[實用新型]一種燈座結構及外延設備

有效

• 申請號: 202221110697.4
• 申請日: 2022-05-10
• 公開（公告）號: CN217536156U
• 公開（公告）日: 2022-10-04
• 發明（設計）人: 秦志堅
• 申請（專利權）人: 江蘇天芯微半導體設備有限公司
• 主分類號: C23C16/46
• 分類號: C23C16/46
• 代理公司: 上海元好知識產權代理有限公司 31323
• 代理人: 徐雯瓊;朱成之

1.一種燈座結構，其用于外延設備，所述外延設備包括加熱裝置，所述加熱裝置包括加熱燈及用于安裝所述加熱燈的所述燈座結構，其特征在于，包括：

加熱燈基座，所述加熱燈基座用于承載所述加熱燈；

安裝基座，所述加熱燈基座可拆卸地與所述安裝基座連接；

滑動引導件，所述滑動引導件設置于加熱燈基座與安裝基座之間，用于引導加熱燈基座相對于安裝基座在滑動方向上滑動；

定位件，用于在所述加熱燈基座滑動到安裝位置時，將所述加熱燈基座相對于安裝基座固定在所述安裝位置。

2.如權利要求1所述的燈座結構，其特征在于，所述滑動引導件包括：T型凸臺和與其適配的T型凹槽，所述T型凹槽用于引導T型凸臺在其內部滑動；所述T型凸臺設置在加熱燈基座的與安裝基座接觸的接觸面上，所述T型凹槽設置在安裝基座的與加熱燈基座接觸的接觸面上，或，所述T型凹槽設置在加熱燈基座的與安裝基座接觸的接觸面上，所述T型凸臺設置在安裝基座的與加熱燈基座接觸的接觸面上。

3.如權利要求1所述的燈座結構，其特征在于，所述定位件包括：球頭柱塞和與其配合的定位凹槽，所述定位凹槽用于在安裝位置處容納球頭柱塞；所述球頭柱塞設置在加熱燈基座的與安裝基座接觸的接觸面上，所述定位凹槽設置在安裝基座的與加熱燈基座接觸的接觸面上，或，所述定位凹槽設置在加熱燈基座的與安裝基座接觸的接觸面上，所述球頭柱塞設置在安裝基座的與加熱燈基座接觸的接觸面上。

4.如權利要求1所述的燈座結構，其特征在于，所述定位件包括：彈性片和與其配合的定位卡槽，所述定位卡槽設置有向彈性片方向延伸的定位凸起，所述彈性片設置有與定位凸起相配合的凹部，或，所述定位卡槽設置有向彈性片反方向延伸的定位凹部，所述彈性片設置有與定位凹部相配合的凸起。

5.如權利要求4所述的燈座結構，其特征在于，所述彈性片設置在加熱燈基座的與安裝基座接觸的接觸面上，所述定位卡槽設置在安裝基座的與加熱燈基座接觸的接觸面上，或，所述定位卡槽設置在加熱燈基座的與安裝基座接觸的接觸面上，所述彈性片設置在安裝基座的與加熱燈基座接觸的接觸面上。

6.如權利要求2所述的燈座結構，其特征在于，所述T型凸臺置于安裝基座或加熱燈基座的中軸線上，且關于安裝基座或加熱燈基座的中軸線對稱。

7.如權利要求2所述的燈座結構，其特征在于，所述T型凹槽置于安裝基座或加熱燈基座的中軸線上，且關于安裝基座或加熱燈基座的中軸線對稱，且T型凹槽貫穿所述安裝基座或加熱燈基座。

8.如權利要求1所述的燈座結構，其特征在于，所述定位件數量為至少兩個，且定位件關于所述滑動引導件對稱設置。

9.如權利要求3所述的燈座結構，其特征在于，所述球頭柱塞的數量為兩個，且關于所述滑動引導件對稱設置。

10.如權利要求1所述的燈座結構，其特征在于，所述加熱燈基座上設有一倒L型固定架，所述倒L型固定架用于固定插座。

11.如權利要求10所述的燈座結構，其特征在于，所述插座包括安裝在加熱燈基座倒L型固定架上方的上插座和安裝在加熱燈基座倒L型固定架下方的下插座。

12.如權利要求11所述的燈座結構，其特征在于，所述上插座和下插座的靠近加熱燈一側各開設有一個母插針，用于與加熱燈連接。

13.如權利要求1所述的燈座結構，其特征在于，還包括反射板，所述反射板設置在加熱燈基座上，靠近加熱燈一側。

14.一種外延設備，其特征在于，包括：

反應腔，用于實施外延工藝，所述反應腔內部包括用于承載襯底的基座；

加熱裝置，設置在反應腔的上方和/或下方，用于在外延工藝時提供熱輻射，所述加熱裝置包括：加熱燈及如權利要求1-13任一項所述的燈座結構。