[實用新型]一種用于CMP階段晶圓邊緣清潔的晶圓支架

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202221127748.4
• 申請日: 2022-05-12
• 公開（公告）號: CN217158156U
• 公開（公告）日: 2022-08-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金相一
• 申請（專利權(quán)）人: 成都高真科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;B08B3/10;B08B13/00
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51214
• 代理人: 張杰

本實用新型公開了一種用于CMP階段晶圓邊緣清潔的晶圓支架，涉及晶圓清洗的技術(shù)領(lǐng)域，具體包括晶圓支架本體和用于液體流出的液體孔，所述晶圓支架本體上設(shè)置有用于夾持晶圓的夾持部；所述液體孔開設(shè)在晶圓支架本體上，液體由晶圓支架本體內(nèi)部經(jīng)液體孔流出至晶圓邊緣；本實用新型，在使用時，晶圓支架本體會進行旋轉(zhuǎn)，從而帶動晶圓旋轉(zhuǎn)，在旋轉(zhuǎn)過程中，液體不斷的從液體孔流出，并分散至晶圓邊緣上，在后續(xù)晶圓的旋轉(zhuǎn)中，邊緣顆粒在液體的離心力的作用下被清理掉，實現(xiàn)晶圓邊緣的清理，從而避免了晶圓污染，使得經(jīng)CMP階段后的晶圓良品率大大提高。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及晶圓清洗的技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于CMP階段晶圓邊緣清潔的晶圓支架。

背景技術(shù)

隨著設(shè)備的尺寸變得越來越小，小尺寸的缺點影響到效益的情況變得越來越多；在半導(dǎo)體的制備工藝中，為了去除顆粒，在CMP(化學機械拋光)工藝中會使用到刷子，通過物理性對晶圓表面進行摩擦來去除顆粒；但由于目前采用的晶圓支架與晶圓邊緣接觸的區(qū)域為清理盲區(qū)，導(dǎo)致顆粒去除之后，部分顆粒或污染物會殘留在晶圓邊緣上，且無法清除。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于：針對目前采用的晶圓支架與晶圓邊緣接觸的區(qū)域為清理盲區(qū)，導(dǎo)致顆粒去除之后，部分顆粒或污染物會殘留在晶圓邊緣上，且無法清除的問題，提供了一種用于CMP階段晶圓邊緣清潔的晶圓支架，解決了上述問題。

本實用新型的技術(shù)方案如下：

一種用于CMP階段晶圓邊緣清潔的晶圓支架，具體包括如下結(jié)構(gòu)：

晶圓支架本體，所述晶圓支架本體上設(shè)置有用于夾持晶圓的夾持部；優(yōu)選地，在使用時，需要多個晶圓支架本體配合才能完成晶圓的夾持，具體的，所述多個晶圓支架本體分布在晶圓周圍，隨著各個晶圓支架本體的收攏，使各個夾持部將晶圓邊緣進行夾持，即完成了晶圓的固定；

用于液體流出的液體孔，所述液體孔開設(shè)在晶圓支架本體上，液體由晶圓支架本體內(nèi)部經(jīng)液體孔流出至晶圓邊緣；優(yōu)選地，所述液體孔為多個，均勻分布在晶圓支架本體上；在使用時，晶圓支架本體會進行旋轉(zhuǎn)，從而帶動晶圓旋轉(zhuǎn)，在旋轉(zhuǎn)過程中，液體不斷的從液體孔流出，并分散至晶圓邊緣上，在后續(xù)晶圓的旋轉(zhuǎn)中，邊緣顆粒在液體的離心力的作用下被清理掉，實現(xiàn)晶圓邊緣的清理。

進一步地，所述晶圓支架本體呈圓柱體狀，所述夾持部為開設(shè)在晶圓支架本體周向方向上的V形槽，所述V形槽用于夾持晶圓邊緣；即所述V形槽繞著晶圓支架本體的圓周設(shè)置了一圈，通過多個晶圓支架本體的收攏，從而使V形槽夾持住晶圓邊緣。

進一步地，所述V形槽包括開口端和尖端，所述尖端用于與晶圓接觸；優(yōu)選地，所述開口端處設(shè)置有水平段，用于臨時放置晶圓，在使用時，可調(diào)整好各個晶圓支架本體的位置，使晶圓邊緣剛好放置在水平段處，然后隨著各個晶圓支架本體的收攏，晶圓邊緣在擠壓下，逐漸向上移動，最終移動至尖端，尖端與晶圓邊緣緊密接觸，實現(xiàn)晶圓的固定。

進一步地，所述液體孔設(shè)置在V形槽的尖端處，且與所述尖端保持在同一水平線上，從而保證由液體孔流出的液體能夠分散至晶圓邊緣上。

進一步地，所述晶圓支架本體內(nèi)部在周向方向上開設(shè)置有液體通道，所述液體孔向晶圓支架本體徑向方向延伸，并與液體通道連通；液體由液體通道進入晶圓支架本體內(nèi)，再由液體孔流出。

進一步地，還包括晶圓支架旋轉(zhuǎn)部，所述晶圓支架旋轉(zhuǎn)部與晶圓支架本體連接，用于驅(qū)動晶圓支架本體旋轉(zhuǎn)；優(yōu)選地，所述晶圓支架旋轉(zhuǎn)部只要實現(xiàn)驅(qū)動晶圓支架本體旋轉(zhuǎn)即可，多其具體的工作原理和結(jié)構(gòu)這里不做詳細的解釋，本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠在不經(jīng)過創(chuàng)造性勞動的前提實現(xiàn)，因此這里不再贅述；優(yōu)選地，所述晶圓支架旋轉(zhuǎn)部設(shè)置在晶圓支架本體下方，且與晶圓支架本體固定連接，其連接方式不限。

進一步地，所述晶圓支架旋轉(zhuǎn)部內(nèi)部開設(shè)有供液體管線穿過的管線孔，所述液體管線穿過管線孔與液體通道連接；所述液體管線用于液體輸送。