[實用新型]垂直腔面發射激光器外延層與焊盤連接結構

有效

• 申請號: 202221011437.1
• 申請日: 2022-04-27
• 公開（公告）號: CN217215495U
• 公開（公告）日: 2022-08-16
• 發明（設計）人: 楊奕;繆笛;呂英豪;薛婷;王坤;鄢靜舟
• 申請（專利權）人: 福建慧芯激光科技有限公司
• 主分類號: H01S5/0232
• 分類號: H01S5/0232;H01S5/02345;H01S5/0237
• 代理公司: 泉州市文華專利代理有限公司 35205
• 代理人: 陳云川

1.垂直腔面發射激光器外延層與焊盤連接結構，包括外延層、復合在外延層上的絕緣層以及粘附在絕緣層上的焊盤，其特征在于：所述外延層上設有沉孔，所述絕緣層嵌入沉孔中并粘附在沉孔上。

2.如權利要求1所述的垂直腔面發射激光器外延層與焊盤連接結構，其特征在于：所述沉孔為多個。

3.如權利要求1所述的垂直腔面發射激光器外延層與焊盤連接結構，其特征在于：所述沉孔沿垂直于所述外延層的方向開設，所述沉孔的橫截面呈圓形、矩形、三角形、梯形。

4.如權利要求1所述的垂直腔面發射激光器外延層與焊盤連接結構，其特征在于：所述沉孔沿軸向的兩端分別設為第一端和第二端，第一端靠近所述焊盤設置，從第一端至第二端，所述沉孔的孔徑逐漸增大。

5.如權利要求1所述的垂直腔面發射激光器外延層與焊盤連接結構，其特征在于：所述沉孔沿軸向的兩端分別設為第一端和第二端，所述沉孔包括第一孔段和第二孔段，從第一端至第二端方向，第一孔段的孔徑逐漸增大，第二孔段的孔徑逐漸減小。

6.如權利要求1所述的垂直腔面發射激光器外延層與焊盤連接結構，其特征在于：所述絕緣層包括位于所述沉孔中的爪部和對應所述外延層的表面設置的基部，所述外延層靠近所述焊盤的一表面還設有介質膜層，基部復合在介質膜層上。

7.如權利要求6所述的垂直腔面發射激光器外延層與焊盤連接結構，其特征在于：所述介質膜層為氮化硅或二氧化硅。

8.如權利要求1所述的垂直腔面發射激光器外延層與焊盤連接結構，其特征在于：所述絕緣層為苯并環丁烯或聚酰亞胺。