[實(shí)用新型]一種光調(diào)制器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220957214.8
• 申請(qǐng)日: 2022-04-22
• 公開（公告）號(hào): CN217085451U
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李陵江;陳義紅;田輝;肖群
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣州安特激光技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/11
• 分類號(hào): G02F1/11
• 代理公司: 廣州海心聯(lián)合專利代理事務(wù)所(普通合伙) 44295
• 代理人: 黃修遠(yuǎn)

本實(shí)用新型公開了一種光調(diào)制器，包括設(shè)有依次連通的入光孔、第一內(nèi)腔和出光孔的外殼，外殼的第一內(nèi)腔中設(shè)有聲光介質(zhì)；聲光介質(zhì)的一側(cè)端面上橫向排列有至少兩個(gè)電聲換能器；每個(gè)電聲換能器均連接有射頻器接口；各射頻器接口位于外殼上。本實(shí)用新型提供的光調(diào)制器，能同時(shí)對(duì)至少兩束激光進(jìn)行調(diào)制，可用于微加工和直寫光刻等高速應(yīng)用，效率高且體積小。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及激光設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種光調(diào)制器。

背景技術(shù)

光調(diào)制器可以改變光波的強(qiáng)度，而且還可調(diào)制光波的相位和偏振態(tài)，應(yīng)用于數(shù)字調(diào)制光通信中，特別在外調(diào)制的光發(fā)射機(jī)和數(shù)據(jù)鏈路中應(yīng)用很廣泛，這是為了克服光纖鏈路的影響。光調(diào)制器是高速、短距離光通信的關(guān)鍵器件，是最重要的集成光學(xué)器件之一。其中，聲光調(diào)制器是利用材料(如二氧化碲、熔融石英等)在超聲波作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起折射率變化，形成折射率光柵結(jié)構(gòu)，光通過(guò)時(shí)產(chǎn)生衍射現(xiàn)象，衍射光的強(qiáng)度、頻率、方向隨著超聲場(chǎng)的變化而變化，從而實(shí)現(xiàn)光調(diào)制。

激光可用于印刷。然而，目前的聲光調(diào)制器其一般只設(shè)有一個(gè)激光通道，只能對(duì)一束激光進(jìn)行光調(diào)制，用于印刷時(shí)其效率極慢。而同時(shí)設(shè)置多個(gè)依次排列的聲光調(diào)制器時(shí)，其體積過(guò)大，成本高且難以安裝。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種光調(diào)制器，能同時(shí)對(duì)至少兩束激光進(jìn)行調(diào)制，可用于微加工和直寫光刻等高速應(yīng)用，效率高且體積小。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種光調(diào)制器，包括設(shè)有依次連通的入光孔、第一內(nèi)腔和出光孔的外殼，外殼的第一內(nèi)腔中設(shè)有聲光介質(zhì)；聲光介質(zhì)的一側(cè)端面上橫向排列有至少兩個(gè)電聲換能器；每個(gè)電聲換能器均連接有射頻器接口；各射頻器接口位于外殼上。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述聲光介質(zhì)的一側(cè)端面上橫向排列有至少三個(gè)電聲換能器；各射頻器接口位于外殼上且沿弧形排列。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn)，所述射頻器接口排列成至少兩列，每列設(shè)有至少三個(gè)且沿弧形排列的射頻器接口。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn)，所述射頻器接口排列成兩列，每列的射頻器接口數(shù)量為5-20個(gè)。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn)，相鄰兩列所述射頻器對(duì)稱布置。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn)，各所述電聲換能器呈條狀且其長(zhǎng)度方向與激光入射方向相對(duì)應(yīng)或平行。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn)，所述外殼上設(shè)有冷卻結(jié)構(gòu)。

作為本實(shí)用新型的更進(jìn)一步改進(jìn)，所述冷卻結(jié)構(gòu)包括相連接的進(jìn)水口、水腔和出水口；所述水腔位于外殼內(nèi)，水腔位于第一內(nèi)腔的外側(cè)且兩者相隔離。

有益效果

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的光調(diào)制器的優(yōu)點(diǎn)為：

1、在一個(gè)光調(diào)制器的聲光介質(zhì)上設(shè)置至少兩個(gè)電聲換能器。各激光都遵循布拉格衍射原理。通過(guò)各電聲換能器的啟閉控制各路入射激光經(jīng)過(guò)聲光介質(zhì)后是否射出衍射激光，衍射激光照射在加工面上。隨著光調(diào)制器與加工面的相對(duì)移動(dòng)以及一排出射激光的衍射激光數(shù)量和位置的變化，即可通過(guò)激光印刷出所需的圖案，無(wú)需配合復(fù)雜的的移動(dòng)機(jī)構(gòu)即可完成各種圖案的印刷，效率高且設(shè)備體積小。

2、各射頻器接口位于外殼上且沿弧形排列，即使其數(shù)量較多也能節(jié)省空間，有利于縮短光調(diào)制器的外殼整體長(zhǎng)度，實(shí)現(xiàn)光調(diào)制器的小型化設(shè)計(jì)，安裝更方便。

3、射頻器接口排列成至少兩列，在成倍增加電聲換能器的同時(shí)不會(huì)增加外殼的整體長(zhǎng)度，能同時(shí)對(duì)更多光束進(jìn)行調(diào)制。

4、相鄰兩列所述射頻器接口沿激光入射方向?qū)ΨQ布置，讓光調(diào)制器的左右重量分布更平均。

5、通過(guò)冷卻結(jié)構(gòu)能給光調(diào)制器進(jìn)行降溫，提高其持續(xù)工作的能力。