[實用新型]半導(dǎo)體加工模具的檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202221117072.0
• 申請日: 2022-05-11
• 公開（公告）號: CN217900818U
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張明
• 申請（專利權(quán)）人: 樂山博思半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: G01B21/30
• 分類號: G01B21/30;B25B11/00
• 代理公司: 成都欣圣知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51292
• 代理人: 王淇

1.半導(dǎo)體加工模具的檢測裝置，包括支撐底座（1），其特征在于：所述支撐底座（1）的外部固定連接在承載臺（2），承載臺（2）遠離支撐底座（1）的一側(cè)安裝有夾持機構(gòu)一（3），支撐底座（1）的外部安裝有夾持機構(gòu)二（4），夾持機構(gòu)二（4）的外部安裝有夾持機構(gòu)三（5）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體加工模具的檢測裝置，其特征在于：所述夾持機構(gòu)一（3）包括固定板（31）、滑塊（32）、活動板（33）、推桿（34），固定板（31）固定連接在承載臺（2）遠離支撐底座（1）的一側(cè)，滑塊（32）滑動連接在承載臺（2）的側(cè)面，活動板（33）固定連接在滑塊（32）的外部，推桿（34）固定連接在活動板（33）遠離固定板（31）的一側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體加工模具的檢測裝置，其特征在于：所述滑塊（32）設(shè)置有兩個且對稱分布在承載臺（2）的側(cè)面，活動板（33）的兩側(cè)均固定連接有滑塊（32）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體加工模具的檢測裝置，其特征在于：所述夾持機構(gòu)一（3）還包括限制卡環(huán)（35）和螺釘（36），限制卡環(huán)（35）的表面開設(shè)有兩個對稱分布的螺孔，螺釘（36）有兩個，兩個螺釘（36）分別穿過兩個螺孔并螺紋連接在承載臺（2）的臺壁內(nèi)側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體加工模具的檢測裝置，其特征在于：所述夾持機構(gòu)二（4）包括滑道（41）、滑條（42）、活動框（43）、齒條（44）、固定底座（45）、電動伸縮桿一（46），滑道（41）有兩個且對稱開設(shè)在支撐底座（1）的表面，滑條（42）滑動連接在滑道（41）的內(nèi)側(cè)，活動框（43）固定連接在滑條（42）遠離支撐底座（1）的一側(cè)，齒條（44）固定連接在活動框（43）的外部，固定底座（45）固定連接在支撐底座（1）的表面，電動伸縮桿一（46）固定安裝在固定底座（45）遠離支撐底座（1）的一側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體加工模具的檢測裝置，其特征在于：所述固定底座（45）和電動伸縮桿一（46）均有兩個且在支撐底座（1）的表面對稱分布，活動框（43）有兩個且對稱分布在滑道（41）的外部，兩個電動伸縮桿一（46）對稱固定安裝在其中一個活動框（43）的外部。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體加工模具的檢測裝置，其特征在于：所述夾持機構(gòu)二（4）還包括轉(zhuǎn)軸（47）、齒輪（48），轉(zhuǎn)軸（47）的一端轉(zhuǎn)動連接在支撐底座（1）的外部，轉(zhuǎn)軸（47）的另一端轉(zhuǎn)動連接在承載臺（2）靠近支撐底座（1）的一側(cè)，齒輪（48）固定連接在轉(zhuǎn)軸（47）的外部，齒條（44）有兩個且兩個齒條（44）均與齒輪（48）的外部嚙合。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體加工模具的檢測裝置，其特征在于：所述夾持機構(gòu)三（5）包括電動伸縮桿二（51）和下壓板（52），電動伸縮桿二（51）固定安裝在活動框（43）遠離電動伸縮桿一（46）的內(nèi)側(cè)壁，下壓板（52）固定安裝在電動伸縮桿二（51）靠近電動伸縮桿一（46）的一側(cè)，下壓板（52）滑動連接在活動框（43）的內(nèi)側(cè)。