[實用新型]一種基于單一熱電偶和懸浮微流體的MEMS熱傳感器

有效

• 申請號: 202220947127.4
• 申請日: 2022-04-22
• 公開（公告）號: CN217103071U
• 公開（公告）日: 2022-08-02
• 發明（設計）人: 劉茗;姚雯莉;洪登峰;劉童;王竹卿
• 申請（專利權）人: 四川大學
• 主分類號: B81B7/02
• 分類號: B81B7/02;H01L35/32
• 代理公司: 武漢菲翔知識產權代理有限公司 42284
• 代理人: 張紅

1.一種基于單一熱電偶和懸浮微流體的MEMS熱傳感器，包括微流體通道和懸吊微橋結構襯底(3)，其特征在于，所述微流體通道包括微流體通道底板(2)、微流體通道壁(4)和微流體通道上頂蓋(5)，所述微流體通道底板(2)、微流體通道壁(4)和微流體通道上頂蓋(5)按由下至上的順序重疊排列粘接，所述微流體通道底板(2)設置在懸吊微橋結構襯底(3)上方，所述微流體通道的中部一體成型有微流體通道空腔(1)，所述微流體通道空腔(1)的內部安裝有單一熱電偶(6)。

2.根據權利要求1所述的一種基于單一熱電偶和懸浮微流體的MEMS熱傳感器，其特征在于，所述微流體通道空腔(1)為長方體空腔，所述微流體通道空腔(1)的邊長為700um，高為25um。

3.根據權利要求1所述的一種基于單一熱電偶和懸浮微流體的MEMS熱傳感器，其特征在于，所述微流體通道總長為4200um。

4.根據權利要求1所述的一種基于單一熱電偶和懸浮微流體的MEMS熱傳感器，其特征在于，所述單一熱電偶(6)的材質為重摻雜n型硅。

5.根據權利要求1所述的一種基于單一熱電偶和懸浮微流體的MEMS熱傳感器，其特征在于，所述微流體通道底板(2)、微流體通道壁(4)和微流體通道上頂蓋(5)的材質均為SU-8光刻膠。

6.根據權利要求1所述的一種基于單一熱電偶和懸浮微流體的MEMS熱傳感器，其特征在于，所述單一熱電偶(6)的外表面設有隔離層，所述隔離層上設有金屬電極。