[實(shí)用新型]涂敷清洗一體機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220834856.9
• 申請(qǐng)日: 2022-04-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN217432156U
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-09-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙裕興;詹長(zhǎng)偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州德龍激光股份有限公司
• 主分類號(hào): B05C11/08
• 分類號(hào): B05C11/08;B05C13/02;B05C9/12;B08B3/04;H01L21/67
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務(wù)所 32237
• 代理人: 王玉國(guó)

本實(shí)用新型涉及一種涂敷清洗一體機(jī)，從上往下依次包括不銹鋼外殼、底盤和底板，底盤上的中間位置沿著Z軸方向設(shè)置有主軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，主軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)從下往上依次包括主軸旋轉(zhuǎn)電機(jī)、載臺(tái)轉(zhuǎn)接基板和高速吸附旋轉(zhuǎn)載臺(tái)，主軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)沿著Y軸方向兩側(cè)的不銹鋼外殼內(nèi)分別設(shè)置有第一擺臂和第二擺臂。本實(shí)用新型將涂敷和清洗集成在一個(gè)設(shè)備上，減少搬運(yùn)，涂敷與清洗的速度可調(diào)整，滿足均勻性；本實(shí)用新型通過(guò)載臺(tái)升降氣缸，可將加工好的產(chǎn)品送至設(shè)備外面等待搬運(yùn)，可以做到一臺(tái)設(shè)備兼顧不同功能與不同產(chǎn)品。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及芯片加工相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種涂敷清洗一體機(jī)。

背景技術(shù)

目前芯片加工越來(lái)越精密，在制造過(guò)程中，如果遭到塵粒，金屬的污染，很容易造成芯片的損壞，因此在芯片加工過(guò)程中需要先對(duì)整體的晶圓均勻噴涂保護(hù)液，接著進(jìn)行晶圓的激光切割等流程，加工結(jié)束后對(duì)晶圓進(jìn)行清洗，從而保護(hù)芯片在加工過(guò)程中收到污染。

晶圓涂覆保護(hù)液和清洗的過(guò)程中需要平整地吸附在加工平臺(tái)上，整個(gè)加工平臺(tái)需要高速旋轉(zhuǎn)來(lái)配合加工，然后按照不同的加工工藝參數(shù)，均與的涂敷和清洗。

產(chǎn)品的涂敷與清洗過(guò)程需要產(chǎn)品被吸附住，并且需要通過(guò)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生離心力來(lái)達(dá)到涂敷均勻的效果，在涂敷與清洗過(guò)程中，因?yàn)楫a(chǎn)品的圓形的，越往外所需的保護(hù)液等也越多，所以在這個(gè)過(guò)程中還需要對(duì)噴涂保護(hù)液的量和速度等進(jìn)行調(diào)整，而且在產(chǎn)品加工后還要滿足與原有設(shè)備的兼容搬運(yùn)問(wèn)題。

有鑒于上述的缺陷，本設(shè)計(jì)人積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種涂敷清洗一體機(jī)，使其更具有產(chǎn)業(yè)上的利用價(jià)值。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的是提供一種涂敷清洗一體機(jī)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

涂敷清洗一體機(jī)，從上往下依次包括不銹鋼外殼、底盤和底板，不銹鋼外殼安裝在底盤上，底盤通過(guò)若干個(gè)支撐架安裝在底板上，底盤上的中間位置沿著Z軸方向設(shè)置有主軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，主軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)從下往上依次包括主軸旋轉(zhuǎn)電機(jī)、載臺(tái)轉(zhuǎn)接基板和高速吸附旋轉(zhuǎn)載臺(tái)，載臺(tái)轉(zhuǎn)接基板的內(nèi)側(cè)安裝有高速吸附旋轉(zhuǎn)載臺(tái)，主軸旋轉(zhuǎn)電機(jī)頂部的驅(qū)動(dòng)端與上方的高速吸附旋轉(zhuǎn)載臺(tái)驅(qū)動(dòng)連接設(shè)置，底盤的底部一側(cè)設(shè)置有載臺(tái)升降氣缸，載臺(tái)升降氣缸頂部的驅(qū)動(dòng)端與上方的載臺(tái)轉(zhuǎn)接基板驅(qū)動(dòng)連接設(shè)置，主軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)沿著Y軸方向兩側(cè)的不銹鋼外殼內(nèi)分別設(shè)置有第一擺臂和第二擺臂，第一擺臂正下方底盤的底部設(shè)置有第一擺臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，第二擺臂正下方底盤的底部設(shè)置有第二擺臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，第一擺臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與上方的第一擺臂相連接，第二擺臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與上方的第二擺臂相連接。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，不銹鋼外殼的頂部還設(shè)置有防護(hù)罩，防護(hù)罩下方的不銹鋼外殼上沿著X軸方向設(shè)置有防護(hù)罩推拉機(jī)構(gòu)，防護(hù)罩推拉機(jī)構(gòu)與上方的防護(hù)罩相連接。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，靠近第二擺臂一側(cè)的不銹鋼外殼內(nèi)還設(shè)置有水槽組件，水槽組件正下方底盤的底部設(shè)置有水槽升降氣缸，水槽升降氣缸頂部的驅(qū)動(dòng)端與上方的水槽組件相連接。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，載臺(tái)轉(zhuǎn)接基板的外側(cè)從上往下依次設(shè)置有防水擋圈和防水護(hù)罩，防水護(hù)罩的下方沿著圓周方向均勻的設(shè)置有若干個(gè)滑動(dòng)導(dǎo)桿，滑動(dòng)導(dǎo)桿安裝在下方的底盤上，且滑動(dòng)導(dǎo)桿的底部還設(shè)置有限位固定環(huán)。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，高速吸附旋轉(zhuǎn)載臺(tái)的頂部沿著圓周方向均勻的設(shè)置有若干個(gè)夾爪。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，主軸旋轉(zhuǎn)電機(jī)頂部的驅(qū)動(dòng)端依次通過(guò)主軸聯(lián)軸器和徑向吸附高速旋轉(zhuǎn)軸與上方的高速吸附旋轉(zhuǎn)載臺(tái)驅(qū)動(dòng)連接設(shè)置。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，不銹鋼外殼沿著X軸負(fù)方向的一側(cè)連接設(shè)置有通風(fēng)排水管。

借由上述方案，本實(shí)用新型至少具有以下優(yōu)點(diǎn)：