[實用新型]氬氣回收凈化裝置

有效

• 申請號: 202221035156.X
• 申請日: 2022-04-30
• 公開（公告）號: CN217312614U
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發明（設計）人: 池文增
• 申請（專利權）人: 蘇州海連凈化設備有限公司
• 主分類號: B01D53/00
• 分類號: B01D53/00;B01D46/00;B01D53/26;C01B23/00
• 代理公司: 合肥山高專利代理事務所(普通合伙) 34234
• 代理人: 陳棟梁

1.一種氬氣回收凈化裝置，其特征在于，包括：基座，以及分別固定設置于所述基座的第一冷卻器、兩過濾組件、進氣緩沖罐、羅茨風機、第一熱交換器、第二冷卻器、電加熱器、兩氮氣除氧組件和氮氣干燥組件：

所述第一冷卻器一側通過管道分別與第一進氣口和第二進氣口相連通，另一側與兩所述過濾組件相連通，所述過濾組件通過管道與所述進氣緩沖罐相連通，所述進氣緩沖罐與所述羅茨風機相連接，所述羅茨風機的輸出端通過管道與第一熱交換器相連通，所述第一熱交換器頂部通過管道與第二冷卻器相連通，所述第一熱交換器側壁靠近底部一側通過管道與電加熱器相連接，所述第一熱交換器底部通過管道與兩氮氣除氧組件相連通；

所述第二冷卻器通過管道與氮氣干燥組件相連通；所述氮氣干燥組件通過管道設置有純氣出口；

分別通過所述第一冷卻器、兩所述過濾組件、所述進氣緩沖罐、所述第一熱交換器、所述第二冷卻器、所述電加熱器、兩所述氮氣除氧組件和所述氮氣干燥組件逐級對氬氣進行回收凈化處理，以循環回收利用氬氣。

2.根據權利要求1所述的氬氣回收凈化裝置，其特征在于，所述第一冷卻器頂部設置有冷卻水出口，其底部設置有冷卻水進口。

3.根據權利要求1所述的氬氣回收凈化裝置，其特征在于，兩所述過濾組件包括：第一過濾器和第二過濾器，所述第一過濾器和所述第二過濾器相對設置，且所述第一過濾器和所述第二過濾器兩端分別設置有球閥。

4.根據權利要求1所述的氬氣回收凈化裝置，其特征在于，所述羅茨風機的輸出管上分設有原料補氣管。

5.根據權利要求1所述的氬氣回收凈化裝置，其特征在于，所述兩氮氣除氧組件包括：第一氮氣除氧器和第二氮氣除氧器，所述第一氮氣除氧器和所述第二氮氣除氧器相鄰設置，所述第一氮氣除氧器和所述第二氮氣除氧器頂部通過管道相連通，并通過分管與所述電加熱器側壁相連通。

6.根據權利要求1所述的氬氣回收凈化裝置，其特征在于，所述氮氣干燥組件包括：第一氮氣干燥器、第二氮氣干燥器、第三氮氣干燥器和第四氮氣干燥器，所述第一氮氣干燥器和所述第二氮氣干燥器相鄰設置，所述第三氮氣干燥器和所述第四氮氣干燥器相鄰設置，所述第一氮氣干燥器的側壁通過管道與所述第一氮氣干燥器的側壁相連通，所述第一氮氣干燥器頂部通過管道與所述第三氮氣干燥器的側壁靠近頂部相連通，所述第二氮氣干燥器頂部通過管道與所述第四氮氣干燥器的側壁靠近頂部相連通。

7.根據權利要求6所述的氬氣回收凈化裝置，其特征在于，所述第三氮氣干燥器和所述第四氮氣干燥器頂部通過管道相連通。

8.根據權利要求7所述的氬氣回收凈化裝置，其特征在于，所述第三氮氣干燥器和所述第四氮氣干燥器之間的管道上分別設置有再生出口管和放空出口管。

9.根據權利要求1所述的氬氣回收凈化裝置，其特征在于，所述基座上還設置有電控箱，所述電控箱位于所述基座一側且與所述兩所述過濾組件相鄰設置。