[實用新型]一種硅片承載裝置的托盤固定結構

有效

• 申請號: 202220876896.X
• 申請日: 2022-04-16
• 公開（公告）號: CN217182150U
• 公開（公告）日: 2022-08-12
• 發明（設計）人: 高晗;吳明貴;劉小明
• 申請（專利權）人: 南通玖方新材料科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;C23C14/50
• 代理公司: 南通市永通專利事務所(普通合伙) 32100
• 代理人: 葛雷

本實用新型公開了一種硅片承載裝置的托盤固定結構，包括由橫梁、豎梁連接組成的承載框，橫梁上設有槽口，槽口與固定裝置位置重合，橫梁與固定裝置通過焊接固定；所述固定裝置上設有二個孔，其中第一個孔用來安裝拉筋和放置在承載框上的托盤，第二個孔與第一個孔垂直，第二個孔中安裝螺釘將拉筋和托盤頂緊固定。本實用新型使用方便，可以有效提高鍍膜效率，降低生產成本。

技術領域

本實用新型涉及一種硅片承載裝置的托盤固定結構。

背景技術

異質結電池需要經過清洗制絨、化學氣相沉積、物理氣相沉積、絲網印刷，其中物理氣相沉積簡稱PVD，其作用是在硅片表面沉積一層透明導電膜，形成良好的歐姆接觸、減少載流子的復合效率、鈍化表面。一般通過磁控濺射來實現鍍膜，利用離子源產生的離子，在高真空中經過加速聚集，形成高速的離子束流，轟擊靶材表面，離子和固體表面原子發生動能交換，使靶材表面的原子離開靶材并沉積在硅片表面而形成薄膜材料。硅片通過承載裝置進入真空腔，進行鍍膜。

現有的硅片承載裝置的托盤固定結構由于結構等原因，影響使用性能和效果。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種使用方便、提高工作效率的硅片承載裝置的托盤固定結構。

本實用新型的技術解決方案是：

一種硅片承載裝置的托盤固定結構，包括由橫梁、豎梁連接組成的承載框，其特征是：橫梁上設有槽口，槽口與固定裝置位置重合，橫梁與固定裝置通過焊接固定；所述固定裝置上設有二個孔，其中第一個孔用來安裝拉筋和放置在承載框上的托盤，第二個孔與第一個孔垂直，第二個孔中安裝螺釘將拉筋和托盤頂緊固定。

所述豎梁包括外側梁體和內側梁體，外側梁體和內側梁體通過焊接連接，豎梁上的螺絲孔設置在內側梁體上。

所述橫梁包括位于承載框上、下端的上、下橫梁和位于承載框中部的中間橫梁。

本實用新型使用方便，可以有效提高鍍膜效率，降低生產成本。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。

圖1是本實用新型一個實施例的結構示意圖。

圖2是豎梁的結構示意圖。

圖3是圖2的左視圖。

圖4是橫梁的結構示意圖。

圖5是圖1的D-D剖視圖。

具體實施方式

一種硅片承載裝置的托盤固定結構，包括由橫梁、豎梁連接組成的承載框，橫梁1、豎梁通過法蘭2連接；橫梁上設有槽口3，槽口與固定裝置4位置重合，橫梁于固定裝置通過焊接固定；所述固定裝置上設有二個孔，其中第一個孔用來安裝拉筋5和放置在承載框上的托盤6，第二個孔與第一個孔垂直，第二個孔中安裝螺釘7將拉筋和托盤頂緊固定。拉筋通過螺釘7卡死，在后期運行過程中，不會因為振動掉落，通過拉筋使托盤不易變形。承載框與托盤的接觸面積減少，避免由于接觸導致的受熱不均勻造成變形?？梢酝ㄟ^微調固定裝置在框架上面的位置調整托盤平面度。

所述豎梁包括外側梁體8和內側梁體9，外側梁體和內側梁體通過焊接連接，豎梁上的螺絲孔設置在內側梁體上。這種結構的強度比原來主副梁提高3倍，并且制造成本低，外側梁體可以直接由機床加工不需要折彎，節省工序，提高效率，降低成本。

所述橫梁包括位于承載框上、下端的上、下橫梁1和位于承載框中部的中間橫梁10。