[實用新型]一種采用雙動壓軸承的單面研磨拋光機

有效

• 申請號: 202220980334.X
• 申請日: 2022-04-26
• 公開（公告）號: CN217194670U
• 公開（公告）日: 2022-08-16
• 發明（設計）人: 賀德榮
• 申請（專利權）人: 東莞市中研機械設備有限公司
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B47/12
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及電子及半導體拋光加工技術領域的一種采用雙動壓軸承的單面研磨拋光機，包括機箱、硅片研磨機構和硅片吸附固定機構，硅片研磨機構由硅片固定盤、研磨底座、研磨桿和研磨驅動組件構成，采用剛性更強，承載力度更大的雙動壓軸承作為硅片研磨機構的轉體，提高了單面研磨拋光機的受力承載能力，同時在雙動壓軸承的內部采用雙溝槽的結構，使雙動壓軸承在高速轉動時，進一步保證了單面研磨拋光機對硅片研磨拋光的精準度，同時其結構簡單，適合大范圍推廣。

技術領域

本實用新型涉及電子及半導體冷加工技術領域，具體為一種采用雙動壓軸承的單面研磨拋光機。

背景技術

電子及半導體行業對平面度、平行度的要求越來越高，設備工作承受的載荷越來越大，使用常規滾動軸承的雙面研磨拋光設備在設備精度和穩定性上越來越難以滿足使用工況要求。

根據現有的專利號為CN209364354U的中國專利中記載了一種采用動壓軸承的雙面研磨拋光機，該結構采用減磨導軌貼在下導軌內設置導軌潤滑油循環通道，使所述減磨導軌貼浸在潤滑油中，形成動壓軸承結構，而在研磨拋光機的研磨中通常對研磨桿的承載受力程度要求較大，減磨導軌的機械屬性較差。因此，針對這些現狀，迫切需要開發一種采用雙動壓軸承的單面研磨拋光機，以滿足實際使用的需要。

發明內容

本實用新型針對的目的是解決以上缺陷，提供一種采用雙動壓軸承的單面研磨拋光機。

為了解決上述技術問題，本實用新型采用如下技術方案：

一種采用雙動壓軸承的單面研磨拋光機，包括機箱、硅片研磨機構和硅片吸附固定機構，硅片研磨機構由硅片固定盤、研磨底座、研磨桿和研磨驅動組件構成，研磨桿固定連接在硅片固定盤底部的中心，硅片固定盤套接在研磨底座的內部，且研磨桿貫穿研磨底座的底部，研磨驅動組件與研磨桿之間進行活動連接，研磨桿的中部套接設有雙動壓軸承，雙動壓軸承位于硅片固定盤與研磨底座之間，使硅片固定盤通過雙動壓軸承可在研磨底座的內部進行轉動，雙動壓軸承由外軸套、內軸套和若干個滾子構成，內軸套安裝在研磨桿的中部，且跟隨研磨桿進行轉動，外軸套套接在內軸套的表面，外軸套和內軸套的之間的側壁均設有溝槽，滾子均可轉動地鑲嵌在溝槽的內部，溝槽的內部注入潤滑油液。

上述說明中，作為進一步的方案，研磨驅動組件包括研磨輪、研磨同步帶、驅動輪和研磨電機，研磨輪套接在研磨桿的中部，驅動輪固定連接在研磨電機的一端，驅動輪與研磨輪之間通過研磨同步帶進行傳動連接。

上述說明中，作為進一步的方案，機箱的內部設有多工位切換機構，多工位切換機構包括多工位旋轉盤、旋轉蓋板和切換傳動組件，多工位旋轉盤可轉動地安裝在機箱的內部，多工位旋轉盤的中部設有若干個工位固定通孔，硅片研磨機構和硅片吸附固定機構均固定連接在工位固定通孔的中部，旋轉蓋板的表面設有與工位固定通孔數量一致的第一研磨通孔，旋轉蓋板罩蓋在多工位旋轉盤的頂端面，且第一研磨通孔位于硅片研磨機構的上方，多工位旋轉盤可通過切換傳動組件進行旋轉，使硅片研磨機構進行工位切換。

上述說明中，作為進一步的方案，切換傳動組件由工位切換伺服電機和工位切換同步帶構成，工位切換同步帶的一側纏繞在工位切換伺服電機的一端，工位切換同步帶的另一側纏繞在多工位旋轉盤的邊緣，工位切換同步帶的中部設有用于收緊同步帶的張緊輪，多工位旋轉盤通過工位切換伺服電機的轉動進行工位切換。

上述說明中，作為進一步的方案，硅片吸附固定機構包括若干個吸氣導管和真空導管，硅片固定盤的頂端面設有若干個固定吸氣孔，研磨底座的內部為吸氣腔室，吸氣導管位于吸氣腔室的內部，且吸氣導管分別插接進入固定吸氣孔的內部，使硅片固定盤的頂端面與吸氣腔室進行導通，真空導管鑲嵌在研磨桿的內部，且真空導管的一端延伸至吸氣腔室的內部，真空導管的另一端用于接入外部真空設備。

上述說明中，作為進一步的方案，機箱的頂部設有研磨罩蓋，研磨罩蓋頂部的一側設有若干個第二研磨通孔，第二研磨通孔位于第一研磨通孔的上方，研磨罩蓋頂部的另一側設有入料開口。