[實用新型]自動化靜電放電測試系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220880332.3
• 申請日: 2022-04-15
• 公開（公告）號: CN217639320U
• 公開（公告）日: 2022-10-21
• 發(fā)明（設計）人: 阮育嬌;蔣淑戀;鄭鵬;康品春;黃藝濱;洪亞德;陳建志;崔潼;胡曉英;許斌彬;張越專;連月榮;李瑞晟
• 申請（專利權(quán)）人: 廈門市計量檢定測試院;廈門福信光電集成有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;G01R1/02
• 代理公司: 深圳市博銳專利事務所 44275
• 代理人: 曾炳佳

本實用新型公開一種自動化靜電放電測試系統(tǒng)，包括六軸機械臂、靜電放電發(fā)生器、壓力傳感器和旋轉(zhuǎn)平臺；所述靜電放電發(fā)生器設置于所述六軸機械臂的末端；所述壓力傳感器設置于所述六軸機械臂與所述靜電放電發(fā)生器的連接處，以檢測靜電放電發(fā)生器對待測產(chǎn)品施加的壓力。本實用新型可提高測試效率，保證測試質(zhì)量，且可避免待測產(chǎn)品與靜電放電發(fā)生器接觸時碎裂。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及靜電放電測試技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種自動化靜電放電測試系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著半導體IC集成度越來越高，柵極氧化層越來越薄，ESD靜電放電現(xiàn)象，對電子產(chǎn)品而言是致命的，它可能導致元器件內(nèi)部電子線路受損，影響電子產(chǎn)品的使用壽命。因此需要開展靜電放電測試以評估電氣及電子產(chǎn)品遭受靜電放電時的抗干擾性能，從而確保產(chǎn)品可靠性。

靜電放電發(fā)生器，也稱為靜電放電模擬器，是電磁兼容ESD測試中用到的重要儀器。靜電放電發(fā)生器主要用于模擬人體持金屬物對電子產(chǎn)品的靜電放電過程，考察被測電子產(chǎn)品的抗靜電放電的能力。

ESD放電測試時通常采用兩種方法：接觸放電和空氣放電。接觸放電測試時，ESD發(fā)生器的探頭尖部直接接觸到被測產(chǎn)品進行放電；空氣放電測試時，ESD發(fā)生器的探頭不能直接接觸待測產(chǎn)品，靠近時探頭發(fā)出電火花傳向待測產(chǎn)品，實現(xiàn)間接放電。

目前ESD測試常用的操作方法是由人工手持ESD發(fā)生器進行逐點測試，每次靜電測試后，用接地線對槍頭放電的部位進行放電。操作人員需穿戴防靜電服裝，戴防靜電腕帶或足跟帶，以保證人體在安全狀態(tài)下接地。

但有些電子產(chǎn)品需要測試的點位較多，需操作人員長時間重復操作，容易造成人員疲勞，導致測試效率低下，測試質(zhì)量受影響。并且，由于不同人員操作上的差異，容易影響測試結(jié)果。

實用新型內(nèi)容

本實用新型所要解決的技術(shù)問題是：提供一種自動化靜電放電測試系統(tǒng)，可提高測試效率，保證測試質(zhì)量和測試結(jié)果。

為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用的技術(shù)方案為：一種自動化靜電放電測試系統(tǒng)，包括六軸機械臂、靜電放電發(fā)生器、壓力傳感器和旋轉(zhuǎn)平臺；所述靜電放電發(fā)生器設置于所述六軸機械臂的末端；所述壓力傳感器設置于所述六軸機械臂與所述靜電放電發(fā)生器的連接處，以檢測靜電放電發(fā)生器對待測產(chǎn)品施加的壓力。

進一步地，還包括主控制器，所述主控制器分別與所述六軸機械臂、靜電放電發(fā)生器、壓力傳感器和旋轉(zhuǎn)平臺連接。

進一步地，所述旋轉(zhuǎn)平臺包括旋轉(zhuǎn)電機、旋轉(zhuǎn)分割器和旋轉(zhuǎn)臺，所述旋轉(zhuǎn)電機與所述旋轉(zhuǎn)分割器連接，所述旋轉(zhuǎn)臺設置于所述旋轉(zhuǎn)分割器上；所述旋轉(zhuǎn)臺上設有兩個工位。

進一步地，還包括第一消電刷，所述第一消電刷設置于所述旋轉(zhuǎn)臺上，所述第一消電刷用于消除所述靜電放電發(fā)生器上的靜電電荷。

進一步地，還包括第二消電刷，所述第二消電刷設置于所述六軸機械臂的末端或所述靜電放電發(fā)生器上，所述第二消電刷用于消除待測產(chǎn)品上的靜電電荷。

進一步地，還包括攝像頭，所述攝像頭設置于所述六軸機械臂的末端，所述攝像頭與所述主控制器連接。

進一步地，還包括第一置物架和第二置物架，所述六軸機械臂位于所述第一置物架上，所述旋轉(zhuǎn)平臺設置于所述第二置物架上。

進一步地，所述靜電放電發(fā)生器為靜電槍。

本實用新型的有益效果在于：通過設置六軸機械臂，并把靜電放電發(fā)生器安裝在六軸機械臂上，由六軸機械臂代替人工實現(xiàn)ESD測試，可提高測試效率，且可避免不同人員操作產(chǎn)生的差異，保證測試質(zhì)量和測試結(jié)果；通過設置壓力傳感器，可在靜電放電發(fā)生器接觸待測產(chǎn)品時感知并控制靜電放電發(fā)生器對待測產(chǎn)品的壓力，實現(xiàn)過壓保護，保證測試過程中待測產(chǎn)品不受破壞。本實用新型可提高測試效率，保證測試質(zhì)量，且可避免待測產(chǎn)品與靜電放電發(fā)生器接觸時碎裂。

附圖說明