[實用新型]一種真空分子泵抽速調節裝置

有效

• 申請號: 202220881203.6
• 申請日: 2022-04-14
• 公開（公告）號: CN217176914U
• 公開（公告）日: 2022-08-12
• 發明（設計）人: 金龍釗;陳曉莉;陳玲玲
• 申請（專利權）人: 安徽泰臻真空科技有限公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D27/00
• 代理公司: 合肥左心專利代理事務所(普通合伙) 34152
• 代理人: 盧嘉星

本實用新型公開了一種真空分子泵抽速調節裝置，涉及真空分子泵技術領域，包括底座，所述底座的頂部固定安裝有真空分子泵，所述真空分子泵的外部設置有轉子控制器和轉接座，且真空分子泵的頂部固定套裝有進氣接頭。該真空分子泵抽速調節裝置，通過調節套和擋板以及進氣接頭和進氣口的配合使用，使得該真空分子泵抽速調節裝置在進行工作時，氣體主要通過進氣接頭頂部的進氣口進入真空分子泵的內部，工作人員能夠旋轉調節套頂部的撥片帶動調節套在進氣接頭的上方旋轉，并帶動擋板偏轉，繼而使得擋板與進氣接頭之間發生重疊，改變進氣接頭的大小，從而調節氣體進入真空分子泵內部的速度，調節真空分子泵的抽速。

技術領域

本實用新型涉及真空分子泵技術領域，具體為一種真空分子泵抽速調節裝置。

背景技術

分子泵的抽氣機理與容積式機械泵靠泵腔容積變化進行抽氣的機理不同，分子泵是在分子流區域內靠高速運動的剛體表面傳遞給氣體分子以動量，使氣體分子在剛體表面的運動方向上產生定向流動，從而達到抽氣的目的，通常把用高速運動的剛體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運動的現象稱為分子牽引現象。

分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵牽引分子泵氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口，對真空分子泵的抽速進行調節時，一般通過改變轉子的轉速進行，但是單純依靠改變轉子轉速，只能將真空分子泵的轉速限制在一定的范圍，受到的轉子驅動設備的限制，可調節的抽速范圍仍然存在提升空間，無法在不改變轉子轉速的前提下進行抽速的調節，為此，我們設計了一種真空分子泵抽速調節裝置來解決上述問題。

實用新型內容

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種真空分子泵抽速調節裝置，解決了上述背景技術中提出的問題。

為實現以上目的，本實用新型通過以下技術方案予以實現：一種真空分子泵抽速調節裝置，包括底座，所述底座的頂部固定安裝有真空分子泵，所述真空分子泵的外部設置有轉子控制器和轉接座，且真空分子泵的頂部固定套裝有進氣接頭，所述轉接座的外部固定套裝有出氣口，所述進氣接頭的頂部開設有均勻分布的進氣口，且進氣接頭的頂部活動套裝有調節套，所述調節套的外部固定安裝有均勻分布的擋板，所述擋板的外部固定套裝有指針。

進一步的，所述調節套的頂部固定安裝有撥片，且調節套的外部螺紋套接有位于撥片兩側的緊固螺栓。

進一步的，所述調節套的內部開設有與緊固螺栓相匹配的空腔，所述緊固螺栓的末端延伸至空腔的內部，且緊固螺栓的底部與進氣接頭的頂部相接觸。

進一步的，所述擋板與進氣口均為扇形，且擋板與進氣口之間相互匹配，所述擋板與進氣口之間一一對應。

進一步的，所述指針呈L形，所述進氣接頭的外部設置有均勻分布的刻度，所述指針的末端延伸至刻度的外部。

本實用新型提供了一種真空分子泵抽速調節裝置，具備以下有益效果：

1、該真空分子泵抽速調節裝置，通過調節套和擋板以及進氣接頭和進氣口的配合使用，使得該真空分子泵抽速調節裝置在進行工作時，氣體主要通過進氣接頭頂部的進氣口進入真空分子泵的內部，工作人員能夠旋轉調節套頂部的撥片帶動調節套在進氣接頭的上方旋轉，并帶動擋板偏轉，繼而使得擋板與進氣接頭之間發生重疊，改變進氣接頭的大小，從而調節氣體進入真空分子泵內部的速度，調節真空分子泵的抽速。

2、該真空分子泵抽速調節裝置，通過緊固螺栓和指針以及進氣接頭和刻度的配合使用，使得該真空分子泵抽速調節裝置在偏轉擋板時，指針能夠跟隨擋板一同偏轉，由于進氣接頭的外部設置了刻度，指針的末端指向刻度的外部，因此能夠輔助工作人員了解擋板的偏轉角度，提升擋板對真空分子泵抽速調節的精確度，完成調節后，工作人員能夠旋轉緊固螺栓，使得緊固螺栓的底端擠壓進氣接頭的頂部，繼而將調節套和擋板固定，保證擋板調節后的穩定性。

附圖說明