[實用新型]光束屬性的檢測設備

有效

• 申請號: 202220959817.1
• 申請日: 2022-04-25
• 公開（公告）號: CN216717777U
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發明（設計）人: 阮仁秋;胡方;張鑫涵;羅立
• 申請（專利權）人: 武漢銳科光纖激光技術股份有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02;G01J1/42;G01J1/04
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 江舟

本申請公開了一種光束屬性的檢測設備，該設備包括：光束能量調節器和光束屬性檢測器，其中，光束能量調節器的入光面與待檢測激光器連接，光束能量調節器的出光面與光束屬性檢測器的光接口連接，采用上述技術方案，解決了相關技術中激光器輸出光束屬性檢測的準確率較低等問題，實現了提高激光器輸出光束屬性檢測的準確率的技術效果。

技術領域

本申請涉及激光領域，具體而言，涉及一種光束屬性的檢測設備。

背景技術

光纖激光器是由半導體泵浦管發出的泵浦光經摻稀土元素的增益光纖吸收后得到的光再經FBG光纖光柵震蕩放大后，經過多級放大，多路耦合后通過傳能光纖由輸出端帽（QBH）輸出得到激光光束，光纖激光器相對于傳統固體激光器由于激光光束質量好、高相干性、亮度高、轉換效率高、體積小、壽命長等優點，廣泛應用于材料加工，如打標、打孔、焊接、切割、清洗、涂覆等以及光通信、光譜成像、醫療等領域。隨著工業水平的快速發展，對應用的光纖激光器屬輸出的光束的屬性的要求也越來越高，比如，要求激光器的輸出光束功率具有較高的穩定性具有特定的要求，尤其在激光器應用于微納高精密材料加工中，激光器的輸出異常波動都可能造成加工材料的巨大缺陷，總之，光纖激光器的輸出光束的屬性直接影響到激光器在材料加工應用中的效果。

目前，在激光行業常使用光功率計接受采集激光器輸出光束的輸出曲線的方式檢測激光器的輸出功率穩定性，但是，這種方式對檢測激光器輸出光束的屬性具有一定的局限性，首先，光功率計僅能檢測激光器輸出光束的功率穩定性，對光斑尺寸、發散角等光束屬性的檢測不適用，其次，光功率計時利用熱釋電材料制成的，這種材料在熱量的積累下隨著激光器輸出時間越來越長就會導致測量結果有一定的偏差，從而影響檢測結果，再其次，1000W及以上的中高功率激光功率計，大部分都是水冷型，即是光功率計內部必須有水冷機通循環冷卻水實現散熱，在實際測量中，當功率計內部熱量積累較多時，水冷機啟動制冷，從而循環水實現快速降溫，此時會出現激光功率計波動較大，會出現采集到異常極大值，進而，對檢測結果影響較大，極大的影響了光纖激光器輸出光束屬性檢測的準確率。

針對相關技術中激光器輸出光束屬性檢測的準確率較低等問題，尚未提出有效的解決方案。

實用新型內容

本申請實施例提供了一種光束屬性的檢測設備，以至少解決相關技術中激光器輸出光束屬性檢測的準確率較低等問題。

根據本申請實施例的一個實施例，提供了一種光束屬性的檢測設備，包括：光束能量調節器和光束屬性檢測器，其中，所述光束能量調節器的入光面與待檢測激光器連接，所述光束能量調節器的出光面與所述光束屬性檢測器的光接口連接。

可選的，所述光束能量調節器為光束過濾器，其中，所述光束過濾器的出光參數與所述光束屬性檢測器的入光條件匹配。

可選的，所述光束過濾器，包括：分光鏡，其中，所述分光鏡對目標波長的光束具有目標比例的透光率。

可選的，所述光束過濾器，還包括：吸光材料，其中，所述吸光材料設置于所述分光鏡的反射光路上。

可選的，所述光束過濾器，還包括：耦合鏡組，其中，所述耦合鏡組位于所述分光鏡的出光面側，所述耦合鏡組的光路與所述分光鏡的透射光路同軸，所述耦合鏡組的出光面與所述光束屬性檢測器的光接口連接。

可選的，所述光束能量調節器包括多個光束過濾器，其中，所述多個光束過濾器與多個光束過濾參數一一對應，所述多個光束過濾器中的目標光束過濾器所對應的目標光束過濾參數與所述待檢測激光器匹配。

可選的，所述光束能量調節器的入光面通過分光器的第一光束輸出端與所述待檢測激光器連接，其中，所述分光器的光束輸入端和第二光束輸出端連接在所述待檢測激光器中。

可選的，在所述待檢測激光器的泵浦源不位于所述待檢測激光器的諧振腔的高反端的情況下，所述分光器的光束輸入端與所述諧振腔的高反端連接，所述分光器的第二光束輸出端與所述待檢測激光器的光隔離器連接。