[實用新型]一種PECVD CSD拉桿拆除工具

有效

• 申請號: 202221026661.8
• 申請日: 2022-04-30
• 公開（公告）號: CN218052385U
• 公開（公告）日: 2022-12-16
• 發明（設計）人: 王峰峰;高洪濤;張兵科
• 申請（專利權）人: 蘇州昶明微電子科技合伙企業（有限合伙）
• 主分類號: B25B27/00
• 分類號: B25B27/00
• 代理公司: 北京子焱知識產權代理事務所(普通合伙) 11932
• 代理人: 馮若愚

本實用新型公開了一種PECVD CSD拉桿拆除工具，包括定位桿，所述定位桿上設置有立柱與定位柱，所述立柱位于所述定位桿頂部，所述立柱與CSD拉桿的拆卸孔配合，所述定位柱位于所述定位桿底部，所述定位柱自所述定位桿的圓周面向外凸出；把手，所述把手位于所述定位桿底部，所述把手上設有定位槽，所述定位槽與所述定位柱配合卡接，卡接后，把手轉動時，帶動所述定位桿進行轉動。本實用新型采用能夠使把手在轉動時帶動定位桿進行轉動，將CSD拉桿拆卸，因此能夠方便、快捷的將CSD拉桿從PECVD設備上進行拆除，提升對CSD拉桿的拆卸效率，進而提升工作效率，而兩個立柱與CSD拉桿的拆卸孔配合，能夠有效地避免在拆卸過程中損傷腔體的密封面，防止CSD拉桿的變形與損壞。

技術領域

本實用新型屬于拆卸工具技術領域，尤其涉及一種PECVD CSD拉桿拆除工具。

背景技術

PECVD是異質結太陽電池制備的核心設備，設備里面的一些核心零部件需要定期拆卸進行維護和保養，因為PECVD設備結構比較復雜，拆除這些核心部件必須拆除相關的部件。

在對PECVD內勻流板進行維護時必須先拆除CSD拉桿，而拉桿四周邊緣與設備腔體壁間隙微小，同時邊緣遮擋物比較多。目前沒有合適拆卸CSD拉桿的專用工具，使用傳統的工具拆卸容易造成CSD拉桿的變形及損壞，同時可能會損傷腔體的密封面。并且傳統的工具拆卸會造成工作量加大的問題,影響工作效率。

實用新型內容

本實用新型克服了現有技術的不足，提供一種PECVD CSD拉桿拆除工具，以解決現有技術中存在的問題。

為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案為：一種PECVD CSD拉桿拆除工具，包括

定位桿，所述定位桿上設置有立柱與定位柱，所述立柱位于所述定位桿頂部，所述立柱與CSD拉桿的拆卸孔配合，所述定位柱位于所述定位桿底部，所述定位柱自所述定位桿的圓周面向外凸出；

把手，所述把手位于所述定位桿底部，所述把手上設有定位槽，所述定位槽與所述定位柱配合卡接，卡接后，把手轉動時，帶動所述定位桿進行轉動。

本實用新型一個較佳實施例中，所述定位桿、立柱以及定位柱均為圓柱形結構體。

本實用新型一個較佳實施例中，所述立柱數量為兩個，所述立柱與所述定位桿焊接成型。

本實用新型一個較佳實施例中，所述定位柱數量為三個且沿所述定位桿周向間隔分布，所述定位柱與所述定位桿焊接成型。

本實用新型一個較佳實施例中，所述定位槽為凹形卡槽，所述定位槽數量為三個且與所述定位柱一一對應。

本實用新型解決了背景技術中存在的缺陷，本實用新型具備以下有益效果：

本實用新型采用一種PECVD CSD拉桿拆除工具，采用立柱與CSD拉桿的拆卸孔配合，定位柱與定位槽配合，能夠使把手在轉動時帶動定位桿進行轉動，將CSD拉桿拆卸，因此能夠方便、快捷的將CSD拉桿從PECVD設備上進行拆除，提升對CSD拉桿的拆卸效率，進而提升工作效率，而兩個立柱與CSD拉桿的拆卸孔配合，能夠有效地避免在拆卸過程中損傷腔體的密封面，防止CSD拉桿的變形與損壞。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明；

圖1為本實用新型優選實施例的整體結構示意圖；

圖2為本實用新型優選實施例的主視圖；

圖3為本實用新型優選實施例的俯視圖；

圖中：10、定位桿；11、立柱；12、定位柱；20、把手；21、定位槽。

具體實施方式