[實用新型]一種單片晶圓顯影裝置

有效

• 申請號: 202221005563.6
• 申請日: 2022-04-27
• 公開（公告）號: CN217467466U
• 公開（公告）日: 2022-09-20
• 發明（設計）人: 彭鵬飛;宋艷汝;方維政;徐旭光
• 申請（專利權）人: 上海科技大學
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 石應杰;許亦琳

本實用新型涉及一種單片晶圓顯影裝置，包括顯影框架和若干顯影容器，所述顯影框架用于裝載晶圓，所述顯影容器用于盛裝顯影液和顯影停止液；所述顯影框架包括晶圓支撐架，所述晶圓支撐架上方設有把手，所述把手的兩端與所述晶圓支撐架的相對兩側可拆卸連接，所述晶圓支撐架上邊緣設有可移動卡扣。本實用新型提供的單片晶圓顯影裝置結構簡單、制造成本低，簡單易操作，克服了微加工過程中的單片顯影工藝手動顯影過程中容易刮傷晶圓表面且無法準確控制顯影時間的缺陷。

技術領域

本實用新型涉及微納加工技術領域，特別是一種單片晶圓顯影裝置。

背景技術

微納加工技術是指尺度為亞毫米、微米和納米量級元件以及由這些元件構成的部件或系統的優化設計、加工、組裝、系統集成與應用技術，是先進制造的重要組成部分，是衡量國家高端制造業水平的標志之一，具有多學科交叉性和制造要素極端性的特點，在推動科技進步、促進產業發展、拉動科技進步、保障國防安全等方面都發揮著關鍵作用。在實驗室級別的微加工工藝探索中，需要使用不同尺寸(2-8寸)的晶圓以及滿足不同工藝需求的顯影液，用于量產化的自動的顯影機無法覆蓋多尺寸的晶圓，且機器中顯影液的管路有限，難以滿足需求。因此在實驗室級別的工藝探索中，通常直接使用將曝光后的晶圓直接浸入顯影液中的方式進行，然而，在浸入和取出顯影液的過程中，既可能會刮傷晶圓表面導致返工，又可能因取放的難度增加而導致顯影時間無法精準控制，這增加了工藝探索的難度，同時也增加了成本。

實用新型內容

針對現有技術所存在的不足，本實用新型提供一種單片晶圓顯影裝置，結構簡單、制作成本低、可在手動顯影過程中實現動態顯影。

其解決問題的技術方案如下：

一種單片晶圓顯影裝置，包括顯影框架和若干顯影容器，所述顯影框架用于裝載晶圓，顯影容器用于盛裝顯影液和顯影停止液；所述顯影框架包括晶圓支撐架，所述晶圓支撐架上方設有把手，所述把手的兩端與所述晶圓支撐架的相對兩側可拆卸連接，所述晶圓支撐架上邊緣設有可移動卡扣。

在本實用新型的一些實施例中，所述晶圓支撐架為中空或鏤空的框架結構。

在本實用新型的一些實施例中，所述晶圓支撐架的邊框內側設有適于晶圓放置的凹槽。

在本實用新型的一些實施例中，所述可移動卡扣成對設置，二者中心連線與所述把手的兩端連線呈90°。

在本實用新型的一些實施例中，所述可移動卡扣的橫截面為長方形、正方形或半圓形。

在本實用新型的一些實施例中，所述可移動卡扣包括可移動部和轉軸，所述轉軸與所述晶圓支撐架固定連接，所述可移動部可繞所述轉軸在水平平面內轉動。

在本實用新型的一些實施例中，所述把手與所述晶圓支撐架的相對兩側通過螺絲固定連接。

在本實用新型的一些實施例中，所述兩個顯影容器適于所述顯影框架放入及取出。

在本實用新型的一些實施例中，所述晶圓支撐架為圓形，直徑為2寸、3寸、4寸、5寸、6寸或8寸。

在本實用新型的一些實施例中，所述顯影框架由特氟龍、塑料或金屬材質制成。

本實用新型與現有技術相比，具有以下有益效果：

1.本實用新型提供的單片晶圓顯影裝置，結構簡單，制造成本低，簡單易操作。

2.本實用新型提供的單片晶圓顯影裝置，顯影框架上可移動卡扣及凹槽的設計，方便對晶圓進行裝載和卸載，避免了傳統手動顯影方式會刮傷晶圓表面的情況，顯影容器適于顯影框架的放入和取出，以及顯影框架的把手設計，解決了手動顯影無法準確控制顯影時間的問題，晶圓的裝載與移動簡單便捷，可在手動顯影的過程中實現動態顯影，優化顯影工藝，減少工藝返工、廢片的概率，節約了研究成本。

附圖說明