[實用新型]高安全型離子束沉積設備的冷卻輥

有效

• 申請號: 202220997076.6
• 申請日: 2022-04-24
• 公開（公告）號: CN217869046U
• 公開（公告）日: 2022-11-22
• 發明（設計）人: 紀源
• 申請（專利權）人: 西京學院
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22
• 代理公司: 北京盛凡佳華專利代理事務所(普通合伙) 11947
• 代理人: 孫莉莉

1.高安全型離子束沉積設備的冷卻輥，其特征在于：包括輥體(1)，所述輥體(1)的兩端皆設置有支撐軸套(2)，所述支撐軸套(2)的內部皆設置有卡接頭(3)，所述輥體(1)的內壁上均勻固定有環形管(4)，所述環形管(4)的內部皆固定有隔板(5)，環形管(4)的內部設置有導流腔(6)，所述導流腔(6)位于隔板(5)之間，所述導流腔(6)的一端安裝有第一分流管(7)，所述導流腔(6)的另一端安裝有第二分流管(8)，所述第一分流管(7)遠離環形管(4)的一端安裝有進水管(9)，所述第二分流管(8)遠離環形管(4)的一端安裝有排水管(10)，所述進水管(9)與排水管(10)分別與支撐軸套(2)內部的卡接頭(3)連接，所述支撐軸套(2)的外部設置有支撐座(11)。

2.根據權利要求1所述的高安全型離子束沉積設備的冷卻輥，其特征在于：所述環形管(4)的截面形狀為矩形，所述環形管(4)之間相互貼合。

3.根據權利要求2所述的高安全型離子束沉積設備的冷卻輥，其特征在于：所述支撐座(11)的內側皆開設有插槽(12)，所述卡接頭(3)插接在插槽(12)的內部，所述插槽(12)的內部皆安裝有連接管(13)，所述連接管(13)皆插入到卡接頭(3)的內部，兩組所述支撐座(11)之間設置有伸縮機構(14)。

4.根據權利要求3所述的高安全型離子束沉積設備的冷卻輥，其特征在于：所述連接管(13)靠近卡接頭(3)一端的外側設置有密封圈。

5.根據權利要求4所述的高安全型離子束沉積設備的冷卻輥，其特征在于：所述伸縮機構(14)包括底板(15)、滑槽(16)和雙向螺桿(17)，所述底板(15)的頂部開設有滑槽(16)，所述支撐座(11)位于滑槽(16)內部的兩端，所述支撐座(11)與滑槽(16)之間滑動連接，所述滑槽(16)的兩端之間設置有雙向螺桿(17)，所述雙向螺桿(17)的兩端分別與支撐座(11)螺紋連接。

6.根據權利要求5所述的高安全型離子束沉積設備的冷卻輥，其特征在于：所述雙向螺桿(17)的兩端皆延伸至底板(15)的外側，所述雙向螺桿(17)的外端部皆固定有調節塊(18)。

7.根據權利要求6所述的高安全型離子束沉積設備的冷卻輥，其特征在于：所述調節塊(18)的形狀為圓形，且調節塊(18)的外側皆設置有防滑紋。