[實用新型]晶圓檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202221103780.9
• 申請日: 2022-04-29
• 公開（公告）號: CN217954288U
• 公開（公告）日: 2022-12-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張記晨;楊金國;周許超;鄒秀陽;孫書誠
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G01N21/892
• 分類號: G01N21/892
• 代理公司: 上海思捷知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295
• 代理人: 張亞靜

1.一種晶圓檢測裝置，其特征在于，包括：

運動組件，用于承載并驅(qū)動晶圓翻轉(zhuǎn)；

照明組件，用于發(fā)出非平行的照明光束至所述晶圓的待測表面上；以及，

圖像檢測組件，用于在所述晶圓翻轉(zhuǎn)至預(yù)定角度時獲取所述待測表面的圖像。

2.如權(quán)利要求1所述的晶圓檢測裝置，其特征在于，所述照明組件包括一個照明單元，所述照明單元用于發(fā)出非平行的照明光束。

3.如權(quán)利要求2所述的晶圓檢測裝置，其特征在于，所述照明單元為一體式折彎光源、弧形光源或穹頂光源。

4.如權(quán)利要求1所述的晶圓檢測裝置，其特征在于，所述照明組件包括至少兩個照明單元，每個所述照明單元用于發(fā)出非平行或平行的照明光束。

5.如權(quán)利要求4所述的晶圓檢測裝置，其特征在于，所述照明單元為平板光源、一體式折彎光源、弧形光源及穹頂光源中的至少一者。

6.如權(quán)利要求4或5所述的晶圓檢測裝置，其特征在于，所述照明單元具有兩個，所述圖像檢測組件位于兩個所述照明單元之間。

7.如權(quán)利要求6所述的晶圓檢測裝置，其特征在于，兩個所述照明單元垂直設(shè)置。

8.如權(quán)利要求1-5中任一項所述的晶圓檢測裝置，其特征在于，所述圖像檢測組件位于所述照明組件發(fā)出的照明光束之外，所述照明組件位于所述圖像檢測組件的檢測視野之外。

9.如權(quán)利要求2-5中任一項所述的晶圓檢測裝置，其特征在于，所述運動組件驅(qū)動所述晶圓在一預(yù)定角度范圍內(nèi)翻轉(zhuǎn)，所述晶圓翻轉(zhuǎn)至所述預(yù)定角度范圍內(nèi)的每個角度時，所述待測表面均可被照明光束完全覆蓋。

10.如權(quán)利要求9所述的晶圓檢測裝置，其特征在于，所述待測表面可被任一所述照明單元發(fā)出的照明光束覆蓋；或者，所述待測表面可被至少兩個所述照明單元發(fā)出的照明光束拼接后覆蓋。

11.如權(quán)利要求9所述的晶圓檢測裝置，其特征在于，所述預(yù)定角度范圍為0°～90°。

12.如權(quán)利要求2-5中任一項所述的晶圓檢測裝置，其特征在于，每個所述照明單元的最大寬度均小于400毫米。

13.如權(quán)利要求2-5中任一項所述的晶圓檢測裝置，其特征在于，還包括：

控制組件，用于單獨控制每個所述照明單元的開啟和關(guān)閉。

14.如權(quán)利要求1所述的晶圓檢測裝置，其特征在于，所述圖像檢測組件獲取的圖像用于實現(xiàn)所述晶圓的缺陷檢測或?qū)?zhǔn)。