[實用新型]半導體行業用多級過濾水箱

有效

• 申請號: 202220997480.3
• 申請日: 2022-04-24
• 公開（公告）號: CN217526694U
• 公開（公告）日: 2022-10-04
• 發明（設計）人: 倪艷艷;吳福文;姚志雯;鄒根根;趙長政;姚小威;劉毅
• 申請（專利權）人: 無錫連強智能裝備有限公司
• 主分類號: B01D36/04
• 分類號: B01D36/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型是半導體行業用多級過濾水箱，其結構包括不銹鋼SUS304的水箱體和安裝在水箱體頂面上的不銹鋼SUS304的沉淀池，水箱體內由2塊隔板分隔為3個腔，隔板上開孔并可更換裝有不銹鋼濾網，沉淀池蓋設在水箱體其中相鄰2個腔頂部且沉淀池出水口與水箱體一端的腔進水口相通，水箱體剩余1個腔頂部蓋設有開有水泵口的水泵蓋板、側面還設有排水口。本實用新型的優點：結構設計合理，便于移動，且方便廢料的收集，過濾精度高，實現了多級過濾，可有效去除磨削液內的雜質，保證晶體的正常磨削，還能將可二次回收的晶體廢料集中在一個裝置中，便于二次收集。

技術領域

本實用新型涉及的是半導體行業用多級過濾水箱，具體涉及一種用于半導體磨削行業磨削液過濾的多級過濾水箱。

背景技術

現有技術中，晶體磨削行業用過濾裝置一般是紙袋式過濾器或水箱。紙袋式過濾機適用于常規金屬磨削行業，因為金屬磨削行業需要磨削的余量小，金屬磨削廢料價值不高，而半導體行業，晶體長晶完成以后，直接上半導體專用磨床進行磨削，余量較大且磨削灰比較多，用一般的紙袋式過濾機，廢料會直接黏糊在紙帶上，無法拖動。半導體行業中，晶體價值比較高，多數高價值晶體磨削廢料還需二次回收利用。用紙帶式過濾機無法實現，如用一般水箱的過濾系統，一般僅為一級過濾，即水箱中間做一塊可插式隔板，隔板上面安裝可換式不銹鋼濾網。一級過濾無法很有效的去除磨削液里面的雜質。

實用新型內容

本實用新型提出的是半導體行業用多級過濾水箱，其目的旨在克服現有技術存在的上述不足，實現多級過濾，去除磨削液內雜質，且可收集二次回收的晶體廢料。

本實用新型的技術解決方案：半導體行業用多級過濾水箱，其結構包括不銹鋼SUS304的水箱體和安裝在水箱體頂面上的不銹鋼SUS304的沉淀池，水箱體內由2塊隔板分隔為3個腔，隔板上開孔并可更換裝有不銹鋼濾網，沉淀池蓋設在水箱體其中相鄰2個腔頂部且沉淀池出水口與水箱體一端的腔進水口相通，水箱體剩余1個腔頂部蓋設有開有水泵口的水泵蓋板、側面還設有排水口。

優選的，所述的沉淀池分隔為4個依次相通的沉淀腔，第一個沉淀腔上開有進水口，第四個沉淀腔底部設有出水口與水箱體一端的腔進水口相通。

優選的，所述的水箱體底部裝4個腳輪、兩側面上裝有把手，4個腳輪其中2個為定向輪、2個為萬向輪。

本實用新型的優點：結構設計合理，便于移動，且方便廢料的收集，過濾精度高，實現了多級過濾，可有效去除磨削液內的雜質，保證晶體的正常磨削，還能將可二次回收的晶體廢料集中在一個裝置中，便于二次收集。

附圖說明

圖1是本實用新型半導體行業用多級過濾水箱的結構示意圖。

圖2是圖1中水箱體的結構示意圖。

圖3是圖1中沉淀池的結構示意圖。

圖中的1是水箱體、2是沉淀池、3是腳輪、4是隔板、5是腔、6是孔、7是把手、8是沉淀腔、9是水泵蓋板、10是水泵口、11是進水口。

具體實施方式

下面結合實施例和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明。

為解決以上技術問題，考慮切削液為牌號LY113(按比例與水混合)，若用一般材質(如Q235A)水箱，易生銹。考慮材質采用不銹鋼SUS304，為了便于推動水箱，方便根據現場情況挪動水箱的位置，故設計成可移動式的結構。另外在箱體上增加一個三層沉淀式過濾結構，主要磨削廢料都可以沉積在上層。下層采用傳統的不銹鋼濾網過濾模式，將水箱的出水腔與回水腔分開。水箱上有可顯示液位的裝置，便于用戶觀察。