[實用新型]真空加工治具

有效

• 申請號: 202220834851.6
• 申請日: 2022-04-12
• 公開（公告）號: CN217433329U
• 公開（公告）日: 2022-09-16
• 發明（設計）人: 趙裕興;韓秋杰
• 申請（專利權）人: 蘇州德龍激光股份有限公司
• 主分類號: B23K26/12
• 分類號: B23K26/12;B23K26/70
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所 32237
• 代理人: 王玉國

1.真空加工治具，其特征在于，從上往下依次包括密封蓋板組件(1)和真空腔體組件(2)，所述密封蓋板組件(1)蓋合在真空腔體組件(2)上；所述密封蓋板組件(1)包括蓋板(1-1)，所述真空腔體組件(2)包括腔體(2-1)，所述蓋板(1-1)蓋合在腔體(2-1)上，所述腔體(2-1)內的中間位置設置有靜電吸盤(2-2)，所述靜電吸盤(2-2)沿著X軸負方向一側的腔體(2-1)上設置有與靜電吸盤(2-2)相連接的線纜密封板(2-3)，所述靜電吸盤(2-2)沿著Y軸正方向一側的腔體(2-1)的外側設置有兩個第一接頭(2-4)，所述靜電吸盤(2-2)沿著Y軸負方向一側的腔體(2-1)的外側設置有真空過濾系統，所述真空過濾系統沿著X軸的正方向依次包括第一法蘭(2-5)、真空發生器(2-6)、過濾器(2-7)和第二法蘭(2-8)，所述第一法蘭(2-5)沿著X軸負方向的一側通過第二密封墊(2-9)與腔體(2-1)相連接，所述第一法蘭(2-5)沿著X軸正方向的一側通過波紋管(2-10)與真空發生器(2-6)相連接，所述第二法蘭(2-8)沿著X軸正方向的一側通過第二密封墊(2-9)與腔體(2-1)相連接，所述第二法蘭(2-8)沿著X軸負方向的一側依次通過過濾器(2-7)和波紋管(2-10)與真空發生器(2-6)相連接，所述真空發生器(2-6)上沿著Y軸負方向的一側連接設置有第二接頭(2-11)。

2.如權利要求1所述的真空加工治具，其特征在于，所述蓋板(1-1)上的中間位置設置有窗口(1-5)，所述窗口(1-5)上方的蓋板(1-1)上設置有壓板(1-3)，所述壓板(1-3)和窗口(1-5)之間設置有第一密封墊(1-4)，所述蓋板(1-1)和窗口(1-5)之間設置有第一密封圈(1-6)。

3.如權利要求2所述的真空加工治具，其特征在于，所述蓋板(1-1)上設置有若干個把手(1-2)。

4.如權利要求2所述的真空加工治具，其特征在于，所述窗口(1-5)為石英玻璃結構設置。

5.如權利要求1所述的真空加工治具，其特征在于，所述靜電吸盤(2-2)正下方的腔體(2-1)的底部設置有封板(2-12)，所述封板(2-12)和腔體(2-1)之間設置有第二密封圈(2-13)。

6.如權利要求1或5所述的真空加工治具，其特征在于，所述腔體(2-1)四周的頂部從外到內依次設置有第三密封圈(2-14)和第四密封圈(2-15)，所述第三密封圈(2-14)和第四密封圈(2-15)均設置在蓋板(1-1)和腔體(2-1)之間。