[實用新型]取晶裝置和固晶機

有效

• 申請號: 202220983220.0
• 申請日: 2022-04-25
• 公開（公告）號: CN217444365U
• 公開（公告）日: 2022-09-16
• 發明（設計）人: 陳平;韋海成;曾逸
• 申請（專利權）人: 深圳市卓興半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/60
• 代理公司: 深圳智匯遠見知識產權代理有限公司 44481
• 代理人: 王旭

1.一種取晶裝置，用于從晶圓上拾取晶片，其特征在于，包括頂針機構，所述頂針機構包括頂針座、頂針和第二彈性件，所述頂針滑動設于所述頂針座內，且所述第二彈性件的兩端分別連接于所述頂針和所述頂針座。

2.根據權利要求1所述的取晶裝置，其特征在于，還包括取晶機構，所述取晶機構包括搖臂、吸嘴和第一彈性件，所述吸嘴滑動連接于所述搖臂的一端，且所述第一彈性件的兩端分別連接于所述吸嘴和所述搖臂。

3.根據權利要求2所述的取晶裝置，其特征在于，所述第一彈性件的彈性系數大于或等于所述第二彈性件的彈性系數。

4.根據權利要求3所述的取晶裝置，其特征在于，所述第一彈性件的彈性系數和所述第二彈性件的彈性系數之比為5：(1-5)。

5.根據權利要求2所述的取晶裝置，其特征在于，所述第一彈性件和/或所述第二彈性件包括彈簧、彈力繩、彈片中的至少一種。

6.根據權利要求1所述的取晶裝置，其特征在于，所述頂針機構還包括電機、凸輪和頂桿，所述電機的動力輸出端連接所述凸輪，所述頂桿的一端連接于所述凸輪的外緣，所述頂桿的另一端連接于所述頂針座。

7.根據權利要求6所述的取晶裝置，其特征在于，所述頂針座包括第一連接座和第二連接座，所述第一連接座內部貫通，所述頂針設于所述第一連接座內，所述第二彈性件設于所述第一連接座的內部、且套設于所述頂針的外周；

所述第二連接座的兩端分別連接所述第一連接座和所述頂桿。

8.根據權利要求7所述的取晶裝置，其特征在于，所述頂針的外周設有抵接塊，所述第一連接座內設有頂針套筒，所述頂針的一端伸進于所述頂針套筒的內部，所述第二彈性件的兩端分別抵接于所述抵接塊和所述頂針套筒。

9.根據權利要求6所述的取晶裝置，其特征在于，所述頂針機構還包括頂針帽，所述頂針帽套設于所述頂針座的外周、且將所述頂針座鎖緊于所述頂桿上。

10.一種固晶機，其特征在于，包括如權利要求1-9中任一項所述的取晶裝置。