[實(shí)用新型]一種雙擺缸對(duì)射光纖傳感器Mapping的檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202221065679.9
• 申請(qǐng)日: 2022-05-06
• 公開（公告）號(hào): CN217587485U
• 公開（公告）日: 2022-10-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙罡;趙洪亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京海嵐科技有限公司
• 主分類號(hào): G01R31/26
• 分類號(hào): G01R31/26;G01B11/00;H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京高文律師事務(wù)所 11359
• 代理人: 徐江華

本實(shí)用新型公開了一種雙擺缸對(duì)射光纖傳感器Mapping的檢測(cè)裝置，包括：箱門，所述箱門正面頂部的左側(cè)固定連接有第一擺動(dòng)氣缸，所述箱門正面頂部的右側(cè)固定連接有第二擺動(dòng)氣缸，所述第一擺動(dòng)氣缸的輸出軸且位于箱門的上方連接有第一光纖傳感器安裝架，所述第二擺動(dòng)氣缸的輸出軸且位于箱門的上方連接有第二光纖傳感器安裝架。本實(shí)用新型通過第一擺動(dòng)氣缸和第二擺動(dòng)氣缸帶動(dòng)第一光纖傳感器安裝架與第二光纖傳感器安裝架擺動(dòng)，完成第一對(duì)射光纖傳感器與第二對(duì)射光纖傳感器之間光纖的發(fā)射與接收，實(shí)現(xiàn)Mapping功能，對(duì)于轉(zhuǎn)載硅片的數(shù)量及裝載位置的安全檢測(cè)，可以有效提高M(jìn)apping的檢測(cè)穩(wěn)定性及安全性，結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)安全可靠，穩(wěn)定性高。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及對(duì)射光纖傳感器Mapping的檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種雙擺缸對(duì)射光纖傳感器Mapping的檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)

Mapping檢測(cè)裝置是晶圓裝載設(shè)備對(duì)于晶圓傳送盒內(nèi)部硅片檢測(cè)的必備檢測(cè)功能之一，發(fā)揮著不可替代的作用，晶圓裝載設(shè)備工作過程中，需要對(duì)于晶圓傳送盒內(nèi)部硅片的數(shù)量及硅片裝載的正確位置做出準(zhǔn)確判斷，硅片的正確安全檢測(cè)是直接影響其他設(shè)備的正常穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵。

目前已有的對(duì)射光纖傳感器Mapping的檢測(cè)裝置是通過固定雙散射激光傳感器對(duì)射實(shí)現(xiàn)Mapping的檢測(cè)功能，該裝置安裝調(diào)試難度大，在Mapping檢測(cè)過程中，其他外部光線干擾會(huì)影響檢測(cè)的誤差，出現(xiàn)誤檢測(cè)問題，讀取數(shù)值及檢測(cè)數(shù)量過程中，會(huì)出現(xiàn)漏檢測(cè)，檢測(cè)失效等問題，不能夠安全穩(wěn)定運(yùn)行。

因此，有必要提供一種雙擺缸對(duì)射光纖傳感器Mapping的檢測(cè)裝置解決上述技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種雙擺缸對(duì)射光纖傳感器Mapping的檢測(cè)裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出裝置安裝調(diào)試難度大，在Mapping檢測(cè)過程中，其他外部光線干擾會(huì)影響檢測(cè)的誤差，出現(xiàn)誤檢測(cè)問題，讀取數(shù)值及檢測(cè)數(shù)量過程中，會(huì)出現(xiàn)漏檢測(cè)，檢測(cè)失效等問題，不能夠安全穩(wěn)定運(yùn)行的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種雙擺缸對(duì)射光纖傳感器Mapping的檢測(cè)裝置，包括：箱門，所述箱門正面頂部的左側(cè)固定連接有第一擺動(dòng)氣缸，所述箱門正面頂部的右側(cè)固定連接有第二擺動(dòng)氣缸，所述第一擺動(dòng)氣缸的輸出軸且位于箱門的上方連接有第一光纖傳感器安裝架，所述第二擺動(dòng)氣缸的輸出軸且位于箱門的上方連接有第二光纖傳感器安裝架，所述第二光纖傳感器安裝架正面的左側(cè)通過螺絲固定連接有擋光板，所述第一光纖傳感器安裝架的右側(cè)設(shè)置有第一對(duì)射光纖傳感器，所述擋光板正面的左側(cè)設(shè)置有第二對(duì)射光纖傳感器。

優(yōu)選的，所述第一光纖傳感器安裝架通過螺絲與第一擺動(dòng)氣缸的輸出端固定連接。

優(yōu)選的，所述第二光纖傳感器安裝架通過螺絲與第二擺動(dòng)氣缸的輸出端固定連接。

優(yōu)選的，所述第一光纖傳感器安裝架為“L”形折彎架，通過第一光纖傳感器安裝架實(shí)現(xiàn)第一對(duì)射光纖傳感器與外部檢測(cè)設(shè)備的電性連接。

優(yōu)選的，所述第二光纖傳感器安裝架為“L”形折彎架，通過第二光纖傳感器安裝架實(shí)現(xiàn)第二對(duì)射光纖傳感器與外部檢測(cè)設(shè)備的電性連接。

優(yōu)選的，所述第一對(duì)射光纖傳感器為光纖接收端。

優(yōu)選的，所述第二對(duì)射光纖傳感器為光纖發(fā)射端。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

(1)該雙擺缸對(duì)射光纖傳感器Mapping的檢測(cè)裝置，通過第一擺動(dòng)氣缸和第二擺動(dòng)氣缸帶動(dòng)第一光纖傳感器安裝架與第二光纖傳感器安裝架擺動(dòng)，完成第一對(duì)射光纖傳感器與第二對(duì)射光纖傳感器之間光纖的發(fā)射與接收，實(shí)現(xiàn)Mapping功能，對(duì)于轉(zhuǎn)載硅片的數(shù)量及裝載位置的安全檢測(cè)，可以有效提高M(jìn)apping的檢測(cè)穩(wěn)定性及安全性，結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)安全可靠，穩(wěn)定性高。