[實用新型]一種晶圓盒開盒機構

有效

• 申請號: 202220918439.2
• 申請日: 2022-04-20
• 公開（公告）號: CN217114345U
• 公開（公告）日: 2022-08-02
• 發明（設計）人: 陳曙光;林堅;王彭
• 申請（專利權）人: 泓滸（蘇州）半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京同輝知識產權代理事務所(普通合伙) 11357
• 代理人: 李曉峰

1.一種晶圓盒開盒機構，其特征在于，包括開盒底板(1)和動力元件，所述開盒底板(1)上的正面的中間位置開設有兩個弧形的開盒滑槽(3)，所述開盒底板(1)上的背面的中間位置設置有動力元件槽體(7)，所述動力元件槽體(7)內設置有動力元件，所述動力元件包括開蓋電機(8)和開合盤(23)，所述開蓋電機(8)通過第二安裝板(18)安裝在第一安裝板(15)上，所述第一安裝板(15)蓋合在開合盤(23)的底部且所述第一安裝板(15)通過安裝柱(22)與開盒底板(1)安裝在一起，所述開合盤(23)位于兩個弧形的開盒滑槽(3)正下方的動力元件槽體(7)內，所述開蓋電機(8)第一側的驅動端依次通過主動輪(9)、同步帶(10)與從動輪(11)驅動連接設置，所述從動輪(11)與絲桿(13)的第一側相連接，所述絲桿(13)通過絲桿安裝座(12)安裝在動力元件槽體(7)內，所述絲桿(13)上設置有絲桿螺母(14)，所述絲桿螺母(14)通過連桿(24)與開合盤(23)相連接，所述開合盤(23)的頂部設置有兩個開盒圓柱(2)，所述開盒圓柱(2)向上凸出于開盒滑槽(3)內。

2.如權利要求1所述的一種晶圓盒開盒機構，其特征在于，靠近所述開盒滑槽(3)一側的開盒底板(1)上的正面設置有感應柱(4)，所述感應柱(4)位于開盒底板(1)底部的一側設置有感應片(19)，所述感應片(19)與安裝在動力元件槽體(7)內的傳感器(21)相配合設置。

3.如權利要求2所述的一種晶圓盒開盒機構，其特征在于，所述感應片(19)的底部設置有第二彈簧(20)。

4.如權利要求1所述的一種晶圓盒開盒機構，其特征在于，所述絲桿(13)第二側一側的絲桿安裝座(12)上還設置有若干個第一彈簧(17)。

5.如權利要求1所述的一種晶圓盒開盒機構，其特征在于，所述動力元件槽體(7)的底部外側設置有外罩(6)。

6.如權利要求1所述的一種晶圓盒開盒機構，其特征在于，所述開合盤(23)通過軸承(16)安裝在第一安裝板(15)上。

7.如權利要求1所述的一種晶圓盒開盒機構，其特征在于，所述開盒底板(1)上的正面靠近外側的位置設置有若干個定位銷(5)。