn)行散發(fā)熱量，保證內(nèi)部環(huán)境的溫度，設(shè)備在進(jìn)行工作時，溫度越高，內(nèi)部的電場內(nèi)的分子運(yùn)動的更快，可以提高設(shè)備的工作效率。

附圖說明