[實用新型]一種晶圓出料綜合控制裝置

有效

• 申請號: 202220918286.1
• 申請日: 2022-04-20
• 公開（公告）號: CN217114343U
• 公開（公告）日: 2022-08-02
• 發明（設計）人: 陳曙光;林堅;王彭
• 申請（專利權）人: 泓滸（蘇州）半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京同輝知識產權代理事務所(普通合伙) 11357
• 代理人: 李曉峰

1.一種晶圓出料綜合控制裝置，其特征在于，包括柜體(1)，所述柜體(1)的頂部設置有頂梁(2)，所述柜體(1)的底部設置有移動底座(11)，所述柜體(1)上的正面沿著Z軸方向可移動的設置有抬升箱體(5)，所述抬升箱體(5)上設置有晶圓盒組件，所述晶圓盒組件包括晶圓護罩(3)、晶圓盒(35)和晶圓盒底座(32)，所述抬升箱體(5)內設置有開盒機構(15)，所述開盒機構(15)通過固定架(16)與柜體(1)相連接，柜體(1)上開設有出料口(12)，所述柜體(1)的背面沿著Z軸方向可移動的設置有出料夾取機構(13)，所述出料夾取機構(13)位于出料口(12)處，所述出料夾取機構(13)安裝在下方的電控箱(14)上，所述柜體(1)上從上往下分別設置有驅動抬升箱體(5)升降移動的第一抬升機構(7)和驅動出料夾取機構(13)升降移動的第二抬升機構(9)。

2.如權利要求1所述的一種晶圓出料綜合控制裝置，其特征在于，所述開盒機構(15)包括開盒板(28)，所述開盒板(28)上的正面的中間位置開設有兩個弧形的開盒槽(30)，所述開盒槽(30)內設置有開盒圓柱(29)，所述開盒圓柱(29)向上凸出于開盒槽(30)，所述開盒板(28)上的背面的中間位置設置有驅動開盒圓柱(29)轉動的開盒動力元件，所述晶圓盒底座(32)的背面中間位置開設有與開盒圓柱(29)相配合的插接槽(34)。

3.如權利要求2所述的一種晶圓出料綜合控制裝置，其特征在于，所述開盒板(28)上的正面設置有若干個定位銷(31)，所述晶圓盒底座(32)上的背面設置有若干個與定位銷(31)相連接的定位孔(33)。

4.如權利要求1所述的一種晶圓出料綜合控制裝置，其特征在于，所述晶圓護罩(3)外側的抬升箱體(5)上設置有壓盒機構(4)，所述壓盒機構(4)包括壓盒框架(25)，所述壓盒框架(25)設置在抬升箱體(5)上，所述晶圓護罩(3)設置在壓盒框架(25)內，所述壓盒框架(25)上的兩側朝向晶圓護罩(3)的一側均設置有壓盒塊(26)，所述壓盒塊(26)外側的壓盒框架(25)上設置有壓盒護罩(27)，所述壓盒護罩(27)內設置有用于驅動壓盒塊(26)的壓盒動力元件。

5.如權利要求1所述的一種晶圓出料綜合控制裝置，其特征在于，所述頂梁(2)和移動底座(11)之間的柜體(1)上沿著Z軸方向設置有絲桿(10)，所述第一抬升機構(7)或第二抬升機構(9)包括電機同步帶驅動機構(17)，所述電機同步帶驅動機構(17)安裝在抬升橫板(20)上，所述抬升橫板(20)與抬升豎板(19)相連接，所述電機同步帶驅動機構(17)的驅動端通過螺母固定塊(21)與絲桿螺母(22)驅動連接設置，所述絲桿螺母(22)與絲桿(10)相連接，所述第一抬升機構(7)的抬升豎板(19)通過箱體抬升板(18)與抬升箱體(5)相連接，所述第二抬升機構(9)的抬升豎板(19)通過出料夾取抬升板(24)與電控箱(14)相連接。

6.如權利要求5所述的一種晶圓出料綜合控制裝置，其特征在于，所述絲桿(10)一側的柜體(1)上還沿著Z軸方向設置有導軌(8)，所述抬升豎板(19)通過滑塊(23)與導軌(8)相連接。

7.如權利要求1所述的一種晶圓出料綜合控制裝置，其特征在于，所述出料夾取機構(13)包括出料夾取動力單元(37)、機械臂(38)和夾爪(40)，所述出料夾取動力單元(37)通過出料夾取底座(36)安裝在電控箱(14)上，所述出料夾取動力單元(37)與機械臂(38)驅動連接設置，所述機械臂(38)通過連接軸(39)與夾爪(40)相連接。

8.如權利要求1所述的一種晶圓出料綜合控制裝置，其特征在于，所述抬升箱體(5)上開設有透明窗(6)。