[實用新型]一種晶圓加工用動力夾爪裝置

有效

• 申請號: 202220916314.6
• 申請日: 2022-04-20
• 公開（公告）號: CN217072407U
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發明（設計）人: 陳曙光;林堅;王彭
• 申請（專利權）人: 泓滸（蘇州）半導體科技有限公司
• 主分類號: B25J15/00
• 分類號: B25J15/00;B25J15/08;B65G47/90;B65G49/07
• 代理公司: 北京同輝知識產權代理事務所(普通合伙) 11357
• 代理人: 李曉峰

1.一種晶圓加工用動力夾爪裝置，其特征在于，包括固定底座(1)、機械臂(5)、夾爪(7)和動力單元(8)，所述動力單元(8)安裝在固定底座(1)上，所述動力單元(8)沿著X軸的正方向依次包括機械臂旋轉機構(10)和夾爪旋轉機構(11)；

所述機械臂(5)包括機械臂外殼(12)，所述機械臂外殼(12)內從上往下依次設置有第一臂傳動鏈輪(13)和第二臂傳動鏈輪(17)，所述第一臂傳動鏈輪(13)和第二臂傳動鏈輪(17)之間通過臂傳動鏈條(16)相連接，所述第二臂傳動鏈輪(17)通過夾爪連接塊(6)與夾爪(7)相連接；

所述機械臂旋轉機構(10)包括第一電機(18)、減速器(21)和芯軸(28)，所述第一電機(18)通過支撐底塊(3)安裝在固定底座(1)上，所述第一電機(18)沿著X軸正方向一側的驅動端依次通過第一傳動帶輪(19)、第一同步帶(20)與上方的第一同步帶輪(22)驅動連接設置，所述第一同步帶輪(22)與內側沿著X軸方向的芯軸(28)相連接，所述芯軸(28)沿著X軸方向安裝在減速器(21)內，且所述芯軸(28)沿著X軸負方向的一側與機械臂外殼(12)的底部相連接；

所述夾爪旋轉機構(11)包括第二電機(31)和鏈輪軸(33)，所述第二電機(31)通過護罩(2)安裝在固定底座(1)上，所述第二電機(31)沿著Y軸負方向一側的驅動端依次通過第二傳動帶輪、第二同步帶(37)與上方的第二同步帶輪(32)驅動連接設置，所述第二同步帶輪(32)與沿著Y軸正方向一側的蝸桿座(36)內的蝸桿(38)相連接，所述蝸桿(38)沿著Y軸方向設置且與上方的蝸輪(34)相連接，所述蝸輪(34)與沿著X軸方向設置的鏈輪軸(33)相連接，所述鏈輪軸(33)沿著X軸負方向的一側穿過芯軸(28)后并與第一臂傳動鏈輪(13)相連接。

2.如權利要求1所述的一種晶圓加工用動力夾爪裝置，其特征在于，所述第一同步帶輪(22)的外側設置有固定卡盤(9)，所述減速器(21)的外側設置有減速器外殼(4)，所述固定卡盤(9)安裝在減速器外殼(4)上，所述芯軸(28)沿著X軸正方向的一側通過軸承(23)與固定卡盤(9)相連接，所述固定卡盤(9)沿著X軸正方向的一側設置有第一位置板(24)，所述芯軸(28)穿過固定卡盤(9)后沿著X軸的正方向依次設置有第一感應塊(25)、第二感應塊(26)和第三感應塊(27)，所述第一感應塊(25)、第二感應塊(26)和第三感應塊(27)上均設置有第一感應片(29)，所述第一位置板(24)上設置有三個分別與第一感應塊(25)、第二感應塊(26)和第三感應塊(27)上的第一感應片(29)相配合的第一感應器(30)。

3.如權利要求1所述的一種晶圓加工用動力夾爪裝置，其特征在于，所述蝸輪(34)沿著X軸正方向的一側設置有第二位置板(35)，所述蝸輪(34)通過軸承(23)與第二位置板(35)相連接，所述蝸輪(34)穿過第二位置板(35)后沿著X軸的正方向依次設置有第四感應塊(39)和第五感應塊(40)，所述第四感應塊(39)和第五感應塊(40)上均設置有第二感應片(41)，所述第二位置板(35)上設置有兩個分別與第四感應塊(39)和第五感應塊(40)上的第二感應片(41)相配合的第二感應器(42)。

4.如權利要求3所述的一種晶圓加工用動力夾爪裝置，其特征在于，兩個所述第二感應器(42)分別通過限位柱(43)安裝在第二位置板(35)上。

5.如權利要求1所述的一種晶圓加工用動力夾爪裝置，其特征在于，所述機械臂外殼(12)內還設置有對臂傳動鏈條(16)起到漲緊作用的漲緊輪(15)，所述漲緊輪(15)通過漲緊安裝塊(14)安裝在機械臂外殼(12)內。